一种切片机的进料装置及切片机的制作方法

文档序号:34070779发布日期:2023-05-06 18:20阅读:39来源:国知局
一种切片机的进料装置及切片机的制作方法

本发明涉及硅片加工,尤其涉及一种切片机的进料装置及切片机。


背景技术:

1、金钢线切片机广泛用于单晶硅片的切割,金钢线切片机采用金刚石线单向循环或往复循环运动的方式,使金刚石线与被切割硅柱间形成相对的磨削运动,从而实现切割的目的。

2、现有的金刚线切片机在实际使用中,硅柱首先经进料装置移动至上料装置的上料工位,上料后,通过金刚石线的移动进行切割,进料装置可为移动小车等工具,为了保证硅柱能够准确到达上料工位,往往需要人为对进料装置进行摆正,导致进料装置的工作效率较低。


技术实现思路

1、本发明提供一种切片机的进料装置及切片机,用以解决现有技术中存在的进料装置精确性不高且工作效率较低的问题。

2、第一方面,本发明实施例提供了一种切片机的进料装置,该进料装置包括吊装组件、两个夹持组件、第一底座、第一驱动机构、第二底座、第二驱动机构;

3、所述吊装组件被配置为吊装硅柱;

4、两个所述夹持组件沿第一方向设于所述第一底座;

5、所述第一驱动机构设于所述第一底座,并与两个所述夹持组件连接,被配置为驱动两个所述夹持组件沿所述第一方向相对靠近,使两个所述夹持组件夹持所述吊装组件的侧壁,并将所述吊装组件移动至与所述切片机的上料装置相对应的第一位置,或驱动两个所述夹持组件沿所述第一方向相对远离,使两个所述夹持组件释放所述吊装组件;

6、所述第二驱动机构设于所述第二底座,并与所述第一底座连接,被配置为驱动所述第一底座沿第二方向移动,使所述第一底座靠近所述上料装置或远离所述上料装置;

7、所述第一方向与所述第二方向相垂直。

8、上述实施例中,夹持组件在第一驱动机构的驱动下可以与吊装组件的侧壁相抵接,并且,通过控制夹持组件沿第一方向的位移,可以使得吊装组件准确地移动到与上料装置相对应的第一位置,而后,第一底座在第二驱动机构的驱动下沿第二方向靠近上料装置,通过控制第一底座沿第二方向的位移,可以使得吊装组件准确到达上料工位,这样,在进料过程中,装载有硅柱的吊装组件在夹持组件、第一驱动机构、第二驱动机构的驱动下,能够沿着设定的路径移动,从而被准确地移动到上料工位,并且,无需人工进行摆正,提供了工作效率。

9、可选的,所述吊装组件包括吊装块,所述吊装块的底面被配置为连接硅柱,所述吊装块的顶面沿所述第一方向相对的两侧分别设置有向外伸出的翼板;

10、两个所述夹持组件被配置为支撑于对应的翼板下方,并在所述第一驱动机构的驱动下相对所述翼板滑动。

11、上述可选的实施方式中,夹持组件在第一驱动机构的驱动下沿第一方向移动过程中,吊装组件可随着夹持组件的移动自动调整位置,直至夹持组件产生对应的位移时,吊装组件移动到第一位置,且从两侧被夹持组件所夹持。

12、可选的,所述夹持组件的顶面或所述翼板的底面设置有第一辊动部,所述第一辊动部的中心轴线沿所述第二方向设置,所述第一辊动部被配置为当所述夹持组件相对所述翼板沿所述第一方向滑动时绕自身的中心轴线转动。

13、上述可选的实施方式中,在第一辊动部的作用下,夹持组件与翼板之间的摩擦为滚动摩擦,两者之间的摩擦力较小。

14、可选的,所述夹持组件包括夹板和设于所述夹板顶部的支撑板,所述第一辊动部设于所述支撑板。

15、可选的,所述夹持组件朝向所述吊装组件的一侧或所述吊装组件朝向所述夹持组件的一侧设置有多个第二辊动部,多个所述第二辊动部沿所述第二方向排列设置,且每个所述第二辊动部的中心轴线沿第三方向设置,所述第二辊动部被配置为当所述夹持组件相对所述吊装组件沿所述第二方向滑动时绕自身的中心轴线转动;

16、所述第三方向与所述第一方向、所述第二方向垂直。

17、上述可选的实施方式中,在驱动第一底座沿第二方向向上料装置移动,且第一底座的位移达到最大行程之前,吊装组件的端部将抵到上料装置上,此时,在第二驱动机构的驱动下,第一底座可以继续前进,同时,吊装组件保持不动,夹持组件相对吊装组件产生滑动,通过第二辊动部的设置,减小了两者之间的摩擦力。

18、可选的,所述夹持组件包括夹板,所述夹板朝向所述吊装组件的一侧设置有安装架,所述第二辊动部与所述安装架转动连接。

19、可选的,所述第二辊动部的表面设置有橡胶套。

20、可选的,所述第一驱动机构包括第一电机、正反牙滚珠丝杠,两个所述夹持组件分别通过第一螺母座设于所述正反牙滚珠丝杠的两端;

21、所述第一电机被配置为驱动所述正反牙滚珠丝杠正转或反转,以使两个所述夹持组件相对靠近或相对远离。

22、可选的,所述第一底座的表面设置有第一导轨,所述第一螺母座与所述第一导轨滑动连接。

23、可选的,所述进料装置还包括支撑座,所述支撑座包括沿所述第二方向设置的第一端和第二端,所述第一端与所述第一底座连接,所述第二端与所述第二驱动机构连接,当所述支撑座沿靠近所述上料装置的方向移动至最大行程时,所述第一端伸出至所述第二底座外部。

24、第二方面,本发明实施例还提供了一种切片机,包括上料装置、切片装置以及上述任一项技术方案中所述的进料装置。

25、上述实施例中,在切片机在使用过程中,装载有硅柱的吊装组件在夹持组件、第一驱动机构、第二驱动机构的配合下,能够沿着设定的路径移动,从而被准确地移动到上料工位,并且,无需人工进行摆正,有效提高了工作效率;而后,装载有硅柱的吊装组件由夹持组件转移至上料装置,夹持组件复位,切片装置切割硅柱。



技术特征:

1.一种切片机的进料装置,其特征在于,包括吊装组件、两个夹持组件、第一底座、第一驱动机构、第二底座、第二驱动机构;

2.如权利要求1所述的进料装置,其特征在于,所述吊装组件包括吊装块,所述吊装块的底面被配置为连接硅柱,所述吊装块的顶面沿所述第一方向相对的两侧分别设置有向外伸出的翼板;

3.如权利要求2所述的进料装置,其特征在于,所述夹持组件的顶面或所述翼板的底面设置有第一辊动部,所述第一辊动部的中心轴线沿所述第二方向设置,所述第一辊动部被配置为当所述夹持组件相对所述翼板沿所述第一方向滑动时绕自身的中心轴线转动。

4.如权利要求3所述的进料装置,其特征在于,所述夹持组件包括夹板和设于所述夹板顶部的支撑板,所述第一辊动部设于所述支撑板。

5.如权利要求1或2所述的进料装置,其特征在于,所述夹持组件朝向所述吊装组件的一侧或所述吊装组件朝向所述夹持组件的一侧设置有多个第二辊动部,多个所述第二辊动部沿所述第二方向排列设置,且每个所述第二辊动部的中心轴线沿第三方向设置,所述第二辊动部被配置为当所述夹持组件相对所述吊装组件沿所述第二方向滑动时绕自身的中心轴线转动;

6.如权利要求5所述的进料装置,其特征在于,所述夹持组件包括夹板,所述夹板朝向所述吊装组件的一侧设置有安装架,所述第二辊动部与所述安装架转动连接。

7.如权利要求5所述的进料装置,其特征在于,所述第二辊动部的表面设置有橡胶套。

8.如权利要求1或2所述的进料装置,其特征在于,所述第一驱动机构包括第一电机、正反牙滚珠丝杠,两个所述夹持组件分别通过第一螺母座设于所述正反牙滚珠丝杠的两端;

9.如权利要求8所述的进料装置,其特征在于,所述第一底座的表面设置有第一导轨,所述第一螺母座与所述第一导轨滑动连接。

10.如权利要求8所述的进料装置,其特征在于,所述进料装置还包括支撑座,所述支撑座包括沿所述第二方向设置的第一端和第二端,所述第一端与所述第一底座连接,所述第二端与所述第二驱动机构连接,当所述支撑座沿靠近所述上料装置的方向移动至最大行程时,所述第一端伸出至所述第二底座外部。

11.一种切片机,其特征在于,包括上料装置、切片装置以及权利要求1~10任一项所述的进料装置。


技术总结
本发明涉及硅片加工技术领域,公开了一种切片机的进料装置及切片机,用以解决现有技术中存在的进料装置精确性不高且工作效率较低的问题。该进料装置包括:吊装组件,被配置为吊装硅柱;两个夹持组件,沿第一方向设于第一底座;第一驱动机构,设于第一底座,并与两个夹持组件连接,被配置为驱动两个夹持组件沿第一方向相对靠近,使两个夹持组件夹紧吊装组件,并将吊装组件移动至与切片机的上料装置相对应的第一位置,或驱动两个夹持组件沿第一方向相对远离,使两个夹持组件释放吊装组件;第二驱动机构,设于第二底座,并与第一底座连接,被配置为驱动第一底座沿第二方向移动,使第一底座靠近上料装置或远离上料装置;第一方向与第二方向相垂直。

技术研发人员:缪庆光
受保护的技术使用者:北京京运通科技股份有限公司
技术研发日:
技术公布日:2024/1/12
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