一种氮化镓芯片生产废料回收装置的制作方法

本技术涉及氮化镓芯片加工领域，特别涉及一种氮化镓芯片生产废料回收装置。

背景技术：

1、氮化镓是一种无机物，化学式gan，是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体。gan材料的研究与应用是目前全球半导体研究的前沿和热点，是研制微电子器件、光电子器件的新型半导体材料，并与sic、金刚石等半导体材料一起，被誉为是继第一代ge、si半导体材料、第二代gaas、inp化合物半导体材料之后的第三代半导体材料。它具有宽的直接带隙、强的原子键、高的热导率、化学稳定性好等性质和强的抗辐照能力，在光电子、高温大功率器件和高频微波器件应用方面有着广阔的前景。氮化镓芯片生产时需要对氮化镓材料进行切割，切割过程中会产生大量边角料，这些边角料具有回收价值，为此，需要一种氮化镓芯片生产废料回收装置，对这些边角料进行回收。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种氮化镓芯片生产废料回收装置，可以有效解决背景技术中提到的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

3、一种氮化镓芯片生产废料回收装置，包括设备底座，所述设备底座后端固定安装有收集盒，所述设备底座上表面固定安装有橡胶垫，所述设备底座上方设有加工平台，所述加工平台与设备底座之间设有转动机构，所述转动机构包括驱动轴、转向支架、第一齿轮、第二齿轮和伺服电机，所述转向支架固定安装于加工平台底部，所述转向支架上固定安装有驱动轴，所述驱动轴一端固定安装有第一齿轮，所述伺服电机固定安装于设备底座内，所述伺服电机的输出末端固定安装有第二齿轮，所述加工平台底部固定安装有震动机构，所述震动机构包括定位通孔、定位底座、震动电机、定位支架和防护壳体，所述定位底座固定安装于加工平台底部，所述定位底座两侧边缘处开设有定位通孔，所述定位底座上固定安装有定位支架，所述定位支架上固定安装有震动电机。

4、进一步而言，所述设备底座内开设有活动孔，所述驱动轴通过活动孔活动安装在设备底座内。

5、进一步而言，所述第一齿轮通过驱动轴活动安装在设备底座内，所述第二齿轮通过伺服电机活动安装在设备底座内，所述第一齿轮与第二齿轮相互啮合。

6、进一步而言，所述定位通孔内设有螺丝，所述定位底座通过螺丝固定在加工平台底部。

7、进一步而言，所述震动电机通过定位支架固定在定位底座上，所述防护壳体上设有螺丝，所述防护壳体通过螺丝固定在定位底座上。

8、进一步而言，所述加工平台通过转动机构安装在设备底座上。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、使用时可以在加工平台上切割氮化镓材料，切割产生的边角料会掉落到加工平台上，加工平台上积累的边角料较多时可以启动伺服电机，启动伺服电机之后第二齿轮就会带动第一齿轮上的驱动轴旋转，驱动轴旋转之后其会带动加工平台旋转一定角度，从而使加工平台向收集盒一侧倾斜，加工平台向收集盒一侧倾斜之后可以启动震动电机，启动震动电机之后其会带动加工平台震动，从而将加工平台上的边角料震落的到收集盒中，便于用户对这些边角料进行回收。

技术特征：

1.一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：包括设备底座(2)，所述设备底座(2)后端固定安装有收集盒(1)，所述设备底座(2)上表面固定安装有橡胶垫(3)，所述设备底座(2)上方设有加工平台(4)，所述加工平台(4)与设备底座(2)之间设有转动机构(6)，所述转动机构(6)包括驱动轴(601)、转向支架(602)、第一齿轮(603)、第二齿轮(604)和伺服电机(605)，所述转向支架(602)固定安装于加工平台(4)底部，所述转向支架(602)上固定安装有驱动轴(601)，所述驱动轴(601)一端固定安装有第一齿轮(603)，所述伺服电机(605)固定安装于设备底座(2)内，所述伺服电机(605)的输出末端固定安装有第二齿轮(604)，所述加工平台(4)底部固定安装有震动机构(5)，所述震动机构(5)包括定位通孔(501)、定位底座(502)、震动电机(503)、定位支架(504)和防护壳体(505)，所述定位底座(502)固定安装于加工平台(4)底部，所述定位底座(502)两侧边缘处开设有定位通孔(501)，所述定位底座(502)上固定安装有定位支架(504)，所述定位支架(504)上固定安装有震动电机(503)。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：所述设备底座(2)内开设有活动孔，所述驱动轴(601)通过活动孔活动安装在设备底座(2)内。

3.根据权利要求2所述的一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：所述第一齿轮(603)通过驱动轴(601)活动安装在设备底座(2)内，所述第二齿轮(604)通过伺服电机(605)活动安装在设备底座(2)内，所述第一齿轮(603)与第二齿轮(604)相互啮合。

4.根据权利要求3所述的一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：所述定位通孔(501)内设有螺丝，所述定位底座(502)通过螺丝固定在加工平台(4)底部。

5.根据权利要求4所述的一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：所述震动电机(503)通过定位支架(504)固定在定位底座(502)上，所述防护壳体(505)上设有螺丝，所述防护壳体(505)通过螺丝固定在定位底座(502)上。

6.根据权利要求5所述的一种氮化镓芯片生产废料回收装置，其特征在于：所述加工平台(4)通过转动机构(6)安装在设备底座(2)上。

技术总结
本技术公开了一种氮化镓芯片生产废料回收装置，涉及氮化镓芯片加工领域。包括设备底座，设备底座后端固定安装有收集盒，设备底座上表面固定安装有橡胶垫，设备底座上方设有加工平台，加工平台与设备底座之间设有转动机构，转动机构包括驱动轴、转向支架、第一齿轮、第二齿轮和伺服电机，转向支架固定安装于加工平台底部，转向支架上固定安装有驱动轴，驱动轴一端固定安装有第一齿轮，伺服电机固定安装于设备底座内，伺服电机的输出末端固定安装有第二齿轮，加工平台底部固定安装有震动机构，震动机构包括定位通孔、定位底座、震动电机、定位支架和防护壳体。便于用户对加工产生废料进行回收利用。

技术研发人员：龚龙华,康桥
受保护的技术使用者：宽兆科技（深圳）有限公司
技术研发日：20230317
技术公布日：2024/1/13