专利名称：玻璃膜层叠体及其制造方法以及玻璃膜的制造方法
技术领域：
本发明涉及利用支承玻璃来支承玻璃膜而成的玻璃膜层叠体及玻璃膜，所述玻璃膜使用在电子设备、例如液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器、太阳能电池、锂离子电池、电子看板、触控面板、电子纸等的玻璃基板、及有机EL照明的玻璃罩或医药品封装件
由
寸T O
背景技术：
从空间节省化的观点出发，代替现有普及的CRT型显示器，近年以来普及有液晶显示器、等离子体显示器、有机EL显示器、场致发射显示器等平板显示器。对这些平板显示器要求进ー步的薄型化。特别对有机EL显示器而言，要求通过折叠或卷绕而容易地搬运，并且不仅能够用于平面还能够用于曲面。并且，不仅能够用于平面还能够用于曲面的要求不仅限于显示器，若能够在例如机动车的车身表面或建筑物的屋顶、柱子、外壁等具有曲面的物体的表面上形成太阳能电池、或者形成有机EL照明的话，则其用途变得广泛。从而，对使用在上述设备中的基板或玻璃罩要求进ー步的薄板化和高的挠性。使用在有机EL显示器中的发光体会因与氧或水蒸气等气体接触而发生劣化。从而，由于对使用在有机EL显示器中的基板要求高的阻气性，因此期待使用玻璃基板的有机EL显示器。然而，使用在基板中的玻璃与树脂膜不同，拉伸应力弱，因此挠性低，当弯曲玻璃基板而在玻璃基板表面上施加拉伸应カ时，会导致玻璃基板破损。需要进行超薄板化以对玻璃基板赋予挠性，提出了如下述专利文献I所记载那样的厚度为200 μπι以下的玻璃膜。对使用在平板显示器或太阳能电池等电子设备中的玻璃基板实施透明导电膜等的贴膜处理、清洗处理等各种与电子设备制造关联的处理。然而，若对使用在上述电子设备中的玻璃基板进行薄膜化，则由于玻璃为脆性材料而多少发生应力变化以至破损，在进行上述的各种与电子设备制造关联的处理时，存在操作极其困难的问题。此外，由于厚度200 μ m以下的玻璃膜富有挠性，因此在进行制造关联处理时，还存在如下问题难以进行定位，图制时产生偏移等。因此，为了解决上述问题，提出了下述专利文献2所记载的层叠体。在下述专利文献2中，提出了支承玻璃基板和玻璃片经由即使反复使用也大致维持一定的粘接材料层而层叠的层叠体。由此，即使使用就单体而言没有強度或刚性的玻璃片，也能够共用现有的玻璃用液晶显示元件制造线来制造液晶显示元件，在エ序结束后，能够剥离支承玻璃基板。并且，由干支承体使用玻璃基板，因此能够某种程度上防止热翘曲等。此外，由干支承体的刚性高，因此难以产生制造关联处理中的定位或图制时的层叠体偏移这样的问题。在线技术文献专利文献专利文献I日本特开2008-133174号公报专利文献2日本特开平8-86993号公报然而，在剥离支承玻璃基板后，存在粘接性物质残留在玻璃膜上而造成污染的问题。进而，最终将层叠体的玻璃膜从支承玻璃基板剥离而仅剩玻璃膜时，若设定支承玻璃基板上的粘接剂层的粘接カ较强，则存在作为脆性材料的玻璃膜无法耐受该拉伸应カ而容易破损的问题。并且，若设定粘接剂层的粘接カ较弱，则支承玻璃基板与玻璃膜的粘接变得不充分，可能会在制造关联处理时产生因支承玻璃基板与玻璃膜偏移而引起的定位失误或图制的偏移等。
发明内容
本发明的第一目的在于，能够在进行制造关联处理时利用支承体牢固地支承玻璃膜，且在制造关联处理后将玻璃膜装入各种设备中时，容易地从支承体剥离玻璃膜。本发明的第二目的在于提供一种可靠地防止将玻璃膜从支承体剥离后粘接剂残留在玻璃膜上的情况的玻璃膜层叠体。本发明提供ー种通过层叠玻璃膜和支承体而成的玻璃膜层叠体，其特征在于，在所述玻璃膜的接触面与所述支承体的接触面的粘接部设有粘接力相对强的区域和粘接力相对弱的区域。这里，本发明中使用的支承体包括由玻璃或陶瓷等无机材料形成的支承体、或者由树脂材料或金属材料形成的支承体。并且，粘接力相对弱的区域可以是没有粘接力的区域。进而，本发明的玻璃膜层叠体包括通过使所述玻璃膜的接触面与所述支承体的接触面直接接触来粘接而成的玻璃膜层叠体、或者通过使所述玻璃膜的接触面与所述支承体的接触面经由粘接剂层(粘接剂层)来粘接而成的玻璃膜层叠体。在玻璃膜层叠体为前者的情况下，构成为由玻璃形成所述支承体(支承玻璃)，并在所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方设有表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域的结构。在玻璃膜层叠体为后者的情况下，构成为粘接剂层(粘接剂层)具有粘接カ相对强的层区域和粘接カ相对弱的层区域，或者在粘接部的一部分区域不设置粘接剂层(粘接剂层)的结构。在本发明中，优选构成为，所述支承体由玻璃形成(支承玻璃)，且在所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方设有表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域。例如，可以在所述支承玻璃的接触面设置所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域。优选所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra为2. Onm以下。并且，优选所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra之差为O. Inm以上。在本发明中，可以构成为，在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对小的区域，在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对大的区域。或者，可以构成为，在所述接触面的角部具有所述表面粗糙度相对小的区域。或者，可以构成为，在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对大的区域，在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对小的区域。或者，可以构成为，所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域在所述接触面呈带状地交替设置。并且，可以构成为，所述玻璃膜和所述支承玻璃以在缘部的至少一部分设有高低差的方式层叠。并且，本发明提供ー种通过层叠玻璃膜与支承玻璃而成的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在于，包括对所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方的一部分区域进行粗面化的エ序；在使所述接触面彼此接触的状态下层叠所述玻璃膜和所述支承玻璃的エ序。在上述结构中，优选所述玻璃膜及所述支承玻璃通过溢流下拉法而成形。并且，所述粗面化可以是从基于氟酸的蚀刻处理、基于大气压等离子体的蚀刻处理、基于薄膜形成的粗面化、基于喷砂的粗面化处理中选择的ー种或两种以上的处理。并且，本发明提供ー种玻璃膜的制造方法，特征在于，包括在支承玻璃的接触面及玻璃膜的接触面中的至少一方设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域的第一エ序；通过将所述支承玻璃的接触面和所述玻璃膜的接触面贴合来形成玻璃膜层 叠体的第二エ序；对所述玻璃膜层叠体进行制造关联处理的第三エ序；在所述制造关联处理后将所述玻璃膜从所述支承玻璃剥离的第四エ序。发明效果根据本发明，在所述玻璃膜的接触面与所述支承体的接触面的粘接部设有粘接力相对强的区域和粘接力相对弱的区域，因此通过粘接力相对强的区域，能够在使玻璃膜牢固地层叠于支承体上的状态下稳定地实施制造关联处理。此外，由于具有粘接力相对弱的区域，因此能够在制造关联处理后容易地将玻璃膜从粘接力的相对弱的区域剥离。从而，能够防止因支承体与玻璃膜的粘接力整体上过强而引起的玻璃膜剥离时的破损，且能够防止因粘接力整体上过弱而引起的制造关联处理时的玻璃膜的不当剥离脱落。所述支承体由玻璃形成(支承玻璃)，在所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域，由此在表面粗糙度相对大的区域(以下称作粗糙面)玻璃膜与支承玻璃以弱カ粘接，在表面粗糙度相对小的区域(以下称作平滑面)玻璃膜与支承玻璃以强カ粘接。就平滑面彼此的接触而言，认为两表面间的距离变小到了在两表面存在的氢氧基彼此能够氢结合的程度，因此密接性良好，即使不使用粘接剂也能够使玻璃膜的接触面与支承玻璃的接触面牢固稳定地粘接。由此，能够在使玻璃膜牢固地层叠于支承玻璃上的状态下稳定地实施制造关联处理，且能够在制造关联处理后将玻璃膜容易地从粗糙面剥离。并且，由于没有使用粘接剂，因此即使从支承玻璃剥离玻璃膜，也能够得到完全不残留粘接剂的玻璃膜。由于所述支承玻璃能够再次利用，因此通过在所述支承玻璃的接触面上设置所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域，由此例如对支承玻璃的接触面的一部分区域进行一次粗面化处理的话，就无需进行再次的粗面化处理，能够将该支承玻璃直接再次利用，因此制造エ序得以简化。并且，由于玻璃膜作为设备的玻璃基板来使用，因此即使在背面侧进行粗面化处理有时也是不优选的。当所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra为2. Onm以下吋，能够使玻璃膜与支承玻璃更为牢固地粘接。当所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra之差为O. Inm以上时，能够使支承玻璃与玻璃膜适当地粘接，在制造关联处理时进行良好的定位，且能够在制造关联处理后容易地将玻璃膜从支承玻璃剥离。由此，能够取得粘接性与剥离性的平衡。通过构成为在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对小的区域且在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对大的区域的结构，由此能够使玻璃膜与支承玻璃沿着接触面的外周部且以少的粘接面积牢固地粘接。并且，即使制造关联处理工序具有使用溶剂的エ序，也能够防止溶剂从玻璃膜与支承玻璃之间浸入的情況。通过构成为在所述接触面的角部具有所述表面粗糙度相对小的区域的结构，由此能够使玻璃膜的角部与支承玻璃牢固地粘接，能够将玻璃膜与支承玻璃以少的粘接面积层叠。通过构成为在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对大的区域且在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对小的区域的结构，由此能够在从支承玻璃剥离玻璃膜时从玻璃膜的外周部容易地开始剥离。通过构成为所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域呈带状地交替设置在所述接触面上的结构，由此沿着所述带状的区域的长度方向进行玻璃膜的剥离的话就能够以一定的力稳定地进行支承玻璃与玻璃膜的剥离。通过构成为所述玻璃膜与所述支承玻璃以在缘部的至少一部分设有高低差的方式层叠的结构，由此在玻璃膜从支承玻璃伸出的情况下，能够更加容易且可靠地剥离玻璃膜与支承玻璃。另ー方面，在支承玻璃从玻璃膜伸出的情况下，能够保护玻璃膜的端部免受砸撞(打突)等。并且，本发明涉及的玻璃膜层叠体的制造方法包括对所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方的一部分区域进行粗面化的エ序；在使所述接触面彼此接触的状态下层叠所述玻璃膜与所述支承玻璃的エ序，因此能够容易地制造上述的玻璃膜
层叠体。当所述玻璃膜及所述支承玻璃通过溢流下拉法而成形时，具有表面粗糙度小且平滑性高的表面，因此通过对其表面的一部分区域进行粗面化，由此能够更加容易地制造上述的玻璃膜层叠体。当所述粗面化是从基于氟酸的蚀刻处理、基于大气压等离子的蚀刻处理、基于薄膜形成的粗面化、基于喷砂的粗面化处理中选择的ー种或两种以上的处理时，通过适当地使用遮蔽带等，由此能够容易地制作出由被粗面化了的区域和未被粗面化的区域构成的接触面。并且，由于本发明涉及的玻璃膜层叠体的制造方法包括在支承玻璃的接触面及玻璃膜的接触面中的至少一方设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域的第一エ序；通过将所述支承玻璃的接触面和所述玻璃膜的接触面贴合来形成玻璃膜层叠体的第二エ序；对所述玻璃膜层叠体进行制造关联处理的第三エ序；在所述制造关联处理后将所述玻璃膜从所述支承玻璃剥离的第四エ序，因此能够容易地制造出为了用于各种用途而进行了制造关联处理的玻璃膜。
图I (a)是本发明涉及的玻璃膜层叠体的俯视图。 图I (b)是图I (a)的A-A线剖视图。
图2是玻璃膜及支承玻璃的制造装置的说明图。图3是在角部具有平滑面的玻璃膜层叠体的图。图4(a)是在中央部具有平滑面的玻璃膜层叠体的俯视图。图4 (b)是图4 (a)的B-B线剖视图。图5 (a)是在支承玻璃的面上呈带状地交替设有粗糙面和平滑面的玻璃膜层叠体的俯视图。图5 (b)是图5 (a)的B-B线剖视图。图6(a)是在将玻璃膜和支承玻璃以在缘部设有高低差的方式层叠而成的玻璃膜层叠体中，支承玻璃从玻璃膜伸出的形态的侧视图。
图6(b)是在将玻璃膜和支承玻璃以在缘部设有高低差的方式层叠而成的玻璃膜层叠体中，玻璃膜从支承玻璃伸出的形态的图。
具体实施例方式以下，參照附图对本发明涉及的玻璃膜层叠体的优选实施方式进行说明。如图I所示，本发明涉及的玻璃膜层叠体⑴由玻璃膜(2)和支承玻璃⑶构成。在支承玻璃(3)的接触面上设有表面粗糙度相对小的平滑面(4)和表面粗糙度相对大的粗糙面(5)，玻璃膜(2)与支承玻璃(3)在不使用粘接剂等的情况下层叠。玻璃膜(2)使用硅酸盐玻璃，优选使用ニ氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃，最优选使用无碱玻璃。若在玻璃膜⑵中含有碱成分，则阳离子会在表面脱离，产生所谓的出碱(ソーダ吹き)现象，结构性地变粗糙。在这种情况下，当弯曲玻璃膜(2)使用时，可能因时效劣化而容易从变粗糙的部分发生破损。需要说明的是，这里所说的无碱玻璃是指实质上不含碱成分(碱金属氧化物)的玻璃，具体而言，是指碱金属氧化物为IOOOppm以下的玻璃。优选本发明中的碱金属氧化物的含有量为500ppm以下,更优选为300ppm以下。优选玻璃膜⑵的厚度为300 μ m以下,更优选为5 μ m 200 μ m,最优选为5 μ m IOOym0由此，能够进ー步减薄玻璃膜(2)的厚度，从而赋予玻璃膜(2)适当的挠性。并且，若减薄玻璃膜(2)的厚度，则操作性困难且可能容易产生定位失误或图制时的偏移等问题，但在本发明中，通过使用支承玻璃(3)，由此能够容易地进行制造关联处理。另一方面，若玻璃膜(2)的厚度小于5μπι，则玻璃膜(2)的強度容易变得不足，从玻璃膜层叠体
(I)剥离玻璃膜(2)而将其装入设备中时容易导致破损。另ー方面，若玻璃膜(2)的厚度超过300 μ m,则可能难以对玻璃膜赋予挠性。支承玻璃(3)与玻璃膜(2)同样使用硅酸盐玻璃、ニ氧化硅玻璃、硼硅酸玻璃、无碱玻璃等。对于支承玻璃(3)而言，优选使用与玻璃膜(2)的在30 380°C下的热膨胀系数之差为5X IO-V0C以内的玻璃。由此，能够制成即使在制造关联处理时进行热处理，也不易因膨胀率的差而产生热翘曲等，能够维持稳定的层叠状态的玻璃膜层叠体(I)。优选支承玻璃(3)的厚度为400 μ m以上。其原因在于，若支承玻璃(3)的厚度小于400 μ m，则在对支承玻璃单体进行操作时，可能在强度方面产生问题。优选支承玻璃(3)的厚度为400 μ m 700 μ m,最优选为500 μ m 700 μ m。由此，能够可靠地支承玻璃膜(2)。优选本发明所使用的玻璃膜(2)及支承玻璃(3)通过下拉法成形。其原因在干，能够更为光滑地成形玻璃膜(2)的表面。尤其图2所示的溢流下拉法为在成形时玻璃板的两面不与成形构件接触的成形法，不易在得到的玻璃板的两面(透光面)上产生伤痕，即使不进行研磨也能够获得高的平滑性。由此，能够使玻璃膜(2)与支承玻璃(3)在平滑面(4)上更为牢固地粘接。刚从截面为楔型的成形体(7)的下端部(71)流下后的玻璃带(G)被冷却辊(8)在限制宽度方向的收缩的同时向下方拉伸，而减薄至规定的厚度。接下来，将达到所述规定厚度的玻璃带(G)在退火炉(annealer)中徐缓冷却，除去玻璃带(G)的热应变,并按规定尺寸切断玻璃带(G)，从而成形玻璃膜(2)及支承玻璃(3)。如图I所示，在支承玻璃(3)的接触面上设有平滑面(4)和粗糙面(5)。在支承玻璃⑶的接触面上贴合玻璃膜⑵时，由于在平滑面⑷上密接性良好，因此玻璃膜⑵与支承玻璃(3)以强カ粘接，且在粗糙面(5)上玻璃膜(2)与支承玻璃(3)以弱カ粘接。由此，能够在使玻璃膜(2)牢固地层叠于支承玻璃(3)上的状态下实施制造关联处理，且能够在制造关联处理后容易地从粗糙面(5)剥离玻璃膜(2)。需要说明的是，在图I、图3、图4的俯视图中，对支承玻璃⑶的接触面中的粗糙面(5)标注了斜线。并且，在图I、图4、及 图5的剖视图中，用粗线表示粗糙面(5)。优选支承玻璃(3)的接触面中的平滑面(4)的表面粗糙度Ra为2. Onm以下。通过使平滑面(4)的Ra为2. Onm以下，由此玻璃膜(2)与支承玻璃(3)的每单位面积的粘接面积增加，从而密接性得以提高，且能够使玻璃膜(2)与支承玻璃(3)牢固地粘接。优选玻璃膜(2)的接触面的表面粗糙度Ra也为2. Onm以下。更优选玻璃膜(2)及支承玻璃(3)的接触面中的平滑面的表面粗糙度Ra分别为I. Onm以下，进而优选为O. 5nm以下，最优选为O. 2nm以下。优选支承玻璃(3)的接触面中的平滑面⑷与粗糙面(5)的表面粗糙度Ra之差为O. Inm以上，更优选为O. 3nm以上。由此，能够在平滑面⑷上使支承玻璃⑶与玻璃膜
(2)适当地粘接，且能够容易地从支承玻璃(3)剥离玻璃膜(2)。另ー方面，若表面粗糙度Ra之差小于O. lnm，则难以获得表面粗糙度设有差而带来的效果。并且，支承玻璃(3)的接触面中的平滑面(4)与粗糙面(5)的表面粗糙度Ra之差从粘接性和剥离性这样的观点出发没有特别地限定，但从粗糙面形成的省力化的观点出发，优选为2000nm以下。优选在支承玻璃(3)的接触面上，平滑面⑷与粗糙面(5)的比例为I : 1000
5 I。为了实现粘接性与剥离性的谐调，更优选为I : 500 4 1，最优选为I : 200 3 I。需要说明的是，在玻璃膜(2)的接触面上设置平滑面(4)和粗糙面(5)的情况下，也优选采用与上述同样的比例。如图I所示，可以构成为，沿着支承玻璃(3)的接触面的外周部设置平滑面(4)，在平滑面(4)所包围的内部设置表面粗糙度Ra相对大的粗糙面(5)。由此，能够以少的粘接面积使玻璃膜(2)与支承玻璃(3)沿着玻璃膜层叠体(I)的外周部而牢固地粘接。即使制造关联处理工序具有使用液体的エ序，也能够防止液体从玻璃膜(2)与支承玻璃(3)之间浸入的情况，能够防止玻璃膜(2)与支承玻璃(3)轻易剥离的情況。如图3所示，也可以构成为，在支承玻璃(3)的接触面的角部(31)具有平滑面
(4)。由此，能够使玻璃膜(2)的接触面的角部与支承玻璃(3)牢固地粘接，能够以少的粘接面积层叠玻璃膜(2)与支承玻璃(3)。如图4所示，也可以构成为，在支承玻璃(3)的外周部具有粗糙面(5)，在粗糙面(5)所包围的内部设置平滑面(4)。由此，从支承玻璃(3)剥离玻璃膜(2)时，能够容易地开始剥离。通过仅使玻璃膜(2)的中央部接触，由此不会发生玻璃膜(2)在挠曲的状态下粘接的情況。由此，能够可靠地防止在制造关联处理时产生不利的凹凸。需要说明的是，在制造关联处理中，若具有使用溶剂的エ序，则也可以在玻璃膜层叠体(I)侧部粘贴遮蔽帯。如图5所示，可以构成为，在支承玻璃(3)的接触面上交替地设有带状的粗糙面
(5)和帯状的平滑面(4)。通过沿粗糙面(5)及平滑面(4)的长度方向(图5(a)中的上下方向)进行玻璃膜⑵的剥离，由此由于支承玻璃⑶与玻璃膜⑵的粘接力一定，因此以 一定的力进行剥离就能够稳定地进行支承玻璃(3)与玻璃膜(2)的剥离。作为在支承玻璃(3)的接触面上设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域的方法，可以例举以下的方法。利用遮蔽带等来保护表面质量优越的支承玻璃(3)的接触面的一部分，并使用物理方法或化学方法进行粗面化处理。在处理后除去遮蔽帯，由此在接触面上形成由遮蔽带等保护的平滑面(4)和被粗面化了的粗糙面(5)。作为物理的粗面化方法，可以举出利用遮蔽带等对支承玻璃(3)的接触面进行保护后，利用喷砂对露出的面进行粗面化的方法、或者通过形成薄膜来进行粗面化的方法等。尤其在支承玻璃的表面精度良好的情况下，也可以利用遮蔽带等对支承玻璃(3)的接触面进行保护后，对露出的面实施使用了氧化铝或氧化铈的研磨。并且，作为化学的粗面化方法，可以举出利用氟酸进行蚀刻、或者使用大气压等离子体的方法等。图6示出将玻璃膜(2)与支承玻璃(3)以在缘部设有高低差出)的方式层叠而成的玻璃膜层叠体(I)。在图6(a)中，以支承玻璃(3)比玻璃膜(2)伸出的方式设置高低差(61)。由此，能够更加适当地保护玻璃膜(2)的端部。需要说明的是，在图6(a)的形态的情况下，如与图4关联而说明的那样，优选在玻璃膜(2)的周边部具有粗糙面(5)的形态。由于周边部为粗糙面(5)，因此通过在玻璃膜(2)与支承玻璃(3)之间插入薄板状的构件(树脂片等)，由此能够容易地剥离玻璃膜(2)与支承玻璃(3)。另ー方面，在图6(b)中，以玻璃膜(2)比支承玻璃(3)伸出的状态设置高低差
(62)。由此，在玻璃膜(2)与支承玻璃(3)的剥离开始时，能够容易地仅把持玻璃膜(2)，从而能够更加容易且可靠地将两者剥离。高低差￠2)设置在玻璃膜层叠体(I)的周边部的至少一部分即可，例如，在玻璃膜层叠体(I)俯视观察下为矩形形状的情况下，在四边中的至少ー边设置高低差(62)即可。并且，也可以通过在支承玻璃(3)的四角的一部分设置切ロ(定位平面)来设置高低差。需要说明的是，在图6(b)的形态的情况下，如与图I关联而说明的那样，优选在玻璃膜(2)的周边部具有平滑面(4)的形态。由于周边部为平滑面
(4)，因此在制造关联处理使用溶剂时，能够防止溶剂从玻璃膜(2)与支承玻璃(3)之间浸入的情况。优选玻璃膜(3)的伸出量为O. Imm 20mm。若小于O. Imm,贝U在剥离开始时可能难以把持玻璃膜(2)的缘部，若超过20_，则在玻璃膜层叠体(I)的侧缘施加(砸撞)砸撞等外力的情况下玻璃膜(2)可能破损。进而，通过制成在玻璃膜层叠体(I)的端部形成有通过使支承玻璃(3)的缘部从玻璃膜⑵的缘部伸出而形成的高低差、通过使玻璃膜⑵的缘部从支承玻璃⑶的缘部伸出而形成的高低差(4)这两方高低差的玻璃膜层叠体(I)，由此能够分别同时地把持玻璃膜(2)和支承玻璃(3)，进而能够容易地剥离玻璃膜(2)。优选各高低差相互接近而形成。在本发明涉及的玻璃膜层叠体(I)的玻璃膜(2)的表面进行成膜、烧成、清洗、图制等各种各样与电子设备制造关联的处理。在制造关联处理后将玻璃膜(2)从玻璃膜层叠体(I)的支承玻璃(3)剥离。通过在玻璃膜(2)与支承玻璃(3)之间插入片，由此进行玻璃膜(2)的剥离。优选该片为强度高且表面光滑的片，优选使用特氟隆(注册商标)片。优选将片较浅地插入。若将片较深地插入，则片与玻璃的接触面积变大，摩擦力増加，因此在剥离时玻璃膜(2)可能会发生破损。在剥离后，玻璃膜(2)使用在目的不同的用途，例如适于使用在电子设备的玻璃基板等中。将玻璃膜(2)剥离后的支承玻璃(3)能够再次利用。以上，在上述实施方式中，在支承玻璃(3)的接触面上设有表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域，但并不限定于此，也可以在玻璃膜(2)的接触面上设置 表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域。并且，可以在支承玻璃(3)的接触面和玻璃膜(2)的接触面这两方上设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域。实施例I以下，基于实施例对本发明的玻璃膜层叠体详细地进行说明，但本发明并不限定于上述实施例。(实施例)将纵300mm、横300mm、厚度500 μ m的矩形形状的透明的玻璃板作为支承玻璃来使用。在支承玻璃的一角设有纵3_、横3mm的直角三角形的切ロ(定位平面)。作为层叠在支承玻璃的接触面上的玻璃膜，使用了纵298mm、横298mm、厚度100 μ m的玻璃膜。支承玻璃和玻璃膜使用了日本电气硝子株式会社制的无碱玻璃(产品名0A-10G、30 380°C下的热膨胀系数38\10_7/で)。通过溢流下拉法来成形支承玻璃和玻璃膜。利用遮蔽带来保护支承玻璃的接触面的四角，并在支承玻璃的接触面上涂敷1%的氟酸溶液，由此进行了粗面化处理。涂敷氟酸溶液经过30秒后进行清洗处理，除去遮蔽帯，由此将被遮蔽带保护的面作为平滑面，且将氟酸处理面作为粗糙面。使用Veeco公司制AFM (Nanoscope III a),在扫描尺寸10 μπι、扫描速度1Hz、样本线512的条件下測定支承玻璃的接触面中的平滑面和粗糙面的表面粗糙度Ra。表面粗糙度Ra根据10 μ m见方的測定范围内的测定值来算出。支承玻璃上的粗糙面的表面粗糙度Ra为O. 5nm,平滑面的表面粗糙度Ra为O. 2nm。玻璃膜的表面粗糙度Ra为O. 2nm。之后，在支承玻璃的接触面上层叠玻璃膜，从而得到实施例的玻璃膜层叠体。对得到的玻璃膜层叠体而言，在对玻璃膜的表面进行清洗处理、成膜处理时，由干支承玻璃与玻璃膜良好地粘接，因此能够毫无问题地进行处理时的定位、操作。由于通过在支承玻璃的一角设置的切ロ(定位平面)部来形成高低差(參照图5)，因此通过插入特氟隆(注册商标)片并扩宽插入区域，由此从支承玻璃剥离玻璃膜吋，能够从粗糙面良好地剥离，玻璃膜不会发生破损。(比较例I)除了未对支承玻璃的接触面进行粗面化处理这一点外，采用与上述的实施例同样的方法来得到比较例I的玻璃膜层叠体。需要说明的是，支承玻璃及玻璃膜的接触面的表面粗糙度Ra均为O. 2nm。对得到的比较例I的玻璃膜层叠体而言，在对玻璃膜的表面进行成膜处理、清洗处理时，由干支承玻璃与玻璃膜良好地粘接，因此能够毫无问题地进行处理时的定位、操作。然而，在处理后将特氟隆(注册商标)片插入至中央附近吋，特氟隆(注册商标)片发生挠曲，玻璃膜则由于粘接力过强而大幅弯曲，在剥离时存在玻璃膜发生破损的情况。(比较例2)通过对支承玻璃的接触面进行基于氧化铝及氧化铈的研磨处理，由此将接触面的表面粗糙度Ra均匀地调整为2. 2nm。之后，通过在支承玻璃的接触面层叠玻璃膜，由此制作出比较例2的玻璃膜层叠体。 对得到的比较例2的玻璃膜层叠体而言，在对玻璃膜的表面进行清洗处理、成膜处理时，存在粘接力不充分的情況，在处理时存在支承玻璃从玻璃膜剥离的情況，无法良好地进行定位、操作。エ业实用性本发明能够在制作液晶显示器或有机EL显示器等平板显示器、太阳能电池等设备所使用的玻璃基板、及有机EL照明的玻璃罩的情况下适合地使用。符号说明I 玻璃膜层叠体2 玻璃膜3 支承玻璃4 平滑面5 粗糙面
权利要求
1.ー种玻璃膜层叠体，通过层叠玻璃膜和支承体而成，其特征在干， 在所述玻璃膜的接触面与所述支承体的接触面的层叠部上设有粘接力相对强的区域和粘接力相对弱的区域。
2.根据权利要求I所述的玻璃膜层叠体，其特征在干， 所述支承体为支承玻璃，在所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少ー方设有表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域。
3.根据权利要求2所述的玻璃膜层叠体，其特征在干， 在所述支承玻璃的接触面设有所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域。
4.根据权利要求2或3所述的玻璃膜层叠体，其特征在干， 所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra为2. Onm以下。
5.根据权利要求2 4中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于， 所述表面粗糙度相对大的区域与所述表面粗糙度相对小的区域的表面粗糙度Ra之差为O. Inm以上。
6.根据权利要求2 5中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于， 在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对小的区域，在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对大的区域。
7.根据权利要求2 5中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于， 所述接触面的角部具有所述表面粗糙度相对小的区域。
8.根据权利要求2 5中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于， 在所述接触面的外周部具有所述表面粗糙度相对大的区域，在由所述外周部包围的内部具有所述表面粗糙度相对小的区域。
9.根据权利要求2 5中任一项所述的玻璃膜层叠体,其特征在于， 所述表面粗糙度相对大的区域和所述表面粗糙度相对小的区域呈带状地交替设置在所述接触面上。
10.根据权利要求2 9中任一项所述的玻璃膜层叠体，其特征在干， 所述玻璃膜与所述支承玻璃以在缘部的至少一部分设有高低差的方式层叠。
11.ー种玻璃膜层叠体的制造方法，该玻璃膜层叠体通过层叠玻璃膜和支承玻璃而成，所述玻璃膜层叠体的制造方法的特征在于，包括 对所述玻璃膜的接触面及所述支承玻璃的接触面中的至少一方的一部分区域进行粗面化的エ序； 在使所述接触面彼此接触的状态下层叠所述玻璃膜和所述支承玻璃的エ序。
12.根据权利要求11所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在干， 所述玻璃膜及所述支承玻璃通过溢流下拉法而成形。
13.根据权利要求11或12所述的玻璃膜层叠体的制造方法，其特征在干， 所述粗面化是从基于氟酸的蚀刻处理、基于大气压等离子的蚀刻处理、基于薄膜形成的粗面化、基于喷砂的粗面化处理中选择的ー种或两种以上的处理。
14.ー种玻璃膜的制造方法，其特征在于，包括 在支承玻璃的接触面及玻璃膜的接触面中的至少一方设置表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域的第一エ序； 通过将所述支承玻璃的接触面和所述玻璃膜的接触面贴合来形成玻璃膜层叠体的第ニェ序； 对所述玻璃膜层叠体进行制造关联处理的第三エ序； 在所述制造关联处理后将所述玻璃膜从所述支承玻璃剥离的第四エ序。
全文摘要
本发明提供一种玻璃膜层叠体及其制造方法以及玻璃膜的制造方法，所述玻璃膜层叠体(1)通过层叠玻璃膜(2)与支承玻璃(3)而成，在玻璃膜(2)的接触面及支承玻璃(3)的接触面中的至少一方设有表面粗糙度相对大的区域和表面粗糙度相对小的区域。
文档编号B32B17/00GK102695685SQ2011800054
公开日2012年9月26日 申请日期2011年1月11日 优先权日2010年1月12日
发明者泷本博司, 笘本雅博, 藤居孝英 申请人:日本电气硝子株式会社