超声喷头组件、用于多线切割的超声辅助排屑装置及方法与流程

本申请涉及衬底加工，尤其涉及超声喷头组件、用于多线切割的超声辅助排屑装置及方法。

背景技术：

1、多线切割是一种通过如金属丝等切割线的高速往复运动，将半导体等物体一次同时切割为数百片薄片的一种新型切割加工方法。目前，高精度数控多线高速切割机床可全面实现对半导体材料及各种硬脆材料的高精度、高速度及低损耗切割。

2、然而，在目前的多线切割机在对待切割物进行多线切割的过程中，切割部位的切屑会产生堆积，使得排屑能力降低，切割线组成的线网方向和进给方向的翘曲度(warp)劣化。

3、因此，目前亟需设计一种能够在多线切割机的作业过程中，辅助多线切割机排屑的装置。

技术实现思路

1、鉴于此，本申请实施例提供了超声喷头组件、用于多线切割的超声辅助排屑装置及方法，以消除或改善现有技术中存在的一个或更多个缺陷。

2、本申请的一个方面提供了一种超声喷头组件，包括：内腔容纳有目标流体的主流体管、与该主流体管的内腔连通的喷头以及用于对所述目标流体进行超声震荡的超声发生器，其中，所述目标流体包括：液体和/或气体；

3、所述主流体管设置在多线切割机中的槽轮与固定台之间，且所述喷头的流体喷口与所述多线切割机中的缠绕于所述槽轮的切割线相对设置，以将处于超声震荡状态的所述目标流体自所述流体喷口喷射至所述切割线上。

4、在本申请的一些实施例中，所述主流体管有多个；

5、各个所述主流体管的间距基于所述多线切割机中的各个槽轮的沟槽间距设置。

6、在本申请的一些实施例中，所述主流体管上设有多个喷头；

7、每个所述主流体管上的所述喷头的数量均等于或大于所述切割线的数量，以使每条所述切割线均与每个所述主流体管上的至少一个所述喷头的流体喷口之间以预设角度相对设置；

8、所述主流体管上的各个所述喷头与该主流体管之间活动连接。

9、在本申请的一些实施例中，所述主流体管上设有一个所述喷头，且该喷头的流体喷口包括条形喷口，以使每个所述主流体管上的所述条形喷口分别与全部的所述切割线之间以预设角度相对设置。

10、在本申请的一些实施例中，所述主流体管的内腔包括：用于容纳所述液体的液体腔和用于容纳气体的气体腔；

11、所述喷头包括：双流式喷嘴；

12、所述双流式喷嘴的进液口与所述液体腔连通；所述双流式喷嘴的进气口与所述气体腔连通。

13、在本申请的一些实施例中，每个所述主流体管上均设有所述超声发生器，以对所述主流体管的内腔中的所述目标流体进行超声震荡。

14、在本申请的一些实施例中，每个所述喷头中均固定设有所述超声发生器，以对所述喷头中的所述目标流体进行超声震荡。

15、在本申请的一些实施例中，所述主流体管的两端分别与不同的连接杆固定连接，且连接至同一所述主流体管的两个连接杆分别与一个所述槽轮的两端活动连接。

16、本申请的另一个方面提供了一种用于多线切割的超声辅助排屑装置，包括：变频器、连接至该变频器的压电器以及所述的超声喷头组件；

17、所述超声喷头组件中的所述超声发生器连接至所述压电器，以使所述超声喷头组件中的所述目标流体在所述变频器和压电器的驱动下产生超声震荡并喷射至所述切割线上，进而推动所述切割线在垂直于所述多线切割机的切割方向上产生一个周期震荡来排出切削碎屑。

18、本申请的再一个方面还提供了一种用于多线切割的超声辅助排屑方法，包括：

19、控制所述的用于多线切割的超声辅助排屑装置中的变频器和压电器运转，以使所述超声喷头组件中的所述目标流体在所述变频器和压电器的驱动下产生超声震荡并喷射至所述切割线上，进而推动所述切割线在垂直于所述多线切割机的切割方向上产生一个周期震荡来排出切削碎屑。

20、本申请提供的超声喷头组件，通过采用内腔容纳有目标流体的主流体管、与该主流体管的内腔连通的喷头以及用于对目标流体进行超声震荡的超声发生器，其中，目标流体包括：液体和/或气体；主流体管设置在多线切割机中的槽轮与固定台之间，且喷头的流体喷口与多线切割机中的缠绕于槽轮的切割线相对设置，以将处于超声震荡状态的目标流体自流体喷口喷射至切割线上，能够有效提升多线切割机的排屑能力，并能够有效优化多线切割机中切割线的切削能力以及改善线切割的翘曲度，进而能够提高多线切割机的应用有效性及可靠性。

21、本申请的附加优点、目的，以及特征将在下面的描述中将部分地加以阐述，且将对于本领域普通技术人员在研究下文后部分地变得明显，或者可以根据本申请的实践而获知。本申请的目的和其它优点可以通过在说明书以及附图中具体指出的结构实现到并获得。

22、本领域技术人员将会理解的是，能够用本申请实现的目的和优点不限于以上具体所述，并且根据以下详细说明将更清楚地理解本申请能够实现的上述和其他目的。

技术特征：

1.一种超声喷头组件，其特征在于，包括：内腔容纳有目标流体的主流体管、与该主流体管的内腔连通的喷头以及用于对所述目标流体进行超声震荡的超声发生器，其中，所述目标流体包括：液体和/或气体；

2.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，所述主流体管有多个；

3.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，所述主流体管上设有多个喷头；

4.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，所述主流体管上设有一个所述喷头，且该喷头的流体喷口包括条形喷口，以使每个所述主流体管上的所述条形喷口分别与全部的所述切割线之间以预设角度相对设置。

5.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，所述主流体管的内腔包括：用于容纳所述液体的液体腔和用于容纳气体的气体腔；

6.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，每个所述主流体管上均设有所述超声发生器，以对所述主流体管的内腔中的所述目标流体进行超声震荡。

7.根据权利要求1或6所述的超声喷头组件，其特征在于，每个所述喷头中均固定设有所述超声发生器，以对所述喷头中的所述目标流体进行超声震荡。

8.根据权利要求1所述的超声喷头组件，其特征在于，所述主流体管的两端分别与不同的连接杆固定连接，且连接至同一所述主流体管的两个连接杆分别与一个所述槽轮的两端活动连接。

9.一种用于多线切割的超声辅助排屑装置，其特征在于，包括：变频器、连接至该变频器的压电器以及如权利要求1至8任一项所述的超声喷头组件；

10.一种用于多线切割的超声辅助排屑方法，其特征在于，包括：

技术总结
本申请提供一种超声喷头组件、用于多线切割的超声辅助排屑装置及方法，组件采用内腔容纳有目标流体的主流体管、与该主流体管的内腔连通的喷头以及用于对目标流体进行超声震荡的超声发生器，其中，目标流体包括：液体和/或气体；主流体管设置在多线切割机中的槽轮与固定台之间，且喷头的流体喷口与多线切割机中的缠绕于槽轮的切割线相对设置，以将处于超声震荡状态的目标流体自流体喷口喷射至切割线上。本申请能够有效提升多线切割机的排屑能力，并能够有效优化多线切割机中切割线的切削能力以及改善线切割的翘曲度，进而能够提高多线切割机的应用有效性及可靠性。

技术研发人员：刘增伟,张帅,李瑞评,曾柏翔,张佳浩,刘聪毅
受保护的技术使用者：福建晶安光电有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13