刀具组件以及劈裂机的制作方法

本发明涉及半导体加工，特别涉及一种刀具组件以及一种劈裂机。

背景技术：

1、在半导体组件的制造过程中，通过前制程在晶圆上形成图形及电极制作后，由后制程进行激光划片，再通过机械刀具劈裂的方式，将晶元从整块晶圆上分离开，若在劈裂过程中，晶圆出现翘曲移位，将影响加工精度，从而降低良品率。

技术实现思路

1、本发明的第一个目的在于提供一种刀具组件，以避免晶圆在劈裂过程中出现翘曲位移，提高加工精度以及良品率。

2、本发明的第二个目的在于提供一种包括上述刀具组件的劈裂机。

3、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

4、一种用于加工装置的刀具组件，包括：

5、刀具，所述刀具能够沿预设方向移动以针对待加工件的待加工面施加加工力；

6、压紧模块，所述压紧模块能够沿所述预设方向往复移动，所述压紧模块具有压紧部，沿所述预设方向，所述压紧部先于所述刀具与所述待加工面接触，以在所述刀具对所述待加工面施加加工力之前通过所述压紧部预压紧所述待加工面。

7、可选地，所述压紧模块包括：

8、基座；

9、连接件，所述连接件的朝向待加工件的表面上设置作为所述压紧部的压条；

10、弹性机构，所述弹性机构的一端连接于所述基座，所述弹性机构的另一端连接于所述连接件。

11、可选地，所述连接件在所述预设方向的两侧分别设置所述压条，两个所述压条之间形成供所述刀具通过以施加所述加工力的缝隙。

12、可选地，所述弹性机构包括：

13、导向柱，所述导向柱设置于所述基座以及所述连接件这两者中的一者；

14、导向套筒，所述导向套筒套设于所述导向柱，且所述导向套筒与所述导向柱之间可沿预设方向相对滑动，所述导向套筒远离所述导向柱的一端连接于所述基座以及所述连接件这两者中的另一者；

15、第一复位件，所述第一复位件设置于所述导向柱与所述导向套筒之间并通过所述导向柱压设在所述导向套筒内。

16、可选地，所述弹性机构还包括用于对所述导向柱的远离所述导向套筒的一端限位的限位件，所述导向柱通过所述限位件设置于所述基座以及所述连接件这两者中的一者，所述限位件设置于所述基座以及所述连接件这两者中的一者。

17、可选地，所述压紧模块还包括具有照明支架和光源的照明机构。

18、可选地，所述刀具组件还包括用于驱动所述刀具的击锤，所述击锤设置于所述刀具远离待加工件的一侧，所述击锤用于敲击所述刀具的刀背，以驱动所述刀具沿预设方向移动。

19、可选地，所述击锤为电磁击锤，所述刀具组件包括沿所述刀具的刀刃延伸方向间隔设置的多个所述电磁击锤，各所述电磁击锤分别通过电控开关与电源以及控制器连接，所述控制器用于根据预设指令控制相应数量及位置的所述电磁击锤动作。

20、可选地，所述电磁击锤包括：

21、电磁击杆，所述电磁击杆用于敲击所述刀具的刀背，所述电磁击杆由铁磁性材料制成；

22、电磁线圈套筒，所述电磁线圈套筒套设于所述电磁击杆外，所述电磁线圈套筒内设置驱动线圈，所述驱动线圈通电后驱动所述电磁击杆敲击所述刀具；

23、第二复位件，所述第二复位件设置于所述电磁击杆与所述电磁线圈套筒之间。

24、可选地，所述刀具组件还包括限位块，所述限位块设置于所述电磁击锤远离所述刀具的一侧，所述限位块与所述电磁击杆之间设置缓冲件。

25、可选地，所述刀具组件还包括：

26、固定板，所述压紧模块以及所述刀具分别设置于所述固定板；

27、滑动导向机构，所述滑动导向机构包括设置于所述固定板的滑动件以及设置于所述刀具的滑动配合件，所述滑动件与所述滑动配合件滑动配合；

28、第三复位件，所述第三复位件设置于所述刀具与所述固定板之间，或者，所述第三复位件设置于所述滑动配合件与所述滑动件之间，或者，所述第三复位件设置于所述刀具与所述滑动件之间，或者，所述第三复位件设置于所述滑动配合件与所述固定板之间。

29、一种劈裂机，所述劈裂机包括如上任意一项所述的刀具组件。

30、由以上技术方案可以看出，本发明中公开了一种刀具组件，该刀具组件包括刀具以及压紧模块，其中，刀具能够沿预设方向移动以针对待加工件的待加工面施加加工力；压紧模块能够沿预设方向往复移动，压紧模块具有压紧部，沿预设方向，压紧部先于刀具与待加工面接触，以在刀具对待加工面施加加工力之前通过压紧部预压紧待加工面，避免待加工件在被劈砍时翘曲移位。

31、在应用时，激光划片完成后在晶圆表面划出横向和纵向的切割线，然后将晶圆贴附在具有粘性的白膜或者蓝膜上，并使晶元放置在劈裂机上，刀具组件移动至刀具对准晶圆上的切割线，然后向晶圆方向移动，直至压紧模块的压紧部压紧于晶圆，刀具在外力驱动下下落对晶圆施加加工力，这样由于晶圆的切割线附近被压紧部压紧，可以避免加工过程中晶圆出现翘曲位移，提高加工精度以及良品率。

32、本发明还提供了一种劈裂机，该劈裂机包括如上所述的刀具组件，由于该劈裂机采用了上述实施例中的刀具组件，因此该劈裂机理应具有与上述刀具组件相同的有益效果，在此不再赘述。

技术特征：

1.一种用于加工装置的刀具组件，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的刀具组件，其特征在于，所述压紧模块包括：

3.根据权利要求2所述的刀具组件，其特征在于，所述连接件在所述预设方向的两侧分别设置所述压条，两个所述压条之间形成供所述刀具通过以施加所述加工力的缝隙。

4.根据权利要求2或3所述的刀具组件，其特征在于，所述弹性机构包括：

5.根据权利要求4所述的刀具组件，其特征在于，所述弹性机构还包括用于对所述导向柱的远离所述导向套筒的一端限位的限位件，所述导向柱通过所述限位件设置于所述基座以及所述连接件这两者中的一者，所述限位件设置于所述基座以及所述连接件这两者中的一者。

6.根据权利要求2、3及5任意一项所述的刀具组件，其特征在于，所述压紧模块还包括具有照明支架和光源的照明机构。

7.根据权利要求1-3及5任意一项所述的刀具组件，其特征在于，所述刀具组件还包括用于驱动所述刀具的击锤，所述击锤设置于所述刀具远离待加工件的一侧，所述击锤用于敲击所述刀具的刀背，以驱动所述刀具沿预设方向移动。

8.根据权利要求7所述的刀具组件，其特征在于，所述击锤为电磁击锤，所述刀具组件包括沿所述刀具的刀刃延伸方向间隔设置的多个所述电磁击锤，各所述电磁击锤分别通过电控开关与电源以及控制器连接，所述控制器用于根据预设指令控制相应数量及位置的所述电磁击锤动作。

9.根据权利要求8所述的刀具组件，其特征在于，所述电磁击锤包括：

10.根据权利要求9所述的刀具组件，其特征在于，所述刀具组件还包括限位块，所述限位块设置于所述电磁击锤远离所述刀具的一侧，所述限位块与所述电磁击杆之间设置缓冲件。

11.根据权利要求1-3、5及8-10任意一项所述的刀具组件，其特征在于，所述刀具组件还包括：

12.一种劈裂机，其特征在于，所述劈裂机包括如权利要求1-11任意一项所述的刀具组件。

技术总结
本发明涉及一种刀具组件以及劈裂机，该刀具组件包括刀具及压紧模块，刀具能够沿预设方向移动以针对待加工件的待加工面施加加工力；压紧模块能够沿预设方向往复移动，压紧模块具有压紧部，沿预设方向，压紧部先于刀具与待加工面接触，以在刀具对待加工面施加加工力之前通过压紧部预压紧待加工面，在应用时，压紧模块的压紧部压紧于晶圆，刀具在刀具驱动机构的驱动下对晶圆施加加工力，这样由于晶圆的切割线附近被压紧部压紧，可以避免加工过程中晶圆出现翘曲位移，提高加工精度以及良品率。

技术研发人员：魏晓长,方浩全
受保护的技术使用者：深圳镁伽科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/4