1.本实用新型涉及显示面板和半导体器件等领域，尤其涉及一种真空干燥系统。
背景技术：
2.在有机材料发光器件制备的制程工艺中，喷墨打印在材料利用率、高分辨率打印和墨滴控制方面，展现了稳定的性能改善，经过长期地研究和开发后，在oled面板领域获得了大规模的制造应用。由于打印后的膜层固化过程十分复杂，实际在利用喷墨打印制作优质薄膜的过程中，在薄膜表面常会出现“咖啡环”效应，导致成膜不均匀，从而削弱了功能器件的性能，为了避免薄膜表面出现“咖啡环”效应，需要使得打印后的面板在真空的环境下干燥。
技术实现要素：
3.本实用新型针对上述问题，提出了一种真空干燥系统。
4.本实用新型采取的技术方案如下：
5.一种真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。
6.本系统中，利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，这样可以在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。具体第一真空泵与第二真空泵之间通过管道相连接，第一真空泵与箱子内的腔室之间通过管道相连接。
7.可选的，所述箱子内设置有冷凝板以及升降台，所述冷凝板与升降台均位于腔室内。
8.可选的，所述升降台包括升降机构以及载台，所述载台固定在所述升降机构上。
9.集体载台用于放置打印后的面板。
10.可选的，还包括温度传感器，所述冷凝板以及升降台上均设置有温度传感器。
11.温度传感器的作用是监测冷凝板以及升降台的温度，温度传感器收集的温度信号反馈给水冷机，冷凝板和升降台可实现温度控制，通过控制温差实现冷凝板与升降台产生对流。
12.可选的，所述箱子上设置有密封门，所述密封门用于密封腔室。
13.可选的，所述第一真空泵为分子真空泵，所述第二真空泵为干式真空泵。
14.可选的，还包括水冷机，所述水冷机与箱子内的冷凝板和升降台之间通过管道相连接。
15.水冷机的作用是调控冷凝板和升降台的温度。
16.可选的，还包括支架，所述箱子设置安装在支架上。
17.支架的作用是支撑箱子。
18.本实用新型的有益效果是：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。
附图说明：
19.图1是真空干燥系统示意简图；
20.图2是支架与箱子的配合关系示意图。
21.图中各附图标记为：1、箱子，101、腔室，2、密封门，3、支架，4、第一真空泵，5、第二真空泵，6、水冷机，7、管道，8、冷凝板，901、升降机构，902、载台，10、面板。
具体实施方式：
22.下面结合各附图，对本实用新型做详细描述。
23.如附图1及附图2所示，一种真空干燥系统，包括箱子1、第一真空泵4以及第二真空泵5，箱子1内设置有密闭的腔室101，第一真空泵4与箱子1内的腔室101相接，第二真空泵5与第一真空泵4相接，第一真空泵4及第二真空泵5用于对箱子1内的腔室101抽真空。
24.本系统中，利用第一真空泵4与第二真空泵5的作用是对腔室101进行抽真空，这样可以在腔室101内形成一个真空的环境，打印后的面板10在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。具体第一真空泵4与第二真空泵5之间通过管道7相连接，第一真空泵4与箱子1内的腔室101之间通过管道7相连接。
25.如附图1及附图2所示，箱子1内设置有冷凝板8以及升降台，冷凝板8与升降台均位于腔室101内。
26.如附图1及附图2所示，升降台包括升降机构901以及载台902，载台902固定在升降机构901上。
27.集体载台902用于放置打印后的面板10。
28.如附图1及附图2所示，还包括温度传感器，冷凝板8以及升降台上均设置有温度传感器。
29.温度传感器的作用是监测冷凝板8以及升降台的温度，温度传感器收集的温度信号反馈给水冷机6，冷凝板8和升降台可实现温度控制，通过控制温差实现冷凝板8与升降台产生对流。
30.如附图1及附图2所示，箱子1上设置有密封门2，密封门2用于密封腔室101。
31.如附图1及附图2所示，第一真空泵4为分子真空泵，第二真空泵5为干式真空泵。
32.如附图1及附图2所示，还包括水冷机6，水冷机6与箱子1内的冷凝板8和升降台之间通过管道7相连接。
33.水冷机6的作用是调控冷凝板8和升降台的温度。
34.如附图1及附图2所示，还包括支架3，箱子1设置安装在支架3上。
35.支架3的作用是支撑箱子1。
36.以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此即限制本实用新型的专利保护范围，凡是运用本实用新型说明书所作的等效变换，直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的保护范围内。
技术特征：
1.一种真空干燥系统，其特征在于，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。2.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述箱子内设置有冷凝板以及升降台，所述冷凝板与升降台均位于腔室内。3.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，所述升降台包括升降机构以及载台，所述载台固定在所述升降机构上。4.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，还包括温度传感器，所述冷凝板以及升降台上均设置有温度传感器。5.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述箱子上设置有密封门，所述密封门用于密封腔室。6.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，所述第一真空泵为分子真空泵，所述第二真空泵为干式真空泵。7.如权利要求2所述的真空干燥系统，其特征在于，还包括水冷机，所述水冷机与所述冷凝板以及升降台通过管道相连。8.如权利要求1所述的真空干燥系统，其特征在于，还包括支架，所述箱子设置安装在支架上。
技术总结
本申请公开了真空干燥系统，包括箱子、第一真空泵以及第二真空泵，所述箱子内设置有密闭的腔室，所述第一真空泵与所述箱子内的腔室相接，所述第二真空泵与所述第一真空泵相接，所述第一真空泵及第二真空泵用于对箱子内的腔室抽真空。本实用新型具有如下有益效果：利用第一真空泵与第二真空泵的作用是对腔室进行抽真空，在腔室内形成一个真空的环境，打印后的面板在此真空环境下干燥可以有效避免成膜不均匀现象。膜不均匀现象。膜不均匀现象。
技术研发人员：张海洲 林彬
受保护的技术使用者：布劳恩惰性气体系统（上海）有限公司
技术研发日：2021.03.16
技术公布日：2021/12/17