一种晶圆分切用治具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体为一种晶圆分切用治具。


背景技术：

2.晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，通过切割设备可以将整块的圆柱形晶圆切割成相同厚度的多个晶圆，在对晶圆切割时需要将其进行固定。
3.现有的技术是通过胶直接将原料粘到设备的托盘上进行切割，这种固定方式会增加工序，且切片良品率不好把控，另外，拆除费时费力，导致加工效率低下。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的在于提供一种晶圆分切用治具，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆分切用治具，包括托盘，所述托盘的表面可拆卸连接有定位机构，所述定位机构包括连接板，所述连接板的表面设置有固定圈，所述固定圈的边缘竖向开设有环形槽，所述固定圈的内部横向开设有贯穿环形槽的导线槽，所述环形槽的内侧可拆卸连接有晶圆，所述连接板的边缘设置有将晶圆固定在环形槽内部的固定组件。
6.优选的，所述固定组件包括弹片，所述弹片与连接板之间连接有固定螺丝，所述弹片通过固定螺丝安装在连接板的外表面。
7.优选的，所述弹片的上部一端固定连接有弹性垫，所述弹性垫上部一端表面与晶圆的下部外表面接触。
8.优选的，所述连接板的表面开设有滑槽，所述弹性垫滑动连接在滑槽的内部，所述弹性垫与滑槽尺寸相适配。
9.优选的，所述连接板通过m6螺丝安装在托盘的表面，所述连接板、固定圈均为圆形。
10.优选的，所述环形槽的数量为多个，多个所述环形槽在固定圈的边缘呈圆形阵列排布，所述环形槽的一端为开口，所述晶圆通过开口放置于环形槽内。
11.优选的，所述环形槽的数量至少为两个，所述环形槽呈等间距排布。
12.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：将晶圆通过开口放入环形槽的内部，通过固定螺丝将弹片固定在连接板的表面，可以使弹片上部一端的弹性垫抵在晶圆的表面，进而可以将晶圆固定在环形槽中，晶圆的固定比较牢固，切刀伸入导线槽内部对晶圆进行分切，晶圆在切割过程中不会晃动，且托盘可以带动晶圆在切割时转动，一次可以切割一周的晶圆，切割效率较高，另外，导线槽可以对切刀进行导线与定位，使得到的产品厚度相同，可以保证产品的质量，且拆卸比较方便。
附图说明
13.图1为本实用新型一种晶圆分切用治具的整体结构示意图；
14.图2为本实用新型一种晶圆分切用治具局部结构示意图；
15.图3为本实用新型一种晶圆分切用治具的固定组件的放大结构示意图；
16.图4为本实用新型一种晶圆分切用治具的定位机构的局部放大图。
17.图中：1、托盘；2、定位机构；21、连接板；22、固定圈；23、环形槽；24、导线槽；3、晶圆；4、固定组件；41、弹片；42、弹性垫；43、固定螺丝；44、滑槽。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1至图4，本实用新型提供一种晶圆分切用治具，包括托盘1，托盘1的表面可拆卸连接有定位机构2，定位机构2包括连接板21，连接板21的表面设置有固定圈22，固定圈22的边缘竖向开设有环形槽23，固定圈22的内部横向开设有贯穿环形槽23的导线槽24，环形槽23的内侧可拆卸连接有晶圆3，连接板21的边缘设置有将晶圆3固定在环形槽23内部的固定组件4。
20.本实施例中，固定组件4包括弹片41，弹片41与连接板21之间连接有固定螺丝43，弹片41通过固定螺丝43安装在连接板21的外表面。
21.具体的，通过固定螺丝43便于弹片41的安装与拆卸，通过弹片41可以对晶圆3进行夹紧。
22.本实施例中，弹片41的上部一端固定连接有弹性垫42，弹性垫42上部一端表面与晶圆3的下部外表面接触。
23.具体的，通过弹性垫42可以对晶圆3进行固定的同时对其进行保护，避免弹片41将晶圆3的表面划伤。
24.本实施例中，连接板21的表面开设有滑槽44，弹性垫42滑动连接在滑槽44的内部，弹性垫42与滑槽44尺寸相适配。
25.具体的，通过滑槽44可以对弹性垫42起到限位作用。
26.本实施例中，连接板21通过m6螺丝安装在托盘1的表面，连接板21、固定圈22均为圆形。
27.具体的，通过m6螺丝便于定位机构2的拆卸与更换，便于更换不同型号的定位机构2。
28.本实施例中，环形槽23的数量为多个，多个环形槽23在固定圈22的边缘呈圆形阵列排布，环形槽23的一端为开口，晶圆3通过开口放置于环形槽23内。
29.具体的，通过环形槽23可以对晶圆3进行支撑，且环形槽23可以在晶圆3切割完之后引导其掉落位置，避免晶圆3在切完的瞬间掉落到机架上以及一些其他不必要的碰撞而损坏，另外，环形槽23在晶圆3切割的同时提供一个横向着力点，可以有效避免晶圆3切割即将完成时的崩边现象。
30.本实施例中，环形槽23的数量至少为两个，环形槽23呈等间距排布。
31.具体的，导线槽24可以引导切刀走线行程，能够得到的产品厚度相同。
32.工作原理：使用时，通过m6螺丝将连接板21固定在托盘1表面，托盘1安装在外部转动装置上，将晶圆3通过开口放入环形槽23的内部，通过固定螺丝43将弹片41固定在连接板21的表面，可以使弹片41上部一端的弹性垫42抵在晶圆3的表面，进而可以将晶圆3固定在环形槽23中，通过托盘1横向移动并旋转使外部切刀伸入导线槽24内部对晶圆3进行分切。
33.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征：
1.一种晶圆分切用治具，包括托盘(1)，其特征在于，所述托盘(1)的表面可拆卸连接有定位机构(2)，所述定位机构(2)包括连接板(21)，所述连接板(21)的表面设置有固定圈(22)，所述固定圈(22)的边缘竖向开设有环形槽(23)，所述固定圈(22)的内部横向开设有贯穿环形槽(23)的导线槽(24)，所述环形槽(23)的内侧可拆卸连接有晶圆(3)，所述连接板(21)的边缘设置有将晶圆(3)固定在环形槽(23)内部的固定组件(4)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述固定组件(4)包括弹片(41)，所述弹片(41)与连接板(21)之间连接有固定螺丝(43)，所述弹片(41)通过固定螺丝(43)安装在连接板(21)的外表面。3.根据权利要求2所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述弹片(41)的上部一端固定连接有弹性垫(42)，所述弹性垫(42)上部一端表面与晶圆(3)的下部外表面接触。4.根据权利要求3所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述连接板(21)的表面开设有滑槽(44)，所述弹性垫(42)滑动连接在滑槽(44)的内部，所述弹性垫(42)与滑槽(44)尺寸相适配。5.根据权利要求1所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述连接板(21)通过m6螺丝安装在托盘(1)的表面，所述连接板(21)、固定圈(22)均为圆形。6.根据权利要求1所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述环形槽(23)的数量为多个，多个所述环形槽(23)在固定圈(22)的边缘呈圆形阵列排布，所述环形槽(23)的一端为开口，所述晶圆(3)通过开口放置于环形槽(23)内。7.根据权利要求1所述的一种晶圆分切用治具，其特征在于，所述环形槽(23)的数量至少为两个，所述环形槽(23)呈等间距排布。

技术总结
本实用新型涉及晶圆加工技术领域，具体公开了一种晶圆分切用治具，包括托盘，所述托盘的表面可拆卸连接有定位机构，所述定位机构包括连接板，所述连接板的表面设置有固定圈，所述固定圈的边缘竖向开设有环形槽，所述固定圈的内部横向开设有贯穿环形槽的导线槽，所述环形槽的内侧可拆卸连接有晶圆，所述连接板的边缘设置有将晶圆固定在环形槽内部的固定组件。本实用新型提供的一种晶圆分切用治具，晶圆在切割过程中不会晃动，切割效率较高，导线槽可以对切刀进行导线与定位，使得到的产品厚度相同，可以使产品的质量更好。可以使产品的质量更好。可以使产品的质量更好。


技术研发人员：李科
受保护的技术使用者：深圳市美誉镜界光电科技有限公司
技术研发日：2022.01.17
技术公布日：2022/7/15