一种石墨沟切治具的制作方法

本发明涉及硅部件加工，特别地，涉及一种石墨沟切治具。

背景技术：

1、沟切是制造硅舟的一个重要生产工序。主要用于硅片的承载，在沟棒上切割出相同间隙用于承载硅片的沟齿。

2、常规加工方式：将沟棒利用蜡粘结在治具上，测量好位置后进行第一个槽的加工，加工完成之后送检，满足尺寸要求后，即可进行其它沟槽的加工。一般情况下，沟棒上的沟槽数量较多，单独加工一根沟棒时需要耗费二十小时左右的时间，多根沟棒的沟切需要耗费大量的时间。

3、如今，为了提高沟棒的沟切效率，将沟棒固定在沟切治具上，现有的沟切治具可以参照授权公告号为cn211941535u的实用新型专利中的沟切治具，该治具采用石墨材料制成，利用基座上的两根卡条将上方分隔出供三根沟棒同时放置的卡槽，其中，卡条与基座一体成型，两卡条之间的卡槽宽度无法进行调整，卡条侧面的倾斜角度也无法调整。

4、由于不同型号的沟棒，其宽度不同，沟棒在沟切过程中，所适用卡条斜面的倾斜角度也存在差异，不同型号的沟棒需要使用对应尺寸的治具进行固定，无法实现一种治具适配多种型号的沟棒加工。

5、因此，如何设计一种能够适应多种型号沟棒加工的石墨沟切治具，成为本领域人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种石墨沟切治具，解决治具无法适用于不同型号沟棒加工的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种石墨沟切治具，包括基座，基座顶壁设有向下凹陷的安装槽，安装槽内设有沿着y轴方向滑动连接的第一卡条以及第二卡条，基座上设有调节第一卡条和第二卡条之间卡槽间隙的宽度调节机构，延伸出安装槽的第一卡条与第二卡条的侧壁均转动连接有斜向下延伸的承托板，所述基座的底壁设有沿着y轴方向设置的滑移槽，所述滑移槽内滑动连接有滑块，所述承托板上设有延伸至滑移槽的连接头，所述滑块上设有沿着z轴方向设置的腰孔，所述连接头上固定设有插接至腰孔内的插销，所述基座上设有固定在滑块上的调节板，所述调节板与基座之间设有定位机构，所述调节板上还设有用于沟棒固定的沟棒夹持组件。

4、进一步的，所述定位机构包括第二定位槽、第二螺栓以及定位孔，所述定位孔设于基座的顶壁上，所述第二定位槽沿着y轴方向设置且设于调节板上，所述第二定位槽上下贯穿调节板，第二定位槽的侧壁设有定位台阶，调节板固定时，第二螺栓与定位孔螺纹连接，且第二螺栓的端部与定位台阶的顶壁抵接。

5、进一步的，定位机构还包括防滑垫，所述防滑垫放置在所述定位台阶上，调节板固定时，第二螺栓的端部挤压防滑垫发生弹性形变。

6、进一步的，沟棒夹持组件包括调节槽、顶推板、顶推杆、顶推块以及调节螺杆，所述调节槽沿着x轴方向设置于调节板的顶壁，所述顶推板侧壁与调节槽的侧壁沿着y轴方向滑动连接，所述调节螺杆转动安装在调节板上且与顶推板螺纹连接，所述顶推杆固定安装在顶推板上且穿过调节槽向承托板一侧延伸，所述顶推块固定安装在顶推杆上。

7、进一步的，所述顶推块上设有顶推斜面，所述顶推斜面与同侧承托板的倾斜方向一致。

8、进一步的，宽度调节机构包括第一螺杆以及与第一螺杆固定的第二螺杆，第一螺杆与第二螺杆沿着y轴方向设置，第一螺杆上设有第一螺纹段，第二螺杆上设有第二螺纹段，第一螺纹段为正旋螺纹，第二螺纹段为反旋螺纹，第一螺纹段与第一卡条螺纹连接，第二螺纹段与第二卡条螺纹连接。

9、进一步的，所述第一卡条与第二卡条上均安装有安装座，所述安装座上设有内螺纹，第一螺纹段与第二螺纹段与对应安装座上的内螺纹螺纹连接。

10、进一步的，第一螺杆上设有第一插接通道，第二螺杆上设有两端贯穿的第二插接通道，第一插接通道与第二插接通道的内壁均设有沿y轴方向设置的第一插接槽，还包括同步杆，无头螺栓以及第三螺栓，同步杆的外壁固定设有插接至第一插接槽内的同步插接肋，第一螺杆与第二螺杆组装时，同步杆的同步插接肋同时插入第一插接通道与第二插接通道中的第一插接槽内，无头螺栓的外螺纹与第二插接通道的内螺纹螺纹连接，无头螺栓与同步杆抵接，第三螺栓穿过第一螺杆与同步杆螺纹连接。

11、进一步的，包括固定在第一螺杆端部的扭转螺帽，扭转螺帽上设有插接孔，插接孔内转动连接有限位杆，基座的侧壁上设有限位环槽，限位杆的端部固定设有插接至限位环槽内的限位块，限位环槽的纵截面呈横置的t型，限位块的侧壁与限位环槽的侧壁相抵用以限制第一螺杆沿着y轴方向移动，还包括限制限位杆转动的限位机构。

12、进一步的，限位机构包括定位套，限位杆侧壁设有沿着y轴方向设置的限位插槽，扭转螺帽的侧壁上设有沿y轴方向设置的第二插接槽，定位套内设有用以插接至限位插槽的限位肋，还包括插接至第二插接槽内的插接肋，定位套与扭转螺帽组装时，插接肋插接至第二插接槽内，限位肋插接至限位插槽内，定位套与扭转螺帽通过第三螺栓固定。

13、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过宽度调节机构对第一卡条和第二卡条之间的卡槽间隙进行调整，进而能够适用不同型号沟棒的夹持，同时能够对卡槽中的沟棒进行固定；

14、通过移动调节板的位置，进而能够带动滑块移动，从而能够改变承托板的倾斜角度，适用不同型号沟棒的放置；

15、然后利用定位机构将调节板固定在基座上，防止沟棒加工过程中，承托板的角度发生变化；

16、沟棒放置完毕后，利用沟棒夹持组件将沟棒顶推至承托板上，与传统的粘蜡固定方式相比，简化了沟棒的固定方式，提高沟棒的加工效率。

技术特征：

1.一种石墨沟切治具，其特征在于：包括基座(1)，基座(1)顶壁设有向下凹陷的安装槽(13)，安装槽(13)内设有沿着y轴方向滑动连接的第一卡条(21)以及第二卡条(22)，基座(1)上设有调节第一卡条(21)和第二卡条(22)之间卡槽间隙的宽度调节机构(6)，延伸出安装槽(13)的第一卡条(21)与第二卡条(22)的侧壁均转动连接有斜向下延伸的承托板(3)，所述基座(1)的底壁设有沿着y轴方向设置的滑移槽(18)，所述滑移槽(18)内滑动连接有滑块(4)，所述承托板(3)上设有延伸至滑移槽(18)的连接头(33)，所述滑块(4)上设有沿着z轴方向设置的腰孔(411)，所述连接头(33)上固定设有插接至腰孔(411)内的插销(331)，所述基座(1)上设有固定在滑块(4)上的调节板(5)，所述调节板(5)与基座(1)之间设有定位机构，所述调节板(5)上还设有用于沟棒(200)固定的沟棒夹持组件。

2.根据权利要求1所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：所述定位机构包括第二定位槽(52)、第二螺栓(523)以及定位孔(19)，所述定位孔(19)设于基座(1)的顶壁上，所述第二定位槽(52)沿着y轴方向设置且设于调节板(5)上，所述第二定位槽(52)上下贯穿调节板(5)，第二定位槽(52)的侧壁设有定位台阶(521)，调节板(5)固定时，第二螺栓(523)与定位孔(19)螺纹连接，且第二螺栓(523)的端部与定位台阶(521)的顶壁抵接。

3.根据权利要求2所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：定位机构还包括防滑垫(522)，所述防滑垫(522)放置在所述定位台阶(521)上，调节板(5)固定时，第二螺栓(523)的端部挤压防滑垫(522)发生弹性形变。

4.根据权利要求1所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：沟棒夹持组件包括调节槽(53)、顶推板(54)、顶推杆(541)、顶推块(56)以及调节螺杆(55)，所述调节槽(53)沿着x轴方向设置于调节板(5)的顶壁，所述顶推板(54)侧壁与调节槽(53)的侧壁沿着y轴方向滑动连接，所述调节螺杆(55)转动安装在调节板(5)上且与顶推板(54)螺纹连接，所述顶推杆(541)固定安装在顶推板(54)上且穿过调节槽(53)向承托板(3)一侧延伸，所述顶推块(56)固定安装在顶推杆(541)上。

5.根据权利要求4所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：所述顶推块(56)上设有顶推斜面(561)，所述顶推斜面(561)与同侧承托板(3)的倾斜方向一致。

6.根据权利要求1所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：宽度调节机构(6)包括第一螺杆(61)以及与第一螺杆(61)固定的第二螺杆(62)，第一螺杆(61)与第二螺杆(62)沿着y轴方向设置，第一螺杆(61)上设有第一螺纹段(601)，第二螺杆(62)上设有第二螺纹段(602)，第一螺纹段(601)为正旋螺纹，第二螺纹段(602)为反旋螺纹，第一螺纹段(601)与第一卡条(21)螺纹连接，第二螺纹段(602)与第二卡条(22)螺纹连接。

7.根据权利要求6所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：所述第一卡条(21)与第二卡条(22)上均安装有安装座(7)，所述安装座(7)上设有内螺纹(701)，第一螺纹段(601)与第二螺纹段(602)与对应安装座(7)上的内螺纹(701)螺纹连接。

8.根据权利要求6或7所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：第一螺杆(61)上设有第一插接通道(603)，第二螺杆(62)上设有两端贯穿的第二插接通道(621)，第一插接通道(603)与第二插接通道(621)的内壁均设有沿y轴方向设置的第一插接槽(622)，还包括同步杆(67)，无头螺栓(68)以及第三螺栓(66)，同步杆(67)的外壁固定设有插接至第一插接槽(622)内的同步插接肋(671)，第一螺杆(61)与第二螺杆(62)组装时，同步杆(67)的同步插接肋(671)同时插入第一插接通道(603)与第二插接通道(621)中的第一插接槽(622)内，无头螺栓(68)的外螺纹与第二插接通道(621)的内螺纹螺纹连接，无头螺栓(68)与同步杆(67)抵接，第三螺栓(66)穿过第一螺杆(61)与同步杆(67)螺纹连接。

9.根据权利要求8所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：包括固定在第一螺杆(61)端部的扭转螺帽(63)，扭转螺帽(63)上设有插接孔(632)，插接孔(632)内转动连接有限位杆(64)，基座(1)的侧壁上设有限位环槽(100)，限位杆(64)的端部固定设有插接至限位环槽(100)内的限位块(641)，限位环槽(100)的纵截面呈横置的t型，限位块(641)的侧壁与限位环槽(100)的侧壁相抵用以限制第一螺杆(61)沿着y轴方向移动，还包括限制限位杆(64)转动的限位机构。

10.根据权利要求1所述的一种石墨沟切治具，其特征在于：限位机构包括定位套(65)，限位杆(64)侧壁设有沿着y轴方向设置的限位插槽(642)，扭转螺帽(63)的侧壁上设有沿y轴方向设置的第二插接槽(631)，定位套(65)内设有用以插接至限位插槽(642)的限位肋(651)，还包括插接至第二插接槽(631)内的插接肋(652)，定位套(65)与扭转螺帽(63)组装时，插接肋(652)插接至第二插接槽(631)内，限位肋(651)插接至限位插槽(642)内，定位套(65)与扭转螺帽(63)通过第三螺栓(66)固定。

技术总结
本发明公开了一种石墨沟切治具，包括基座，基座顶壁设有向下凹陷的安装槽，安装槽内设有沿着Y轴方向滑动连接的第一卡条以及第二卡条，基座上设有调节第一卡条和第二卡条之间卡槽间隙的宽度调节机构，延伸出安装槽的第一卡条与第二卡条的侧壁均转动连接有斜向下延伸的承托板，基座的底壁设有沿着Y轴方向设置的滑移槽，滑移槽内滑动连接有滑块，承托板上设有延伸至滑移槽的连接头，滑块上设有沿着Z轴方向设置的腰孔，连接头上固定设有插接至腰孔内的插销，基座上设有固定在滑块上的调节板，调节板与基座之间设有定位机构，调节板上还设有用于沟棒固定的沟棒夹持组件，解决同一治具适用不同型号沟棒固定的问题。

技术研发人员：林霜,周波,郭洁宇,祝建敏,包攀奇
受保护的技术使用者：浙江盾源聚芯半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/2/29