线切割设备的制作方法

本申请涉及线切割技术，尤其涉及一种线切割设备。

背景技术：

1、线切割设备是利用快速移动的切割线对工件进行切割的设备，例如对硅棒进行截断、开方或切片等。技术人员在研究中发现，将超声振动施加在切割线上，能够提高切割效率，并能够提高切割质量。但是技术人员也发现施加超声振动后，切割线的磨损加重、断线几率增加，缩短了使用寿命，需要经常更换切割线，更换切割线的过程较为复杂，时间较长，降低了生产效率；而切割线断线还会造成切割质量降低。另外，由于切割线的变形能力较大，当振动作用在切割线上时，切割线自身会产生较大幅度的谐振，会导致振动损耗较大。

技术实现思路

1、为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种线切割设备。

2、根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种线切割设备，包括：

3、工件夹台，用于夹紧待切割工件；

4、切割装置，用于绕设切割线；切割装置与工件夹台可沿进给方向相对移动，所述切割线用于在走线过程中对待切割工件进行切割；

5、工件振动装置，其输出端用于与待切割工件接触，以向待切割工件施加超声振动。

6、本申请实施例所提供的技术方案，采用工件夹台夹紧待切割工件，切割装置与工件夹台能够沿进给方向产生相对移动，并通过切割装置上的切割线在走线过程中对待切割工件进行切割，并且采用工件振动装置，将其输出端与待切割工件接触，以向待切割工件施加超声振动，一方面通过叠加切割线切割和超声振动作用，有利于提高切割效率及切割质量；另一方面也解决了传统方案中超声振动作用于切割线导致切割线容易磨损的问题，延长切割线的使用寿命，降低了断线的风险，也进一步减少更换切割线的次数，进一步提高生产效率和切割质量；再一方面将超声振动直接作用于待切割工件上，能减少振动损耗，更有效地发挥超声振动的辅助效果，更有利于得到更快的切割速度和更高的切割质量，并且无需考虑待切割工件的谐振状态，能兼容多种材料、多种尺寸的待切割工件，具有较广的适用范围。

技术特征：

1.一种线切割设备，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，所述工件夹台的顶面用于承载待切割工件，切割装置与工件夹台可沿竖向进给方向相对移动。

3.根据权利要求2所述的线切割设备，其特征在于，所述工件振动装置的输出端与待切割工件的侧面接触；待切割工件的侧面为与进给方向平行的表面。

4.根据权利要求3所述的线切割设备，其特征在于，所述工件振动装置产生的振动方向与切割线的走线方向平行。

5.根据权利要求3所述的线切割设备，其特征在于，所述工件振动装置产生的振动方向与切割线的走线方向垂直。

6.根据权利要求5所述的线切割设备，其特征在于，所述工件振动装置产生的振动方向与进给方向和切割线走线方向所在的平面垂直。

7.根据权利要求2所述的线切割设备，其特征在于，工件夹台的底部设有进给驱动机构，所述进给驱动机构用于驱动工件夹台沿竖向进给方向移动。

8.根据权利要求1所述的线切割设备，其特征在于，还包括：

9.根据权利要求8所述的线切割设备，其特征在于，所述线振动装置产生的振动方向与进给方向平行。

10.根据权利要求8所述的线切割设备，其特征在于，所述切割装置包括：切割主轴、切割导轮、张力检测导轮和张力轮，环形的切割线绕设于切割主轴、切割导轮、张力检测导轮和张力轮上。

11.根据权利要求10所述的线切割设备，其特征在于，所述张力检测导轮和切割导轮之间的切割线形成切割段，用于对待切割工件进行切割；线振动装置的输出端用于与所述切割段接触。

技术总结
本申请实施例提供一种线切割设备，包括：工件夹台，用于夹紧待切割工件；切割装置，用于绕设切割线；切割装置与工件夹台可沿进给方向相对移动，所述切割线用于在走线过程中对待切割工件进行切割；工件振动装置，其输出端用于与待切割工件接触，以向待切割工件施加超声振动。本申请实施例提供的线切割设备向待切割工件施加超声振动，一方面能够提高切割效率及切割质量；另一方面也解决了传统方案中切割线容易磨损的问题。

技术研发人员：仇健,张宏翔,张善保,石业琦,杨晓鹏
受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司
技术研发日：20230531
技术公布日：2024/1/15