一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，包括设置于操作室内的柜体，所述柜体上设有密封箱门，所述柜体的上方设置有连通口，所述连通口上设置有抽气管，所述操作室内设置有连通至室外的排气风道，所述抽气管与排气风道连接，所述抽气管与排气风道之间设置有吸力控制阀，采用这样的结构，通过操作室自带的排气管道对储藏有易挥发的强酸溶液的柜体进行通气排散，避免了开启柜体时，柜体内的有害气体对操作人员的身体健康造成损伤，同时，这样的连接方式借助操作室常启的排气风道进行排气吸附，不再另需单独的抽吸泵等装置，成本低廉、易于布置、运行维护成本低。
【专利说明】—种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种半导体尾气处理领域，特别是一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置。
【背景技术】
[0002]目前在半导体领域，尤其是在芯片表面去除黑胶时，通常需要强酸浸泡的方式进行处理，然而现有的普通储物柜储藏上述强酸制剂存在的不足之处在于:普通储物柜采用密闭储藏的方式，柜内空间容易囤积大量有毒气体，当操作人员开柜时散发出来容易对人体造成损伤，另外，如若直接在柜体上开设透气孔联通至操作间内，则挥发出来的有害气体也会对操作间内的人员造成损伤。
实用新型内容
[0003]本实用新型的发明目的在于:针对现有技术存在的问题，提供一种结构简单、能够将柜内气体易排出、从而避免对操作人员人体造成损伤的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置。
[0004]为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为:一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，包括设置于操作室内的柜体，所述柜体上设有密封箱门，所述柜体的上方设置有连通口，所述连通口上设置有抽气管，所述操作室内设置有连通至室外的排气风道，所述抽气管与排气风道连接，所述抽气管与排气风道之间设置有吸力控制阀。
[0005]采用这样的结构，通过操作室自带的排气管道对储藏有易挥发的强酸溶液的柜体进行通气排散，避免了开启柜体时，柜体内的有害气体对操作人员的身体健康造成损伤，同时，这样的连接方式借助操作室常启的排气风道进行排气吸附，不再另需单独的抽吸泵等装置，成本低廉、易于布置、运行维护成本低。
[0006]优选的，抽气管的底端与连通口的上端固定连接，所述抽气管与排气风道之间设置有波纹管，所述波纹管的底端与抽气管连接，所述波纹管的顶端与排气风道连通。采用这样的结构，使得柜体在设置时无需将连通口正对排气风道的开口、并设置于其下方，能够更加灵活地对柜体的位置进行调节，并且安装方便。
[0007]优选的，所述抽气管上设置有应急排气口，所述应急排气口连接有应急排气管，所述应急排气管连接有负压气泵，所述应急排气管与负压气泵的进气端之间设置有单向阀，所述负压气泵的排气端连接有碱液瓶。采用这样的结构，当排气风道遇到紧急情况停止运作时,通过负压气泵紧急抽吸排气的方式,可将柜体内的有害气体吸出并吸附处理,并且由于设置了单向阀，避免了碱液瓶内的碱液回流入柜体内、造成柜体内的强酸溶液变质。
[0008]优选的，所述吸力控制阀包括设置于排气管内的转轴和阀瓣，所述转轴沿抽气管的径向设置，所述阀瓣呈圆片状，所述阀瓣与转轴固定连接，所述转轴的一端延伸至抽气管的外侧，所述转轴连接有旋转把手。采用这样的结构，通过旋转把手的转动带动阀瓣调节排气管内开启空间的大小，从而在排气风道负压吸力不变的情况下，按需对柜体内的抽吸力进行调节。
[0009]优选的，所述柜体内部设置有若干个支撑板，所述柜体内左、右两侧设置有若干个卡接槽，所述支撑板通过卡接槽与柜体卡式连接。采用这样的结构，有利于放置不同高度尺寸、不同规格的化学容器。
[0010]优选的，所述柜体在靠近密封箱门的一侧设置有磁铁石。采用这样的结构，通过磁铁石吸附的方式，使得柜体与密封箱门之间具有一定的吸附力、从而保证柜体与密封箱门之间保持紧闭。
[0011]综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是:通过操作室自带的排气管道对储藏有易挥发的强酸溶液的柜体进行通气排散，避免了开启柜体时，柜体内的有害气体对操作人员的身体健康造成损伤，同时，这样的连接方式借助操作室常启的排气风道进行排气吸附，不再另需单独的抽吸泵等装置，成本低廉、易于布置、运行维护成本低。
【专利附图】
【附图说明】
[0012]图1是本实用新型的结构示意图。
[0013]图中标记:柜体一I ;密封箱门一2 ;连通口一3 ;抽气管一4 ;排气风道一5 ;波纹管一6。
【具体实施方式】
[0014]下面结合附图，对本实用新型作详细的说明。
[0015]为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。
[0016]如图1所示，本实施例一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，包括设置于操作室内的柜体1，柜体I上设有密封箱门2，柜体I的上方设置有连通口 3，连通口 3上设置有抽气管4，操作室内设置有连通至室外的排气风道5，抽气管4与排气风道5连接，抽气管4与排气风道5之间设置有吸力控制阀，通过操作室自带的排气管道对储藏有易挥发的强酸溶液的柜体I进行通气排散，避免了开启柜体I时，柜体I内的有害气体对操作人员的身体健康造成损伤，同时，这样的连接方式借助操作室常启的排气风道5进行排气吸附，不再另需单独的抽吸泵等装置，成本低廉、易于布置、运行维护成本低，抽气管4的底端与连通口 3的上端固定连接，抽气管4与排气风道5之间设置有波纹管6，波纹管6的底端与抽气管4连接，波纹管6的顶端与排气风道5连通。采用这样的结构，使得柜体I在设置时无需将连通口 3正对排气风道5的开口、并设置于其下方，能够更加灵活地对柜体I的位置进行调节，并且安装方便，抽气管4上设置有应急排气口，应急排气口连接有应急排气管，应急排气管连接有负压气泵，应急排气管与负压气泵的进气端之间设置有单向阀，负压气泵的排气端连接有碱液瓶。采用这样的结构，当排气风道5遇到紧急情况停止运作时，通过负压气泵紧急抽吸排气的方式，可将柜体I内的有害气体吸出并吸附处理，并且由于设置了单向阀，避免了碱液瓶内的碱液回流入柜体I内、造成柜体I内的强酸溶液变质，吸力控制阀包括设置于排气管内的转轴和阀瓣，转轴沿抽气管4的径向设置，阀瓣呈圆片状，阀瓣与转轴固定连接，转轴的一端延伸至抽气管4的外侧，转轴连接有旋转把手。采用这样的结构，通过旋转把手的转动带动阀瓣调节排气管内开启空间的大小，从而在排气风道5负压吸力不变的情况下，按需对柜体I内的抽吸力进行调节，柜体I内部设置有若干个支撑板，柜体I内左、右两侧设置有若干个卡接槽，支撑板通过卡接槽与柜体I卡式连接。采用这样的结构，有利于放置不同高度尺寸、不同规格的化学容器，柜体I在靠近密封箱门2的一侧设置有磁铁石。采用这样的结构，通过磁铁石吸附的方式，使得柜体I与密封箱门2之间具有一定的吸附力、从而保证柜体I与密封箱门2之间保持紧闭。
[0017]以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1.一种用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，包括设置于操作室内的柜体，所述柜体上设有密封箱门，其特征在于:所述柜体的上方设置有连通口，所述连通口上设置有抽气管，所述操作室内设置有连通至室外的排气风道，所述抽气管与排气风道连接，所述抽气管与排气风道之间设置有吸力控制阀。
2.根据权利要求1所述的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，其特征在于:抽气管的底端与连通口的上端固定连接，所述抽气管与排气风道之间设置有波纹管，所述波纹管的底端与抽气管连接，所述波纹管的顶端与排气风道连通。
3.根据权利要求2所述的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，其特征在于:所述抽气管上设置有应急排气口，所述应急排气口连接有应急排气管，所述应急排气管连接有负压气泵，所述应急排气管与负压气泵的进气端之间设置有单向阀，所述负压气泵的排气端连接有碱液瓶。
4.根据权利要求3所述的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，其特征在于:所述吸力控制阀包括设置于排气管内的转轴和阀瓣，所述转轴沿抽气管的径向设置，所述阀瓣呈圆片状，所述阀瓣与转轴固定连接，所述转轴的一端延伸至抽气管的外侧，所述转轴连接有旋转把手。
5.根据权利要求1至4中任一所述的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，其特征在于:所述柜体内部设置有若干个支撑板，所述柜体内左、右两侧设置有若干个卡接槽，所述支撑板通过卡接槽与柜体卡式连接。
6.根据权利要求5所述的用于室内的挥发性化学开盖器皿存储装置，其特征在于:所述柜体在靠近密封箱门的一侧设置有磁铁石。
【文档编号】A47B81/00GK203692946SQ201420092162
【公开日】2014年7月9日 申请日期:2014年2月28日 优先权日:2014年2月28日
【发明者】王锐, 柳虎, 杨敏, 周维树 申请人:成都先进功率半导体股份有限公司