干燥装置及干燥方法与流程

本发明涉及显示器件制造领域，特别是涉及一种干燥装置及干燥方法。

背景技术：

1、在有机发光二极管(oled)以及量子点发光二极管(qled)的制作工艺中，可采用喷墨打印的方式形成空穴注入层、空穴传输层、发光层等功能层，即通过喷墨打印机将功能材料墨水打印至基板上的像素坑中，再进行干燥成膜形成相应的功能层。

2、功能层材料的成膜均匀性对显示器件的效率有重要影响。而影响成膜均匀性的工艺主要有三个：一是喷墨打印工艺，墨滴的体积以及滴落角度控制的精确性对像素坑内墨水材料的成膜的均匀性有重要影响；二是减压干燥工艺，墨水溶剂成分的挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性有重要影响；三是烘烤工艺，基板加热的均匀性对墨水材料的均匀成膜也有重要影响。

3、目前oled或者qled喷墨打印工艺中使用的干燥装置，是采用溶剂温度梯度的方式设计设备硬件，即将基板承接平台设计成可以控温的结构，再结合基板承接平台的冷凝板，在工艺中利用基板承接平台与冷凝板的温度梯度实现减压干燥溶剂挥发的控制，以达到均匀成膜的目的。

4、然而，采用传统的干燥装置，当不同颜色的发光材料的墨水采用不同的溶剂体系时，由于溶剂体系不兼容，在干燥工艺或者烘烤工艺中，不能很好地进行溶剂体系分离，导致一种发光材料影响其他发光材料的器件发光效率降低，例如蓝色发光材料对红色器件、绿色器件的发光效率产生影响。

技术实现思路

1、基于此，有必要提供一种干燥装置及干燥方法，以解决采用传统的干燥装置，当不同颜色的发光材料的墨水采用不同的溶剂体系时，可能造成其中一种发光材料的溶剂或者发光材料本身影响其他发光材料的器件发光效率的问题。

2、本发明的其中一个目的是提供一种干燥装置，方案如下：

3、一种干燥装置，其特征在于，包括：

4、干燥室；

5、承载平台，设置在所述干燥室内，所述承载平台用于承载待干燥基板；以及

6、溶剂分离板，设置在所述干燥室内，所述溶剂分离板位于所述承载平台的上方，所述溶剂分离板用于分离溶剂。

7、在其中一个实施例中，所述溶剂分离板具有分子筛层，所述分子筛层的材料为硅铝酸盐。

8、在其中一个实施例中，所述承载平台与所述溶剂分离板之间的距离为2cm～5cm。

9、在其中一个实施例中，所述干燥室具有至少一个第一抽气口，所述第一抽气口开设于所述干燥室的顶部。

10、在其中一个实施例中，所述干燥装置还包括第一抽气机构，所述第一抽气机构与所述第一抽气口连通。

11、在其中一个实施例中，所述干燥室具有至少一个第二抽气口，所述第二抽气口位于所述承载平台的下方。

12、在其中一个实施例中，所述干燥装置还包括第二抽气机构，所述第二抽气机构与所述第二抽气口连通。

13、在其中一个实施例中，所述干燥装置还包括控制机构，所述控制机构与所述第一抽气机构、所述第二抽气机构电性连接，在减压干燥过程中，所述控制机构先控制所述第一抽气机构开启，并控制所述第一抽气机构抽气第一预设时长后，所述控制机构控制所述第二抽气机构开启，并控制第二抽气机构抽气第二预设时长。

14、在其中一个实施例中，所述干燥装置还包括升降机构，所述升降机构包括升降驱动部件以及支撑部件，所述支撑部件活动连接于所述承载平台，所述升降驱动部件连接于所述支撑部件，以用于驱动所述支撑部件上升突出于所述承载平台的上表面或退回。

15、本发明的另一个目的是提供一种干燥方法，方案如下：

16、一种干燥方法，使用上述任一实施例所述的干燥装置，所述干燥方法包括以下步骤：

17、将待干燥基板放置于所述承载平台上，所述待干燥基板上含有多种溶剂；

18、对所述干燥室进行抽气减压，部分溶剂上升后通过所述溶剂分离板并排出所述干燥室，其余溶剂被所述溶剂分离板阻挡；

19、对所述干燥室再次进行抽气减压，使所述其余溶剂排出所述干燥室。

20、与传统方案相比，上述干燥装置及干燥方法具有以下优点：

21、上述干燥装置通过在干燥室内设置承载平台，用于承载待干燥基板，通过在承载平台上方设置溶剂分离板，溶剂分离板仅允许部分溶剂分子透过，以在减压干燥过程中，实现部分溶剂被优先抽出干燥室，避免对基板上的发光层造成不利影响，该部分溶剂被抽出后，再抽出其余的溶剂，实现基板的干燥。

22、例如，对于某个发光层采用不同溶剂的显示器件基板，蓝色发光层溶剂会影响绿色发光层材料和红色发光层材料的发光效率，则溶剂分离板选用允许蓝色发光层溶剂透过而不允许绿色发光层溶剂、红色发光层溶剂透过的品种，在干燥过程中，先通过抽气减压，其中部分溶剂(蓝色发光层溶剂)上升后通过溶剂分离板后排出干燥室，其余溶剂(绿色发光层溶剂、红色发光层溶剂)被溶剂分离板阻挡，其余溶剂在之后排出干燥室。如此，蓝色发光层溶剂被优先抽出干燥室，干燥室留存较多的绿色发光层溶剂和红色发光层溶剂，后续再抽出干燥室，相比传统的减压干燥方式，能够减少蓝色发光层溶剂对绿色发光器件和红色发光器件的发光效率造成不利影响。

技术特征：

1.一种干燥装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述溶剂分离板具有分子筛层，所述分子筛层的材料为硅铝酸盐。

3.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述承载平台与所述溶剂分离板之间的距离为2cm～5cm。

4.如权利要求1所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥室具有至少一个第一抽气口，所述第一抽气口开设于所述干燥室的顶部。

5.如权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括第一抽气机构，所述第一抽气机构与所述第一抽气口连通。

6.如权利要求4所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥室具有至少一个第二抽气口，所述第二抽气口位于所述承载平台的下方。

7.如权利要求6所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括第二抽气机构，所述第二抽气机构与所述第二抽气口连通。

8.如权利要求7所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括控制机构，所述控制机构与所述第一抽气机构、所述第二抽气机构电性连接，在减压干燥过程中，所述控制机构先控制所述第一抽气机构开启，并控制所述第一抽气机构抽气第一预设时长后，所述控制机构控制所述第二抽气机构开启，并控制第二抽气机构抽气第二预设时长。

9.如权利要求1～8中任一项所述的干燥装置，其特征在于，所述干燥装置还包括升降机构，所述升降机构包括升降驱动部件以及支撑部件，所述支撑部件活动连接于所述承载平台，所述升降驱动部件连接于所述支撑部件，以用于驱动所述支撑部件上升突出于所述承载平台的上表面或退回。

10.一种干燥方法，其特征在于，使用权利要求1～9中任一项所述的，所述干燥方法包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及一种干燥装置及干燥方法，干燥装置包括干燥室、承载平台以及溶剂分离板。承载平台设置在干燥室内，承载平台用于承载待干燥基板；溶剂分离板，设置在干燥室内，溶剂分离板位于承载平台的上方，溶剂分离板用于分离溶剂。上述干燥装置通过在干燥室内设置承载平台，用于承载待干燥基板，通过在承载平台上方设置溶剂分离板，溶剂分离板仅允许部分溶剂分子透过，以在减压干燥过程中，实现部分溶剂被优先抽出干燥室，避免对基板上的发光层造成不利影响，该部分溶剂被抽出后，再抽出其余的溶剂，实现基板的干燥。相比传统的减压干燥方式，能够减少蓝色发光层溶剂对绿色发光器件和红色发光器件的发光效率造成不利影响。

技术研发人员：柳开郎,孙贤文,付东
受保护的技术使用者：广东聚华印刷显示技术有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/3/12