一种立式炉及其取放料组件的制作方法

本发明涉及立式炉，尤其涉及一种立式炉及其取放料组件。

背景技术：

1、立式炉是用于半导体硅片加工的一种工艺设备。硅片加工工艺是一种非常精密的工艺，温度是硅片加工工艺中非常重要的指标，该指标直接影响硅片膜厚的厚度和均匀性。目前高温立式炉工艺温度可达1200摄氏度，为了保证腔室内晶圆位置的恒温，需要有效的保温结构确保晶圆工艺时的温度一致均匀性。

2、目前在使用立式炉对含金属硅片进行加工时，通常需要先将硅片加工成型，然后通过跺码装置将硅片跺码完成后，转移至输送装置对硅片进行输送，最后输送至立式炉进行加工，这种输送方式在实际生产中需要多个工序的产线共同作业，相互之间组合搭配需要使用较多的电气传感器，在实际使用时增加了制作成本。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种立式炉及其取放料组件，以解决目前在将含金属硅片输送至立式炉进行加工时，现有的输送方式需要多个工序的产线共同作业，相互之间组合搭配需要使用较多的电气传感器，在实际使用时制作成本较高的问题。

2、为实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种取放料组件，应用于立式炉本体上，所述立式炉本体的一侧靠近底部边缘处开设有入料口，所述立式炉本体的一侧靠近顶部边缘处固定有侧板，所述入料口的内部底面设置有延伸至立式炉本体外侧的托板，所述托板的顶部靠近后侧边缘处固定有固定板，所述固定板的前侧滑动连接有活动板，所述托板的顶部位于中间部位设置有存储废料的收纳装置，所述托板的内部设置有输送物料的输送装置，所述托板的上方设置有转运物料的转运件，所述侧板上设置有驱动设备工作的驱动件；

3、所述托板的顶部靠近一侧边缘处固定有增高台，所述增高台的顶部开设有导向槽，所述导向槽的内部设置有带状物料，所述托板的顶部固定有隔板，所述隔板的一侧固定有限制带状物料的限位件，所述活动板的底部位于中间部位固定有切割器，所述切割器位于带状物料的正上方，所述增高台的一侧固定有三角导向块。

4、优选的，所述收纳装置包括料框，所述料框固定在隔板的一侧，所述隔板的一侧开设有侧口，所述带状物料贯穿至侧口的内部，所述活动板的一侧固定有折弯板，所述折弯板的底部固定有切割刀，所述切割刀的一侧与隔板的一侧相贴合。

5、优选的，所述输送装置包括开设在托板上的输送槽，所述输送槽的前后两侧内壁之间固定有支撑板，所述输送槽的前后两侧内壁之间靠近两侧边缘处均固定有输送滚筒，两个所述输送滚筒的外表面之间设置有输送带，所述输送带的顶部等距固定有多个第二磁铁。

6、优选的，所述转运件包括连接板，所述连接板固定在活动板的一侧，所述连接板的前侧固定有固定柱，所述固定柱的外表面转动连接有送料杆，所述送料杆的后侧与固定柱的外表面之间设置有盘状弹簧，所述活动板的一侧固定有挡杆，所述送料杆的底部固定有第一磁铁。

7、优选的，所述驱动件包括固定在侧板前侧的电机，所述电机的输出端固定有摆臂，所述活动板的后侧开设有滑移口，所述滑移口的内部滑动连接有滑移块，所述滑移块的后侧与摆臂之间转动连接。

8、优选的，其中一个所述输送滚筒的一端延伸至托板后侧，且固定有传动轮，所述传动轮与电机的输出端之间连接有皮带。

9、优选的，所述限位件包括弹簧片，所述弹簧片的一侧固定在隔板上，所述弹簧片的另一侧固定有限位块，所述限位块卡合在带状物料上。

10、优选的，所述三角导向块的倾斜面朝向送料杆，且三角导向块位于送料杆的一侧，所述挡杆的一端正对与送料杆的一侧。

11、一种具有取放料组件的立式炉。

12、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

13、1、在使用时，首先将带状物料置于增高台上的导向槽内部，然后通过驱动件带动活动板上下运动，在活动板上下运动的过程中通过切割器对带状物料进行预切割，预切割后通过转运件将切割的物料从带状物料上转运至输送装置进行输送；

14、2、在对带状物料上的物料进行预切割的同时，通过收纳装置对切割后的带状物料进行回收，从而方便人们后续处理，并且在传输带状物料的同时通过限位件对其进行限位，可以防止带状物料产生反向窜动，造成加工失误；

15、3、在转运物料时，位于输送带上的第二磁铁磁力大于送料杆底部的第一磁铁，所以在送料杆将带状物料上的物料取下，运送至输送带上方时，会在第二磁铁的吸力下将物料从第一磁铁上取下，并且进行吸附固定。

技术特征：

1.一种取放料组件，其特征在于，应用于立式炉本体(1)上，所述立式炉本体(1)的一侧靠近底部边缘处开设有入料口(2)，所述立式炉本体(1)的一侧靠近顶部边缘处固定有侧板(3)，所述入料口(2)的内部底面设置有延伸至立式炉本体(1)外侧的托板(4)，所述托板(4)的顶部靠近后侧边缘处固定有固定板(5)，所述固定板(5)的前侧滑动连接有活动板(6)，所述托板(4)的顶部位于中间部位设置有存储废料的收纳装置，所述托板(4)的内部设置有输送物料的输送装置，所述托板(4)的上方设置有转运物料的转运件，所述侧板(3)上设置有驱动设备工作的驱动件；

2.根据权利要求1所述的一种取放料组件，其特征在于：所述收纳装置包括料框(26)，所述料框(26)固定在隔板(8)的一侧，所述隔板(8)的一侧开设有侧口(23)，所述带状物料(16)贯穿至侧口(23)的内部，所述活动板(6)的一侧固定有折弯板(21)，所述折弯板(21)的底部固定有切割刀(22)，所述切割刀(22)的一侧与隔板(8)的一侧相贴合。

3.根据权利要求1所述的一种取放料组件，其特征在于：所述输送装置包括开设在托板(4)上的输送槽(17)，所述输送槽(17)的前后两侧内壁之间固定有支撑板(18)，所述输送槽(17)的前后两侧内壁之间靠近两侧边缘处均固定有输送滚筒(19)，两个所述输送滚筒(19)的外表面之间设置有输送带(35)，所述输送带(35)的顶部等距固定有多个第二磁铁(20)。

4.根据权利要求1所述的一种取放料组件，其特征在于：所述转运件包括连接板(27)，所述连接板(27)固定在活动板(6)的一侧，所述连接板(27)的前侧固定有固定柱(28)，所述固定柱(28)的外表面转动连接有送料杆(30)，所述送料杆(30)的后侧与固定柱(28)的外表面之间设置有盘状弹簧(29)，所述活动板(6)的一侧固定有挡杆(31)，所述送料杆(30)的底部固定有第一磁铁(32)。

5.根据权利要求3所述的一种取放料组件，其特征在于：所述驱动件包括固定在侧板(3)前侧的电机(11)，所述电机(11)的输出端固定有摆臂(12)，所述活动板(6)的后侧开设有滑移口(9)，所述滑移口(9)的内部滑动连接有滑移块(10)，所述滑移块(10)的后侧与摆臂(12)之间转动连接。

6.根据权利要求5所述的一种取放料组件，其特征在于：其中一个所述输送滚筒(19)的一端延伸至托板(4)后侧，且固定有传动轮(14)，所述传动轮(14)与电机(11)的输出端之间连接有皮带(13)。

7.根据权利要求1所述的一种取放料组件，其特征在于：所述限位件包括弹簧片(25)，所述弹簧片(25)的一侧固定在隔板(8)上，所述弹簧片(25)的另一侧固定有限位块(24)，所述限位块(24)卡合在带状物料(16)上。

8.根据权利要求4所述的一种取放料组件，其特征在于：所述三角导向块(34)的倾斜面朝向送料杆(30)，且三角导向块(34)位于送料杆(30)的一侧，所述挡杆(31)的一端正对与送料杆(30)的一侧。

9.一种立式炉，包括立式炉本体(1)，以及如权利要求1所述的取放料组件。

技术总结
本发明属于立式炉技术领域，尤其公开了一种立式炉及其取放料组件，应用于立式炉本体上，所述立式炉本体的一侧靠近底部边缘处开设有入料口，所述立式炉本体的一侧靠近顶部边缘处固定有侧板，在本发明中，首先将带状物料置于增高台上的导向槽内部，然后通过驱动件带动活动板上下运动，在活动板上下运动的过程中通过切割器对带状物料进行预切割，预切割后通过转运件将切割的物料从带状物料上转运至输送装置进行输送，在对带状物料上的物料进行预切割的同时，通过收纳装置对切割后的带状物料进行回收，从而方便人们后续处理，并且在传输带状物料的同时通过限位件对其进行限位，可以防止带状物料产生反向窜动，造成加工失误。

技术研发人员：梁聪元,罗文欣
受保护的技术使用者：深圳市浩宝技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13