晶圆切割机移料装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆切割机移料装置技术领域，特指一种晶圆切割机移料装置。


背景技术：

2.现有的晶圆切割机，它具有切刀，用于晶圆切割，现有的晶圆切割机一般配设有一个移动臂，一次移动一个晶圆，这种结构的生产效率较低。
3.因此，基于上述现有的晶圆切割机的缺陷，需要对现有的晶圆切割机进行改进。


技术实现要素：

4.本发明的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机移料装置，该晶圆切割机移料装置解决了现有的晶圆切割机移料装置所存在的：生产效率低等缺陷。
5.为实现上述目的，本发明是通过以下技术方案实现的：晶圆切割机移料装置，包括移动装置安装板，移动装置安装板上下设置有平行的第一水平丝杆、第二水平丝杆，第一水平丝杆上套设有第一水平座，第二水平丝杆上套设有第二水平座，第一水平座上竖直设置有升降移动的第一移动臂，第二水平座上竖直设置有升降移动的第二移动臂，第一移动臂、第二移动臂错位。
6.进一步的，所述的第一移动臂的下端配设有多个第一吸盘，第二移动臂的下端配设有多个第二吸盘。
7.进一步的，所述的第二移动臂的下端连接有第一固定板，第一固定板连接有中间连接板，中间连接板的两端分别连接有侧连接板，侧连接板的前端连接有前支撑板，侧连接板的后端连接有后支撑板。
8.进一步的，所述的第一水平丝杆、第二水平丝杆分别由第一电机和第二电机驱动产生旋转。
9.进一步的，所述的后支撑板滑设于侧连接板上。
10.本发明的有益效果在于：由于第一移动臂、第二移动臂错位，而且第一移动臂、第二移动臂可以水平移动以及升降移动，所以大大提高了晶圆移动的效率。
附图说明
11.图1为本发明的立体结构示意图。
12.图2为本发明的侧面结构示意图。
13.图3为本发明应用的晶圆切割机结构示意图。
14.标号及说明：
15.进料区1、另一侧形成上料区2、控制区3、电气区4、晶圆5、移动装置安装板6、第一水平丝杆7、第二水平丝杆8、第一水平座9、第二水平座10、第一移动臂11、第二移动臂12、第一吸盘13、第二吸盘14、第一固定板15、前支撑板16、侧连接板17、中间连接板18、后支撑板19。
具体实施方式
16.下面结合附图对本发明作进一步的说明。
17.见图3，本发明应用的晶圆切割机，切割机主体呈方形，它的前端一侧形成进料区1、另一侧形成上料区2，上料区2具有移动门，主体的后端具有检修门，可以进行切刀更换，主体的左侧具有控制区3，用于切割机的操作控制，主体的右侧后端具有电气区4，切割机的主要电气装置都安装在电气区4，便于统一管理，非常方便。
18.见图1——图2，本发明晶圆切割机移料装置包括：移动装置安装板6，移动装置安装板6上下设置有平行的第一水平丝杆7、第二水平丝杆8，第一水平丝杆7、第二水平丝杆8分别由第一电机和第二电机驱动产生旋转，第一水平丝杆7上套设有第一水平座9，第二水平丝杆8上套设有第二水平座10，第一水平座9上竖直设置有升降移动的第一移动臂11，第二水平座10上竖直设置有升降移动的第二移动臂12，第一移动臂11的下端配设有多个第一吸盘13，第二移动臂12的下端配设有多个第二吸盘14，第一移动臂11、第二移动臂12错位。
19.本发明由于第一移动臂11、第二移动臂12错位，而且第一移动臂11、第二移动臂12可以水平移动以及升降移动，所以第一移动臂11、第二移动臂12可以分别移动到对方所处的位置，因此，大大提高了晶圆5移动的效率。
20.本发明的第二移动臂12的下端连接有第一固定板15，第一固定板15连接有中间连接板18，中间连接板18的两端分别连接有侧连接板17，侧连接板17的前端连接有前支撑板16，侧连接板17的后端连接有后支撑板19，后支撑板19滑设于侧连接板17上，后支撑板19的滑动可以采用气缸驱动的方式，在此不作赘述。
21.本发明的前支撑板16、后支撑板19的位置可以调节，所以，第一移动臂11将进料区1的晶圆5吸取后，可以移动到第二移动臂12的前支撑板16、后支撑板19上，对晶圆5进行定位，定位后的晶圆5，再由第一移动臂11吸取送入切割轨道输送进行切割，切割后的晶圆5输送回来之后，由第二移动臂12移动过去吸取后移出。
22.本发明具有两组移料装置，而且可以实现晶圆定位，生产效率高。


技术特征：
1.晶圆切割机移料装置，其特征在于：包括移动装置安装板，移动装置安装板上下设置有平行的第一水平丝杆、第二水平丝杆，第一水平丝杆上套设有第一水平座，第二水平丝杆上套设有第二水平座，第一水平座上竖直设置有升降移动的第一移动臂，第二水平座上竖直设置有升降移动的第二移动臂，第一移动臂、第二移动臂错位。2.根据权利要求1所述的晶圆切割机移料装置，其特征在于：所述的第一移动臂的下端配设有多个第一吸盘，第二移动臂的下端配设有多个第二吸盘。3.根据权利要求1所述的晶圆切割机移料装置，其特征在于：所述的第二移动臂的下端连接有第一固定板，第一固定板连接有中间连接板，中间连接板的两端分别连接有侧连接板，侧连接板的前端连接有前支撑板，侧连接板的后端连接有后支撑板。4.根据权利要求1所述的晶圆切割机移料装置，其特征在于：所述的第一水平丝杆、第二水平丝杆分别由第一电机和第二电机驱动产生旋转。5.根据权利要求3所述的晶圆切割机移料装置，其特征在于：所述的后支撑板滑设于侧连接板上。

技术总结
本发明涉及晶圆切割机技术领域，特指一种晶圆切割机移料装置；本发明包括移动装置安装板，移动装置安装板上下设置有平行的第一水平丝杆、第二水平丝杆，第一水平丝杆上套设有第一水平座，第二水平丝杆上套设有第二水平座，第一水平座上竖直设置有升降移动的第一移动臂，第二水平座上竖直设置有升降移动的第二移动臂，第一移动臂、第二移动臂错位；本发明由于第一移动臂、第二移动臂错位，而且第一移动臂、第二移动臂可以水平移动以及升降移动，所以大大提高了晶圆移动的效率。大提高了晶圆移动的效率。大提高了晶圆移动的效率。


技术研发人员：魏余红 谭将强
受保护的技术使用者：东莞科卓机器人有限公司
技术研发日：2022.07.18
技术公布日：2022/10/3