一种芯片制造加工装置的制作方法

本技术涉及芯片制造加工，尤其涉及一种芯片制造加工装置。

背景技术：

1、芯片制造加工装置是用来制造和处理集成电路(ic)的设备，它可以通过一系列复杂的步骤，将晶圆上的电路图案转移到薄硅片上，以形成半导体芯片，这些步骤包括化学蚀刻、光刻、离子注入、沉积和热处理等过程，这些装置需要高精度、高稳定性和高自动化的特点，以确保芯片成品的高质量和高产量；

2、目前现有的芯片制造加工方式，在对晶圆片切割前会将晶圆片侧边进行打磨之后在尽心切割操作，切割操作为了更改芯片基片的大小，或者是将芯片基片边缘的多余的凸起切割掉，切割装置和打磨装置在工作时会产生飞屑灰尘，但是现有的装置还没有除尘的功能，飞屑的灰尘不仅会污染车间的环境，还会影响芯片基片表面的洁净度，影响后续芯片基片的加工，因此，本领域技术人员提供了一种芯片制造加工装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种芯片制造加工装置，解决了上述背景技术中提出的现有的装置还没有除尘的功能，飞屑的灰尘不仅会污染车间的环境，还会影响芯片基片表面的洁净度，影响后续芯片基片的加工的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：一种芯片制造加工装置，包括工作台，所述工作台的下内壁固定连接有固定板，所述固定板的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆，所述第五电动伸缩杆的输出端固定连接有打磨块，所述工作台的一侧设有抽气机，所述抽气机的输入端固定连接有管道，所述抽气机的输出端固定连接有集废箱。

3、通过采用上述技术方案，在工作台一侧设置抽气机，抽气机输入端设置管道，抽气机输出端设置集废箱，工作台下内壁设置固定板，固定板另一侧设置第五电动伸缩杆，第五电动伸缩杆输出端设置打磨块，可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下，被吸附到集废箱中进行存储，既保证了车间环境，又保证了芯片基片表面的洁净。

4、进一步地，所述工作台的下内壁滑动连接有操作台，所述操作台的上端面开设有四个第二滑槽，所述操作台的外侧壁固定连接有四个第三电动伸缩杆，四个所述第三电动伸缩杆的输出端固定连接有卡块。

5、通过采用上述技术方案，在操作台的上端开设四个第二滑槽，操作台的外侧壁设置四个第三电动伸缩杆，四个第三电动伸缩杆的输出端设置卡块，可以在对芯片进行切割时将芯片固定住，防止芯片在切割时移动导致切割错位伤到芯片。

6、进一步地，所述工作台的上端面后端固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端固定连接有压板，所述操作台的下端面固定连接有第四电动伸缩杆，所述第四电动伸缩杆的输出端转动连接有顶板。

7、通过采用上述技术方案，便于将芯片固定住同时带动其转动来对其侧边进行打磨。

8、进一步地，所述工作台的上端面前端固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有固定架，所述固定架的内侧壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端固定连接有刀片。

9、通过采用上述技术方案，便于对芯片进行切割。

10、进一步地，所述第二电机通过螺栓固定连接在第二电动伸缩杆的输出端，所述压板和顶板的材质均为橡胶。

11、通过采用上述技术方案，防止在对芯片进行固定时，压伤或划伤芯片。

12、进一步地，所述工作台的后端面固定连接有第三电机，所述第三电机的输出端固定连接有丝杆，所述工作台的下内壁开设有第一滑槽。

13、通过采用上述技术方案，便于移动操作台来对芯片进行打磨或切割。

14、进一步地，所述工作台的下端面四个对角处均固定连接有支撑腿，四个所述支撑腿的材质均为不锈钢。

15、通过采用上述技术方案，可以使工作台竖立的更加稳定。

16、本实用新型提供了一种芯片制造加工装置，具备以下有益效果：

17、1、该一种芯片制造加工装置，通过在工作台一侧设置抽气机，抽气机输入端设置管道，抽气机输出端设置集废箱，工作台下内壁设置固定板，固定板另一侧设置第五电动伸缩杆，第五电动伸缩杆输出端设置打磨块，可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下，被吸附到集废箱中进行存储，既保证了车间环境，又保证了芯片基片表面的洁净。

18、2、该一种芯片制造加工装置，通过在操作台的上端开设四个第二滑槽，操作台的外侧壁设置四个第三电动伸缩杆，四个第三电动伸缩杆的输出端设置卡块，可以在对芯片进行切割时将芯片固定住，防止芯片在切割时移动导致切割错位伤到芯片。

技术特征：

1.一种芯片制造加工装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的下内壁固定连接有固定板(22)，所述固定板(22)的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆(23)，所述第五电动伸缩杆(23)的输出端固定连接有打磨块(21)，所述工作台(1)的一侧设有抽气机(13)，所述抽气机(13)的输入端固定连接有管道(15)，所述抽气机(13)的输出端固定连接有集废箱(14)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述工作台(1)的下内壁滑动连接有操作台(8)，所述操作台(8)的上端面开设有四个第二滑槽(17)，所述操作台(8)的外侧壁固定连接有四个第三电动伸缩杆(6)，四个所述第三电动伸缩杆(6)的输出端固定连接有卡块(16)。

3.根据权利要求2所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述工作台(1)的上端面后端固定连接有第二电动伸缩杆(9)，所述第二电动伸缩杆(9)的输出端固定连接有第二电机(10)，所述第二电机(10)的输出端固定连接有压板(11)，所述操作台(8)的下端面固定连接有第四电动伸缩杆(7)，所述第四电动伸缩杆(7)的输出端转动连接有顶板(12)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述工作台(1)的上端面前端固定连接有第一电动伸缩杆(3)，所述第一电动伸缩杆(3)的输出端固定连接有固定架(4)，所述固定架(4)的内侧壁固定连接有第一电机(2)，所述第一电机(2)的输出端固定连接有刀片(5)。

5.根据权利要求3所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述第二电机(10)通过螺栓固定连接在第二电动伸缩杆(9)的输出端，所述压板(11)和顶板(12)的材质均为橡胶。

6.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述工作台(1)的后端面固定连接有第三电机(19)，所述第三电机(19)的输出端固定连接有丝杆(18)，所述工作台(1)的下内壁开设有第一滑槽(20)。

7.根据权利要求1所述的一种芯片制造加工装置，其特征在于：所述工作台(1)的下端面四个对角处均固定连接有支撑腿(24)，四个所述支撑腿(24)的材质均为不锈钢。

技术总结
本技术涉及芯片制造加工技术领域，公开了一种芯片制造加工装置，包括工作台，所述工作台的下内壁固定连接有固定板，所述固定板的另一侧壁固定连接有第五电动伸缩杆，所述第五电动伸缩杆的输出端固定连接有打磨块，所述工作台的一侧设有抽气机，所述抽气机的输入端固定连接有管道，所述抽气机的输出端固定连接有集废箱，通过在抽气机输入端设置管道，抽气机输出端设置集废箱，工作台下内壁设置固定板，固定板另一侧设置第五电动伸缩杆，第五电动伸缩杆输出端设置打磨块，可以在打磨切割芯片时产生的飞屑在气压的作用下，被吸附到集废箱中进行存储，既保证了车间环境，又保证了芯片基片表面的洁净。

技术研发人员：兰斌,夏翥亮
受保护的技术使用者：深圳市科亿微科技有限公司
技术研发日：20230803
技术公布日：2024/3/24