专利名称：通行门组合的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及半导体制造工厂内洁净室的通行门结构，具体地说，涉及 一种多功能通行门组合。
背景技术：
进行半导体器件生产的洁净室设有多种通行门，如设备通行门(Move-in 门)、小型电动门。现有的通行门的结构全部是单体形式，每一个都有自己独立 的作用。设备通行门是专门为设备通行而设计；小型电动门专为工作人员曰常 通行而设计。设备通行门的门板的面积大，承受的侧压力也很大，且开启设备 通行门对洁净室内的正压保持造成影响，因此工作人员日常通行使用难度大。 但是随着洁净室内的设备急剧增容，设备占用的面积越来越大，工作人员通行 和运送物料很不方便。因此，需要为工作人员规划建立快捷、方便、安全的行 走路线，所以需要在洁净室墙面多个地方设计小型电动门供工作人员通行。然 而，洁净室墙面的使用空间有限，无法安装多个电动门。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型解决的技术问题是提供一种通行门组合，其即可以 供设备通行也可以供工作人员通行，充分合理的利用洁净室墙面的有限空间。
为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种新的通行门组合。该通行门 组合包括设备通行门、固定于设备通行门上部的滑道以及电动门，所述设备通 行门具有供工作人员通行的缺口，所述电动门顶部安装在滑道内，且所述电动 门可在关闭和开启设备通行门的缺口的两位置间滑动。为了避免对洁净室内正 压的影响，设备通行门和电动门之间还安装有密封胶条。
与现有技术相比，本实用新型提供的通行门组合将设备通行门和供工作人 员通行的小型电动门的功能结合在一起，充分利用了洁净室墙面的使用空间，从而在有限的空间内可设计更多电动门。
图1为本实用新型通行门的立体示意图，其中电动门处于关闭状态。
图2为本实用新型通行门的立体示意图，其中电动门处于开启状态。
图3为本实用新型通行门的侧视示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的较佳实施例进行描述，以进一步理解本实用 新型的目的、具体结构特征和优点。
请参阅图1和图2，本实用新型提供了一种通行门组合1，其包括设备通行 门2、安装在设备通行门2上部的滑道3以及电动门4。电动门4的顶部安装在 滑道3内，电动门4在滑道3的限制下可沿箭头A、 B滑动。设备通行门2大致 呈倒L状，具有可供工作人员通过的缺口 6,所述电动门4的大小与缺口 6相当， 且在关闭和开启该缺口 6的两位置间滑动。另外，所述设备通行门2由钢材制 造而成，因此可承受较大的负荷。
工作人员通行时，开启电动门4 (如图2所示)，工作人员从设备通行门2 的缺口6进出；设备通行时，开启设备通行门2和电动门3;设备和工作人员都 不通行时，电动门4滑动到缺口 6位置关闭缺口 6。
请参阅图3,为了防止电动门4和设备通行门2之间气体泄漏影响洁净室的 正压，两者之间还设有密封胶条5。
本实用新型的通行门组合通过在大型设备通行门上安装小型电动门，方便 了工作人员通行和运送物料，充分利用了洁净室墙壁的空间。
上述描述，仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型的任 何限定，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据上述揭示内容进行简单修 改、添加、变换，且均属于权利要求书中保护的内容。
权利要求1.一种通行门组合，其特征在于，该通行门组合包括设备通行门、固定于设备通行门上部的滑道以及电动门，所述设备通行门具有供工作人员通行的缺口，所述电动门顶部安装在滑道内，且所述电动门可在关闭和开启设备通行门的缺口的两位置间滑动。
2. 如权利要求1所述的通行门组合，其特征在于设备通行门和电动门之间安装 有密封胶条。
专利摘要本实用新型公开了一种通行门组合，涉及半导体制造工厂内洁净室的通行门结构。该通行门组合包括设备通行门、固定于设备通行门上部的滑道以及电动门，所述设备通行门具有供工作人员通行的缺口，所述电动门顶部安装在滑道内，且所述电动门可在关闭和开启设备通行门的缺口的两位置间滑动。开启电动门所述缺口可供工作人员进出；开启设备通行门和电动门可供设备进出。相较现有技术，本实用新型提供的通行门组合即可用于设备进出，也可用于工作人员的日常进出，充分利用了洁净室墙面的使用空间，从而在有限的空间内为工作人员提供了更多的进出口。
文档编号E06B5/00GK201129119SQ20072007583
公开日2008年10月8日 申请日期2007年11月21日 优先权日2007年11月21日
发明者王荣军, 王金锁 申请人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司