一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机的制作方法

本发明属于切割机，具体地是涉及一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机。

背景技术：

1、全自动半导体材料切割机主要面对半导体集成电路行业中先进封装中的qfn、bga、lga等主流产品精密切割，其加工过程主要分为：上料、切割及分选，其采用高性能切割机头，自动完成上料、位置校正、切割、清洗干燥、转运、检片、拾片、装盘或装管等工序；该设备切割采用刀片切割的方式，通过配套的控制软件满足产品的切割所需的各种功能，全自动半导体材料切割机的上料、位置校正、切割、清洗干燥、转运、检片、拾片等各个处理流程中均需气源控制构成切割机的各个机构单元工作。面对这样一个大型、高度集中的全自动半导体材料切割机设备，如何保证它的各个运行模块的气源的稳定供应就成为了一个比较难以控制的疑难问题；在现有的切割机设备加工中，经常会出现所供应真空气量不够的情况；另外，在半导体材料的切割加工中，断电和断气是避免不了的，在突然停电断气后，全自动半导体材料切割机也会随之失电而停止工作，从而会导致全自动半导体材料切割机的真空搬运臂吸取的芯片会全部掉落，致使所切割的芯片会损坏，造成巨大的损失。

技术实现思路

1、本发明就是针对上述问题，弥补现有技术的不足，提供一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机。

2、为实现上述目的，本发明采用如下技术方案。

3、一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，包括上料部分、切割部分、分选部分，上料部分与切割部分衔接配合，切割部分与分选部分衔接配合；

4、所述上料部分包括上料的推料机构单元、夹料装置单元，上料的推料机构单元与夹料装置单元衔接配合；

5、所述切割部分包括工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元，所述工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元依次衔接配合；

6、所述分选部分包括接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元，所述接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元依次衔接配合；

7、所述全自动半导体材料切割机还包括断电断气保护系统，所述断电断气保护系统分别与上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间电连接及气路连接。

8、作为本发明的一种优选方案，所述断电断气保护系统包括储气罐、总控制模块、流量计以及电磁阀，储气罐的进气端与外界供气气源通过气管连接，储气罐的出气端分别通过流量计以及电磁阀与上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间通过气管连接，总控制模块分别与储气罐、流量计、电磁阀之间通过电控线连接，流量计与电磁阀之间通过气管连接。

9、作为本发明的另一种优选方案，所述总控制模块为运动控制器，总控制模块还连接有供电模块，供电模块用于为总控制模块提供电源。

10、作为本发明的另一种优选方案，所述总控制模块用于将外界供气气源供给到储气罐内的气体按照上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元的用气量进行分配，总控制模块与储气罐之间还通过防爆管连接。

11、作为本发明的另一种优选方案，所述断电断气保护系统还包括气压表、保压装置、真空加压装置，总控制模块与保压装置、真空加压装置电控连接；气压表、保压装置、真空加压装置分别与储气罐以及上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元连接。

12、作为本发明的另一种优选方案，所述气压表用于测量上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元的用气量和压力值并显示；保压装置用于防止气路中的气管漏气以及在断气时能继续保持各个真空单元的稳定运行；真空加压装置用于为上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元保证充足的气量。

13、作为本发明的另一种优选方案，位于所述储气罐出气端连接有供气过滤装置，由储气罐输出的气体通过供气过滤装置过滤后供给上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元，供气过滤装置通过气管与流量计连接。

14、本发明有益效果：

15、本发明所设置的断电断气保护系统，通过储气罐、总控制模块以及电磁阀配合组成一个单独的供气源，给各个单元供气以控制各个单元，由总控制模块获得断电信号后控制储气罐、电磁阀给各个单元供气，使得切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元依旧能吸取芯片，不会掉落，此功能能持续一段时间，保证全自动半导体材料切割机能将正在进行芯片切割的工作完成；同时，总控制模块也控制所设置的保压装置和真空加压装置进行工作，为各个单元保证了充足的气量，从而避免了芯片掉落的情况发生。

技术特征：

1.一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，包括上料部分、切割部分、分选部分，上料部分与切割部分衔接配合，切割部分与分选部分衔接配合；其特征在于：所述上料部分包括上料的推料机构单元、夹料装置单元，上料的推料机构单元与夹料装置单元衔接配合；所述切割部分包括工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元，所述工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元依次衔接配合；所述分选部分包括接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元，所述接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元依次衔接配合；所述全自动半导体材料切割机还包括断电断气保护系统，所述断电断气保护系统分别与上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间电连接及气路连接。

2.根据权利要求1所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：所述断电断气保护系统包括储气罐、总控制模块、流量计以及电磁阀，储气罐的进气端与外界供气气源通过气管连接，储气罐的出气端分别通过流量计以及电磁阀与上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间通过气管连接，总控制模块分别与储气罐、流量计、电磁阀之间通过电控线连接，流量计与电磁阀之间通过气管连接。

3.根据权利要求2所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：所述总控制模块为运动控制器，总控制模块还连接有供电模块，供电模块用于为总控制模块提供电源。

4.根据权利要求2所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：所述总控制模块用于将外界供气气源供给到储气罐内的气体按照上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元的用气量进行分配，总控制模块与储气罐之间还通过防爆管连接。

5.根据权利要求2所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：所述断电断气保护系统还包括气压表、保压装置、真空加压装置，总控制模块与保压装置、真空加压装置电控连接；气压表、保压装置、真空加压装置分别与储气罐以及上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元连接。

6.根据权利要求5所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：所述气压表用于测量上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元的用气量和压力值并显示；保压装置用于防止气路中的气管漏气以及在断气时能继续保持各个真空单元的稳定运行；真空加压装置用于为上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元保证充足的气量。

7.根据权利要求2所述的一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，其特征在于：位于所述储气罐出气端连接有供气过滤装置，由储气罐输出的气体通过供气过滤装置过滤后供给上料的推料机构单元、夹料装置单元、工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元，供气过滤装置通过气管与流量计连接。

技术总结
本发明公开一种具有断电断气保护的全自动半导体材料切割机，上料的推料机构单元与夹料装置单元衔接配合，工件顺序检测单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、吹气清理单元依次衔接配合，接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元依次衔接配合；还包括断电断气保护系统，断电断气保护系统分别与上料的推料机构单元、夹料装置单元、切割放料治具及其真空单元、吸料治具及其真空单元、工件顺序检测单元、吹气清理单元、接料送料机构及其真空单元、视觉检测单元、去静电机构单元、收料装置单元、收纳盒单元之间连接。本发明能够为各个单元保证充足的气量，避免芯片掉落的情况发生。

技术研发人员：张明明,石文,杜红光,吴洪柏,徐双双,陈冰
受保护的技术使用者：沈阳和研科技股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15