切片机的制作方法

本申请涉及线切割技术，尤其涉及一种切片机。

背景技术：

1、线切割设备是利用快速移动的切割线对工件进行切割的设备，例如对硅棒进行截断、开方或切片等。技术人员在研究中发现，将超声振动施加在切割线上，能够提高切割效率，并能够提高切割质量。但传统的方案是通过超声振动器件将振动施加于单根切割线上，切割线在走线过程中经过超声振动器件时产生振动。对于多根切割线切割时，需要采用多个超声振动器件与切割线对应施加振动，导致线切割设备的结构特别复杂，故障率较高，且维护换件难度较大，并且也影响了生产效率。

2、另外，技术人员发现将超声振动器件与切割线接触施加超声振动，导致切割线的磨损加重、断线几率增加，缩短了使用寿命，需要经常更换切割线，更换切割线的过程较为复杂，时间较长，降低了生产效率；而切割线断线还会造成切割质量降低。另外，由于切割线的变形能力较大，当振动作用在切割线上时，切割线自身会产生较大幅度的谐振，会导致振动损耗较大。

技术实现思路

1、为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种切片机。

2、根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种切片机，包括：

3、切割装置；所述切割装置包括并排布设的至少两根切割辊，其中两个切割辊之间留有供待切割工件穿过的空间；

4、振动装置，用于向待切割工件施加超声振动。

5、本申请实施例所提供的技术方案，切割装置包括并排布设的至少两根切割辊，其中两个切割辊之间留有供待切割工件穿过的空间；采用振动装置用于向待切割工件施加超声振动，使待切割工件产生高频超声振动并在切割线切割的同时产生微加工，能够大幅提高切割效率，并能改善待切割工件的切割表面一致性，从而提高切割质量，有利于提高成品率。

技术特征：

1.一种切片机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的切片机，其特征在于，所述切片机包括用于固定待切割工件的晶托组件，所述振动装置与所述晶托组件接触，以向晶托组件施加超声振动，并通过晶托组件向待切割工件传递超声振动。

3.根据权利要求1或2所述的切片机，其特征在于，所述振动装置位于晶托组件背离切割辊的一侧。

4.根据权利要求3所述的切片机，其特征在于，待切割工件与切割辊沿竖向相对移动，振动装置位于待切割工件的顶部。

5.根据权利要求2所述的切片机，其特征在于，所述振动装置设置为多个，多个所述振动装置在晶托组件的表面排布成m行n列，m大于或等于1，n大于或等于2；其中，行的方向与切割辊的轴线方向相同。

6.根据权利要求5所述的切片机，其特征在于，多个振动装置以所述晶托组件长度方向上的中心线呈轴对称排布。

7.根据权利要求2所述的切片机，其特征在于，所述晶托组件包括：沿朝向切割装置方向依次排列的晶托板和树脂板，所述树脂板固定于晶托板的表面并用于粘贴待切割工件；振动装置设置于晶托板背离树脂板的表面。

8.根据权利要求2所述的切片机，其特征在于，所述晶托组件包括晶托板，所述晶托板用于粘贴待切割工件；振动装置设置于晶托板背离待切割工件的表面。

9.根据权利要求2、5、6、7、8任一项所述的切片机，其特征在于，至少有一个振动装置设置于与待切割工件一个端部对应的位置处。

10.根据权利要求9所述的切片机，其特征在于，各振动装置沿晶托组件长度方向的中心线方向等间距排布。

11.根据权利要求1所述的切片机，其特征在于，所述振动装置包括换能器和变幅杆；所述换能器用于将电能转换为机械振动，变幅杆与换能器相接；变幅杆与待切割工件直接接触或间接接触。

12.根据权利要求3所述的切片机，其特征在于，所述切割辊的数量为两个，两个切割辊沿水平方向间隔布置；

13.根据权利要求12所述的切片机，其特征在于，当切割辊的数量为三个时，其中两个切割辊沿水平方向间隔布置；

技术总结
本申请实施例提供一种切片机，包括：切割装置；所述切割装置包括并排布设的至少两根切割辊，其中两个切割辊之间留有供待切割工件穿过的空间；振动装置，用于向待切割工件施加超声振动。本申请实施例提供的切片机能够提高切割效率及切割质量。

技术研发人员：仇健,张宏翔,张善保,吴仁标,王兆蕊,王海超
受保护的技术使用者：青岛高测科技股份有限公司
技术研发日：20230531
技术公布日：2024/1/15