一种自动化切片上下料装置的制作方法

本发明涉及晶棒切片，尤其涉及一种自动化切片上下料装置。

背景技术：

1、硅晶片的生产流程是先在铸锭炉中铸锭形成晶锭，再将晶锭在开方机上开方形成晶棒，然后将晶棒粘接在晶托上，最后将载有晶棒的晶托通过切片机上进行切片制成硅晶片。

2、在此过程中，现今很多都是使用人工进行机床上下料的方式，这在产品比较单一、产能不高的情况下是非常适合的，但是随着社会的进步和发展，科技的日益进步，产品更新换代加快，使用人工进行机床上下料就暴露出了很多的不足和弱点，使用人工会造成劳动强度的增加，容易产生工伤事故，效率也比较低下，且使用人工上下料的产品质量的稳定性不够，不能满足大批量生产的需求，为此现提出一种自动化切片上下料装置，用于解决上述问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是为了解决现有技术使用人工进行机床上下料就暴露出了很多的不足和弱点，使用人工会造成劳动强度的增加，容易产生工伤事故，效率也比较低下，且使用人工上下料的产品质量的稳定性不够，不能满足大批量生产的需求问题，而提出的一种自动化切片上下料装置，其通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。

2、为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：

3、一种自动化切片上下料装置，包括设置在支撑座上的防护板、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体；

4、所述横移机构包括设置在防护板上的固定托板，所述固定托板上设置有横移电机，所述横移电机输出端通过齿传动组件连接有横移滑板，所述横移滑板通过轨道限位件与固定托板连接，所述横移滑板两侧均设置有辅助拖链组件；

5、所述晶拖装配体连接机构包括固定设置在横移滑板一端的驱动电机，所述驱动电机输出端连接有调节丝杠柱，所述调节丝杠柱另一端通过转动连接的连接座与横移滑板连接，所述调节丝杠柱通过螺母滑块连接有驱动滑板，所述驱动滑块上设置有驱动气缸，所述驱动气缸上端部通过磁铁安装板连接有电磁铁，所述驱动滑板通过导向组件与横移滑板连接；

6、所述晶拖装配体吸附设置在电磁铁底部，被驱动气缸驱动进行水平移动。

7、优选地，所述齿传动组件包括固定设置在横移滑板上的移动齿条，所述横移电机输出端贯穿固定托板向下延伸，并固定连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与移动齿条啮合连接。

8、优选地，所述固定托板上设置有转轴连接器，所述转轴连接器输出端连接有毛毡轮，所述毛毡轮与移动齿条啮合连接。

9、优选地，所述轨道限位件包括固定设置在固定托板底部呈相对设置的固定导轨条，所述横移滑板上表面对称设置有多个滑轨块，所述滑轨块与固定导轨条滑动接触，所述固定导轨条呈“工”型设置，与滑轨块实现上下限位。

10、优选地，所述辅助拖链组件包括设置在防护板一侧的u型支撑架，所述u型支撑架内设置有对管线进行引导的拖链件，所述防护板上开设有管线进行移动的开口。

11、优选地，所述导向组件包括设置在横移滑板底部呈对称设置的限位导轨，所述限位导轨上滑动设置有多个限位导块，所述限位导块固定设置在驱动滑板上。

12、优选地，所述限位导轨两端均通过支柱连接有聚氨酯缓冲块，用于对驱动滑板的吸能缓冲保护。

13、优选地，所述固定托板的两端均设置有多横移滑板移动行程进行限位的阻挡块。

14、相比现有技术，本发明的有益效果为：

15、1、采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。

16、2、通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，它用自动化代替人工，提高了工作效率，降低了人力成本，提高了安全性又提升了产品质量的稳定性。

技术特征：

1.一种自动化切片上下料装置，其特征在于，包括设置在支撑座(1)上的防护板(2)、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体(3)；

2.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述齿传动组件包括固定设置在横移滑板(5)上的移动齿条(15)，所述横移电机(4)输出端贯穿固定托板(6)向下延伸，并固定连接有驱动齿轮(16)，所述驱动齿轮(16)与移动齿条(15)啮合连接。

3.根据权利要求2所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述固定托板(6)上设置有转轴连接器(17)，所述转轴连接器(17)输出端连接有毛毡轮(18)，所述毛毡轮(18)与移动齿条(15)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述轨道限位件包括固定设置在固定托板(6)底部呈相对设置的固定导轨条(19)，所述横移滑板(5)上表面对称设置有多个滑轨块(20)，所述滑轨块(20)与固定导轨条(19)滑动接触，所述固定导轨条(19)呈“工”型设置，与滑轨块(20)实现上下限位。

5.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述辅助拖链组件包括设置在防护板(2)一侧的u型支撑架(14)，所述u型支撑架(14)内设置有对管线进行引导的拖链件(21)，所述防护板(2)上开设有管线进行移动的开口。

6.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述导向组件包括设置在横移滑板(5)底部呈对称设置的限位导轨(22)，所述限位导轨(22)上滑动设置有多个限位导块(23)，所述限位导块(23)固定设置在驱动滑板(10)上。

7.根据权利要求6所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述限位导轨(22)两端均通过支柱连接有聚氨酯缓冲块(24)，用于对驱动滑板(10)的吸能缓冲保护。

8.根据权利要求1所述的一种自动化切片上下料装置，其特征在于，所述固定托板(6)的两端均设置有移滑板(5)移动行程进行限位的阻挡块。

技术总结
本发明公开了一种自动化切片上下料装置，属于晶棒切片技术领域，包括设置在支撑座上的防护板、横移机构、晶拖装配体连接机构和晶拖装配体，横移机构包括设置在防护板上的固定托板，固定托板上设置有横移电机，横移电机输出端通过齿传动组件连接有横移滑板，横移滑板通过轨道限位件与固定托板连接，横移滑板两侧均设置有辅助拖链组件，晶拖装配体吸附设置在电磁铁底部，被驱动气缸驱动进行水平移动。本发明通过晶托装配体，实现自动化切片上下料，采用自动化代替人工，提高精效率、生产力，保证精度，设置晶托装配体代替一般抓取，结合了晶托装配体的优势和机械手的灵活性，能够实现高效和精准的操作，并具备晶片保护的特性。

技术研发人员：吴晓杰,任彬彬,高原,高兴民,阳鹏程,于忠涛
受保护的技术使用者：无锡多恩多自动化有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16