液体喷头的制作方法

1.本发明的实施方式涉及液体喷头。


背景技术：

2.以往，已知有一种液体喷头，以预定间隔形成多个隔壁，将以各隔壁间作为油墨的流路的压电陶瓷的致动器设置在由陶瓷构成的基板上，并在各隔壁的侧面形成驱动用电极。另外，已知有一种液体喷头，将隔壁端面形成于从其顶部至底部向外侧扩张的倾斜面，并在隔壁的倾斜面以及基板形成驱动用电极的引出线。这样的液体喷头是例如喷出作为液体的油墨的喷墨头。
3.另外，为了使液体的喷出高速化，也已知如下液体喷头：使用具有从喷嘴喷出液体的压力室和不喷出液体的空气室的独立驱动结构。存在如下例子：在独立驱动结构的液体喷头的情况下，将压力室的电极集束于基板中央进行共用电极化，将空气室的电极向驱动ic侧引出。
4.然而，在这样的液体喷头中，在所有喷嘴同时驱动而喷出液体时，在列内的端部与中央部中驱动波形产生差异，点径、直线性等印字品质变差。


技术实现要素：

5.发明所要解决的技术问题
6.本发明欲解决的课题在于提供即便设置共用电极也能够抑制印字品质的降低的液体喷头。
7.用于解决技术问题的技术方案
8.实施方式的液体喷头具备致动器、基板、单独电极、共用电极。致动器具有在一个方向上配置的多个压力室以及与所述压力室邻接并在所述一个方向上配置的多个空气室。基板在一个面设置有所述致动器，并且在所述一个面开口，且沿所述致动器的长边方向延伸的长孔排列形成于所述致动器。单独电极形成于所述基板的所述一个面，并分别驱动所述压力室。共用电极形成于所述基板的所述一个面以及所述长孔的内周面，并驱动所述多个压力室。
附图说明
9.图1是表示第一实施方式所涉及的液体喷头的构成的立体图。
10.图2是表示第一实施方式所涉及的液体喷头的构成的仰视图。
11.图3是将第一实施方式所涉及的液体喷头的构成部分省略而示出的仰视图。
12.图4是表示第一实施方式所涉及的液体喷头的头主体的构成的立体图。
13.图5是表示第一实施方式所涉及的头主体的构成的剖视图。
14.图6是表示第一实施方式所涉及的头主体的构成的俯视图。
15.图7是将第一实施方式所涉及的头主体的构成部分省略而示出的剖视图。
16.图8是将第一实施方式所涉及的头主体的构成部分省略而示出的剖视图。
17.图9是表示第一实施方式所涉及的液体喷出装置的构成的说明图。
18.图10是示意性地表示第二实施方式所涉及的头主体的构成的立体图。
19.图11是示意性地表示第二实施方式所涉及的头主体的构成的说明图。
具体实施方式
20.以下，参照图1～图9对第一实施方式所涉及的液体喷头1以及使用了液体喷头1的液体喷出装置2进行说明。图1是表示第一实施方式所涉及的液体喷头1的构成的立体图，图2是表示液体喷头1的构成的仰视图。图3是省略喷嘴板114而示出液体喷头1的构成的仰视图。图4是将喷嘴板114的一部分切除而示出液体喷头1的头主体11的构成的立体图，图5是表示头主体11的构成的剖视图。图6是表示头主体11的基板111、致动器113、多个单独电极118以及共用电极119的构成的俯视图。图7是表示头主体11的基板111、致动器113、多个单独电极118以及共用电极119的构成的剖视图。图8是表示头主体11的致动器113、多个单独电极118以及共用电极119的构成的剖视图。图9是表示使用了液体喷头1的液体喷出装置2的构成的说明图。需要说明的是，各图中为了说明，适当地将构成放大、缩小或者省略而示出。
21.液体喷头1例如是设置于图9所示的喷墨记录装置等液体喷出装置2的共享模式的喷墨头。液体喷头1设置于包括设置于液体喷出装置2的作为液体收容部的供给罐2132在内的头单元2130。
22.液体喷头1被供给存积于供给罐2132的作为液体的油墨。需要说明的是，液体喷头1可以是不使油墨循环的非循环式的头，另外也可以是使油墨循环的循环式的头。在本实施方式中，对液体喷头1使用非循环式的头的例子进行说明。另外，液体喷头1与设置于液体喷出装置2的温度控制装置2116连接，并被供给进行油墨的温度控制的温度控制用液体(温度控制水)。
23.如图1～图4所示，液体喷头1具备头主体11、歧管单元12、电路基板13、罩14。例如，液体喷头1是具有两组具有一对致动器113的头主体11的侧射型的四列一体结构头。
24.头主体11喷出液体。如图3～图8所示，头主体11具备基板111、框体112、具有多个压力室1131及多个空气室1132的致动器113、以及喷嘴板114。
25.头主体11具有与致动器113的多个压力室1131连通的共用液室116。多个压力室1131的初级侧是液体的流动方向上的多个压力室1131的上游侧。多个压力室1131的次级侧是液体的流动方向上的多个压力室1131的下游侧。
26.另外，头主体11在基板111以及致动器113具有分别驱动致动器113的多个压力室1131的多个单独电极118和同时驱动多个压力室1131的单个或者多个共用电极119。
27.在本实施方式的例子中，使用头主体11具有两个致动器113且共用液室116具有一个第一共用液室1161以及两个第二共用液室1162的例子进行说明。共用液室116例如具有：与致动器113的多个压力室1131的初级侧的开口(压力室1131的入口)连通的第一共用液室1161；和与致动器113的多个压力室1131的次级侧的开口(压力室1131的出口)连通的第二共用液室1162。
28.基板111例如通过陶瓷材料以矩形板状形成。基板111例如形成为在一个方向上较
长的矩形状。在基板111的一个面形成有成为多个单独电极118的一部分的布线图案以及成为单个共用电极119的一部分的布线图案。在基板111的一个面，沿基板111的短边方向排列设置有一对致动器113。基板111的一个面是基板111的一方的面。基板111具有单个供给口1111和多个排出口1112。供给口1111以及排出口1112是贯通基板111的两主面之间的贯通孔。
29.供给口1111是将油墨供给于第一共用液室1161的入口。供给口1111是形成于基板111的短边方向的中央的贯通孔。供给口1111沿着基板111的长边方向延伸。换言之，供给口1111例如是沿着致动器113的长边方向以及第一共用液室1161的长边方向在一个方向上长的长孔。供给口1111设置于一对致动器113之间，并在与第一共用液室1161对置的位置开口。
30.排出口1112是从第二共用液室1162排出油墨的出口。排出口1112设置有多个例如四个。各排出口1112例如处于第一共用液室1161与各第二共用液室1162之间，并且分别与一对致动器113的长边方向的两端部邻接。需要说明的是，多个排出口1112可以设置于第二共用液室1162。
31.框体112通过粘合剂等固定于基板111的一方的主面。框体112包围设置于基板111的供给口1111、多个排出口1112以及致动器113。
32.例如，框体112以矩形框状形成，从而沿着框体112的长边方向形成在一个方向上长的开口。在框体112的开口配置有一对致动器113、供给口1111以及四个的排出口1112。
33.一对致动器113粘合于基板111的安装面。一对致动器113夹着供给口1111以两列排列设置于基板111。致动器113形成为在一个方向上长的板状。致动器113配置于框体112的开口内，并粘合于基板111的主面。
34.如图5～图8所示，致动器113具有：在长边方向的中央侧沿长边方向以等间隔配置的多个压力室1131；和沿长边方向以等间隔配置并且配置于相邻的压力室1131之间的空气室1132。换言之，在致动器113沿着长边方向交替配置有多个压力室1131以及空气室1132。
35.致动器113的与基板111相反一侧的面粘合于喷嘴板114。致动器113形成有沿长边方向以等间隔排列配置并沿着与长边方向正交的方向的多个槽。多个槽形成多个压力室1131和多个空气室1132。换言之，致动器113具有作为驱动元件的多个压电体1133，所述多个压电体1133构成沿长边方向以等间隔排列配置且在之间形成槽的壁。多个压电体1133在相邻的压电体1133之间形成多个压力室1131以及多个空气室1132，通过驱动电压施加，使压力室1131的容积变化。
36.致动器113的例如短边方向的宽度从顶部侧朝向基板111侧而逐渐变大。沿着与致动器113的长边方向正交的方向(短边方向)的截面的截面形状形成为梯形状。即，致动器113在短边方向的侧面部具有倾斜的倾斜面1134。侧面部(倾斜面1134)与第一共用液室1161以及第二共用液室1162对置配置。
37.作为具体例，致动器113通过使在一个方向上长的矩形板状的两枚压电材料以相互的极化方向成为反向的方式对置粘合而成的层叠压电部件而形成。此处，压电材料例如是pzt(锆钛酸铅)。致动器113例如通过具有热固化性的环氧类粘合剂而粘合于基板111的安装面。而且，致动器113例如通过切削加工等而构成倾斜面1134。另外，基板111以及致动器113一并例如通过研磨加工，研磨图案化有多个单独电极118以及共用电极119的表面，形
成有研磨面。另外，致动器113例如形成有形成切削加工多个压力室1131以及多个空气室1132的多个槽，形成有划分相邻的槽之间的侧壁即压电体(驱动元件)1133。
38.另外，在致动器113形成有成为多个单独电极118的一部分的布线图案以及成为单个或者多个共用电极119的一部分的布线图案。
39.压力室1131在由液体喷头1进行的印字等动作时，通过变形，使油墨从喷嘴1141喷射。对于压力室1131而言，入口在第一共用液室1161开口，出口在第二共用液室1162开口。对于压力室1131而言，油墨从入口流入，油墨从出口流出。需要说明的是，压力室1131也可以构成为：油墨从作为入口以及出口而说明的两开口流入。
40.如图7所示，空气室1132通过入口侧以及出口侧通过由感光性树脂等形成的防液壁1135堵塞而分隔为第一共用液室1161以及第二共用液室1162。作为具体例，在形成空气室1132的槽内注入紫外线固化树脂之后，使用掩模板等，在需要的部分例如作为槽的入口侧以及出口侧的两端部照射紫外线，从而形成空气室1132的防液壁1135。这样的防液壁1135防止油墨向空气室1132的侵入。另外，空气室1132由喷嘴板114堵塞，没有配置有喷嘴1141。因此，油墨不流入空气室1132。
41.喷嘴板114形成为板状。喷嘴板114通过粘合剂等固定于框体112的与基板111相反一侧的主面。喷嘴板114具有：在与多个压力室1131对置的位置形成的多个喷嘴1141。在本实施方式中，喷嘴板114具有两列多个喷嘴1141在一个方向上排列的喷嘴列1142。
42.第一共用液室1161形成于一对致动器113的除两端部之外的中央侧之间，构成油墨从供给口1111朝向各致动器113的多个压力室1131的初级侧的开口(入口)的流路。第一共用液室1161沿着致动器113的长边方向延伸。
43.第二共用液室1162分别形成于各致动器113与框体112之间。第二共用液室1162形成油墨从多个压力室1131的次级侧的开口(出口)向排出口1112的流路。第二共用液室1162沿着致动器113的长边方向延伸。
44.多个单独电极118对作为压电体的多个压电体1133单独地施加驱动电压。多个单独电极118使各压力室1131单独地变形。单独电极118通过形成于基板111的布线图案以及形成于致动器113的布线图案而形成。
45.作为具体例，如图7以及图8所示，多个单独电极118在各压力室1131的内表面、致动器113的倾斜面1134以及基板111上成膜。具体而言，单独电极118在形成压力室1131的压电体1133的表面以及构成压力室1131的底部的压电部件的一部分形成。另外，单独电极118例如形成于倾斜面1134以及基板111的研磨面。单独电极118从压力室1131内向基板111的短边方向的端部延伸，并在基板111的连接有电路基板13的连接部1116配置有端部。单独电极118设置为与压力室1131的底部以及形成压电体1133的压电部件的表面密合。单独电极118例如通过镍薄膜形成。需要说明的是，单独电极118不局限于镍薄膜，例如也可以通过金、铜的薄膜形成。单独电极118的厚度例如为0.5μm～5μm。
46.共用电极119对多个压电体1133全部施加相同的驱动电压。共用电极119使多个压力室1131同时变形。共用电极119由形成于基板111的布线图案以及形成于致动器113的布线图案而形成。共用电极119是从基板111的供给口1111的内周面遍及形成多个空气室1132的压电体1133而设置的布线图案。共用电极119与电路基板13连接。
47.作为具体例，如图7以及图8所示，共用电极119避开各空气室1132的内表面、致动
器113的倾斜面1134以及形成有单独电极118的区域而在基板111上成膜。具体而言，共用电极119形成于形成各空气室1132的压电体1133的表面以及构成空气室1132的底部的压电部件的一部分。另外，共用电极119从各空气室1132内朝向基板111的中央部而设置在倾斜面1134上，并且形成于一对致动器113之间的基板111的研磨面上以及供给口1111的内周面。另外，共用电极119向基板111的短边方向的端部延伸，并在基板111的连接有电路基板13的连接部1116配置有端部。
48.换言之，共用电极119设置于从形成于基板111的短边方向的端部的连接部1116至一对致动器113之间的基板111的短边方向中央侧。而且，如图7所示，设置于基板111的短边方向的中央侧的共用电极119的一部分设置为：在基板111的短边方向中央侧在供给口1111的内周面沿基板111的厚度方向延伸。另外，共用电极119的一部分设置于从基板111的短边方向中央侧至形成各空气室1132的压电部件的表面。
49.共用电极119设置为与空气室1132的底部以及形成压电体1133的压电部件的表面密合。共用电极119例如通过镍薄膜而形成。需要说明的是，共用电极119不局限于镍薄膜，例如可以由金、铜的薄膜形成。共用电极119的厚度例如为0.5μm～5μm。
50.例如，共用电极119在框体112的下表面由使框体112粘合于基板111的粘合剂覆盖。
51.如图1、图2、图4以及图5所示，歧管单元12具备歧管121、顶板122、油墨供给管123、油墨排出管124、作为一对温度控制用管的温度控制水供给管125以及温度控制水排出管。需要说明的是，油墨供给管123、油墨排出管124、温度控制水供给管125以及温度控制水排出管的数量能够适当地设定。
52.歧管121以板状或者块状形成。如图5所示，歧管121具备：供给流路1211，与基板111的供给口1111连续，并形成液体供给流路；排出流路，与基板111的排出口1112连续，并形成液体排出流路；以及温度控制用流路1213，形成温度控制用的流体的流路。
53.歧管121的一方的主面固定于基板111的主面。另外，歧管121在与固定有基板111的主面相反的主面固定有顶板122。另外，例如，油墨供给管123、油墨排出管124、温度控制水供给管125以及温度控制水排出管经由顶板122而固定于歧管121。
54.供给流路1211是通过孔、槽而形成于歧管121的流路。供给流路1211将油墨供给管123以及基板111的供给口1111流体连接。
55.排出流路是通过孔、槽而形成于歧管121的流路。排出流路将油墨排出管124以及基板111的排出口1112流体连接。
56.温度控制用流路1213是通过孔、槽而形成于歧管121的流路。温度控制用流路1213将温度控制水供给管125以及温度控制水排出管流体连接。
57.温度控制用流路1213的两端是与设置于歧管121的一方的主面的温度控制水供给管125以及温度控制水排出管连接的开口。另外，温度控制用流路1213形成为能够与固定于歧管121的基板111进行热交换。
58.顶板122设置于歧管121的与设置有基板111的面相反的面。顶板122通过覆盖歧管121，从而密封供给流路1211、排出流路以及温度控制用流路1213。
59.另外，顶板122具有：将各管123、124、125并使各管123，124，125以及各流路1211、1213连通的开口。
60.油墨供给管123与供给流路1211连接。油墨排出管124与排出流路连接。温度控制水供给管125以及温度控制水排出管与温度控制用流路1213的初级侧以及次级侧连接。
61.如图4所示，电路基板13具备：布线膜131，一端与基板111的连接部1116连接；驱动ic132，搭载于布线膜131；以及印刷布线基板133，安装于布线膜131的另一端。
62.电路基板13通过利用驱动ic132将驱动电压施加于致动器113的布线图案而驱动致动器113，使压力室1131的容积增减，使液滴从喷嘴1141喷出。
63.布线膜131与多个单独电极118以及共用电极119连接。例如，布线膜131是通过热压等而固定于基板111的连接部的acf(各向异性导电性膜)。连接的布线膜131例如相对于一个头主体11而设置有多个。在本实施方式中，两个布线膜131连结于一个致动器113。布线膜131例如是安装有驱动ic132的cof(chip on film，覆晶薄膜)。
64.驱动ic132经由布线膜131而与多个单独电极118以及共用电极119连接。需要说明的是，也可以是，驱动ic132不是通过布线膜131，而是通过acp(各向异性导电膏)、ncf(非导电性膜)以及ncp(非导电性膏)那样的其他方式，与多个单独电极118以及共用电极119连接。
65.印刷布线基板133是搭载有各种电子部件、连接器的pwa(printing wiring assembly，印刷布线组件)。
66.罩14例如具备：外廓体141，覆盖一对头主体11的侧面、歧管单元12以及电路基板13；和掩模板142，覆盖一对头主体11的喷嘴板114侧的一部分。
67.外廓体141例如使歧管单元12中的油墨供给管123、油墨排出管124、温度控制水供给管125以及温度控制水排出管和电路基板13的端部向外部露出。
68.掩模板142对一对头主体11中的多个喷嘴1141以及喷嘴板114的多个喷嘴1141的周围之外的部位进行覆盖。
69.这样构成的液体喷头1在头主体11具有：能够对各压电体1133分别单独施加驱动电压的多个单独电极118以及能够对所有压电体1133施加驱动电压的共用电极119。
70.因此，液体喷头1能够选择性地、单独或者共用地驱动多个压力室1131。而且，若驱动压力室1131，则压力室1131进行共享模式变形，将供给至压力室1131内的油墨加压。因此，液体喷头1能够将加压的油墨从与压力室1131对置的喷嘴1141选择性地喷出。
71.另外，除了基板111的致动器113的安装面、致动器113的倾斜面1134以及空气室1132内表面之外，共用电极119还形成于在基板111形成的供给口1111的内周面。
72.通过也在供给口1111的内周面设置共用电极119，从而液体喷头1能够确保共用电极119的电极表面积，因此，能够降低共用电极119的电阻。因此，即便在致动器113的压电体1133的列间变窄的情况下，也能够抑制在头主体11的喷嘴1141的排列方向上中央侧和端部侧喷出性能产生差异。
73.以下，参照图9对具有液体喷头1的喷墨记录装置2进行说明。喷墨记录装置2具备壳体2111、介质供给部2112、图像形成部2113、介质排出部2114、作为支承装置的输送装置2115、维护装置2117、以及控制部2118。另外，喷墨记录装置2具备：对向液体喷头1供给的油墨的温度进行调整的温度控制装置。
74.喷墨记录装置2是如下喷墨打印机：沿着从介质供给部2112经过图像形成部2113到达介质排出部2114的规定的输送路径2001，一边输送作为喷出对象物的记录介质例如纸
张p一边喷出油墨等液体，从而对纸张p进行图像形成处理。
75.介质供给部2112具备多个供纸盒21121。图像形成部2113具备：支承纸张的支承部2120；和与支承部2120的上方对置配置的多个头单元2130。介质排出部2114具备排纸托盘21141。
76.支承部2120具备：输送带21201，以环状具备进行图像形成的规定区域；支承板21202，从里侧支承输送带21201；以及多个带辊21203，具备于输送带21201的里侧。
77.头单元2130具备：作为多个喷墨头的液体喷头1；分别搭载在各液体喷头1上的作为液体罐的多个供给罐2132；供给油墨的泵2134；以及将液体喷头1与供给罐2132连接的连接流路2135。
78.在本实施方式中，具备：作为液体喷头1的青色、品红色、黄色、黑色四色的液体喷头1；和分别收容这些各色的油墨的四色的供给罐2132。供给罐2132通过连接流路2135而与液体喷头1连接。
79.泵2134是例如由压电泵构成的送液泵。泵2134与控制部2118连接，并通过控制部2118而驱动控制。
80.连接流路2135具备与液体喷头1的油墨供给管123连接的供给流路。另外，连接流路2135具备与液体喷头1的油墨排出管124连接的回收流路。例如，在液体喷头1为非循环式的情况下，回收回路与维护装置2117连接，在液体喷头1为循环式的情况下，回收流路与供给罐2132连接。
81.输送装置2115沿着从介质供给部2112的供纸盒21121经过图像形成部2113而到达介质排出部2114的排纸托盘21141的输送路径2001，输送纸张p。输送装置2115具备：沿着输送路径2001配置的多个引导板对21211～21218；和多个输送用辊21221～21228。输送装置2115将纸张p支承为能够与液体喷头1相对移动。
82.维护装置2117对例如在维护时残存于喷嘴板114的外表面的油墨进行吸引并回收。另外，在液体喷头1为非循环式的情况下，维护装置2117在维护时，回收头主体11内的油墨。这样的维护装置2117具有存积所回收的油墨的托盘、罐等。
83.控制部2118具备：作为处理器的一个例子的cpu(中央处理器)21181；存储各种程序等的rom(read only memory，只读存储器)、临时存储各种可变数据、图像数据等的ram(random access memory，随机存取存储器)等存储器；以及进行数据从外部的输入以及数据向外部的输出的接口部。
84.根据这样构成的液体喷头1以及液体喷出装置2，通过在作为长孔的供给口1111的内周面也设置共用电极119，从而即便设置共用电极119，也能够抑制印字品质的降低。
85.需要说明的是，本发明的实施方式不限定于上述的构成。以下，示出几个实施方式的例子。另外，在以下的说明中说明的实施方式中，对与上述的第一实施方式相同的构成标注相同的附图标记，并省略其详细的说明。
86.例如，在上述的例子中，对液体喷头1设置一对头主体11的构成进行了说明，但不局限于此，也可以构成为具有一个头主体11。另外，对头主体11设置一对致动器113的构成进行了说明，但不限定于此。例如，头主体11也可以构成为具有一个致动器113。
87.另外，在上述的例子中，对头主体11为了降低共用电极119的电阻而在供给口1111的内周面也设置共用电极119而确保共用电极119的电极表面积的例子进行了说明，但不限
定于此。
88.例如，如图10以及图11所示的第二实施方式那样，液体喷头1的头主体11也可以构成为在形成有共用电极119的区域亦即基板111的致动器113与供给口1111之间的表面设置槽部1113。例如，槽部1113由多个槽1114形成。槽1114沿着致动器113的长边方向、换言之供给口1111的长边方向延伸。多个槽1114例如在致动器113的短边方向上排列配置。槽1114例如设置有三个。槽1114的短边方向的截面形状以v字状形成。即，槽1114短边方向的宽度从上端侧朝向底部逐渐减少。而且，共用电极119也形成于在基板111形成的多个槽1114的上表面亦即倾斜面。
89.这样的第二实施方式所涉及的液体喷头1的头主体11除了供给口1111的内周面之外，还在多个槽1114的上表面形成有共用电极119。因此，头主体11能够更加降低确保共用电极119的电极表面积的共用电极119的电阻。另外，该头主体11构成为：通过在基板111的形成有共用电极119的区域形成槽部1113，从而提高基板111的表面积。
90.而且，槽1114通过对基板111的安装面的一部分进行加工而能够形成于基板111，因此，头主体11能够容易地使设置共用电极119的区域的表面积增加。需要说明的是，不限定于槽部1113由v字状的在一个方向上延伸多个槽1114形成的构成，例如也可以是由矩形状、圆锥状的多个槽、凹陷形成的构成。其中，为了形成共用电极119，优选槽部1113的表面是相对于基板111的安装面而倾斜的面。另外，槽1114的数量不局限于三个，能够适当地设定。
91.另外，在上述的例子中，说明了液体喷头1是非循环式的例子，但也可以是循环式，另外，也可以构成为，致动器113具有初级侧的开口连续于第二共用液室1162的清洗用的第二压力室，并在该第二压力室的次级侧具有第3共用液室。
92.根据以上说明的至少一个实施方式，通过将共用电极也设置于作为长孔的供给口的内周面，从而即便设置共用电极，也能够抑制印字品质的降低。
93.虽然说明了几个实施方式，但这些实施方式只是作为示例而提出的，并非旨在限定发明的范围。这些实施方式能够以其他各种方式进行实施，能够在不脱离发明的宗旨的范围内进行各种省略、替换、变更。这些实施方式及其变形被包括在发明的范围和宗旨中，同样地被包括在权利要求书所记载的发明及其均等的范围内。
94.附图标记说明
95.1：液体喷头(喷墨头)；2：液体喷出装置(喷墨记录装置)；11：头主体；12：歧管单元；13：电路基板；14：罩；111：基板；112：框体；113：致动器；114：喷嘴板；116：共用液室；118：单独电极；119：共用电极；121：歧管；122：顶板；123：油墨供给管；124：油墨排出管；125：温度控制水供给管；131：布线膜；133：印刷布线基板；141：外廓体；142：掩模板；1111：供给口；1112：排出口；1113：槽部；1114：槽；1116：连接部；1131：压力室；1132：空气室；1133：压电体(驱动元件)；1134：倾斜面；1135：防液壁；1141：喷嘴；1142：喷嘴列；1161：第一共用液室；1162：第二共用液室；1211：供给流路；1213：温度控制用流路；2001：输送路径；2111：壳体；2112：介质供给部；2113：图像形成部；2114：介质排出部；2115：输送装置；2116：温度控制装置；2117：维护装置；2118：控制部；2120：支承部；2130：头单元；2132：供给罐；2134：泵；2135：连接流路；21121：供纸盒；21141：排纸托盘；21201：输送带；21202：支承板；21203：带辊；21211～21218：引导板对；21221～21228：输送用辊；132：驱动ic；p：纸张。