匀胶工艺演示装置的制作方法

文档序号:34129008发布日期:2023-05-11 23:37阅读:72来源:国知局
技术简介:
本专利针对传统芯片制作工艺教学中匀胶过程难以直观演示的问题,提出一种构造简单的匀胶工艺演示装置。通过滴胶头模型与载片台模型结合视频播放模块,模拟光刻胶滴落、旋转扩散及干燥过程,实现虚实结合的教学演示,提升教学效果。装置采用模型与动态视频结合方式,降低设备要求,适用于展厅等多场景教学。
关键词:匀胶工艺,演示装置

本技术涉及一种匀胶工艺演示装置。


背景技术:

1、目前,针对芯片制作工艺的了解和学习主要依靠书本内容、视频动画、教师口头讲解等方式,教学效果一般,学生难以直观的了解芯片制作的流程。

2、在芯片制作流程中,匀胶是重要的一个环节,典型的匀胶过程包括滴胶、高速旋转以及干燥几个步骤。滴胶这一步把光刻胶滴注到基片表面上,通过高速旋转把光刻胶铺展到基片上形成薄层,干燥这一步出去胶层中多余的溶剂。

3、中国发明专利申请公开了一种ic制造虚拟仿真教学平台(cn111724282a),其通过语音、图片、动画、视频、虚拟交互等表现形式生动展示ic(即芯片)制造工艺流程、制造方法、生产设备操作过程,具有较好的教学演示效果。然而该专利方案实际实施时对教学设备要求较高,同时教学时需要花费较多时间,适合配置在教室环境中使用,并不适用于展厅等场所使用。


技术实现思路

1、针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种匀胶工艺演示装置,构造简单,能够用于芯片制作工艺中匀胶步骤的教学演示用途,具有较好的教学效果。

2、本实用新型提供了一种匀胶工艺演示装置,包括有设置在上方的滴胶头模型、设置在下方的载片台模型,载片台模型包括有视频播放模块,所述视频播放模块用于播放持续转动的图像,该持续旋转的图像用于模拟光刻胶向四周旋转扩散。

3、进一步地,所述载片台模型包括有基座,所述视频播放模块包括有设置在基座的上端的显示屏,所述基座的上端罩设有透明外罩。

4、进一步地,所述基座为圆柱形,所述基座上端设置有圆形的凹坑,所述显示屏为圆形并嵌装固定在所述凹坑中。

5、进一步地,所述透明外罩为拱形。

6、进一步地,所述凹坑的底部设置有容置槽。

7、进一步地,所述图像为多个呈放射状分布设置的弧形线条组成,多个弧形线条的内端连接在一起,多个弧形线条的外端朝四周方向延伸设置。

8、进一步地,包括有展示架,所述展示架包括有容置槽、设置在容置槽槽口处的透明展示窗,所述滴胶头模型固定在容置槽的内侧壁或顶内壁上,所述载片台模型固定在容置槽的底内壁上。

9、本实用新型的有益效果是:滴胶头模型用于模拟现实中滴落光刻胶的滴胶头,载片台模型用于模拟固定基片以及驱动基片旋转的平台,通过视频播放的方式模拟光刻胶在旋转的同时向四周扩散。本实用新型的演示装置用于模拟芯片制作工艺中的匀胶过程,采用模型、视频相结合的方式,不仅构造简单、成本较低,虚实结合,能够提高教学效果。



技术特征:

1.一种匀胶工艺演示装置,其特征在于:包括有设置在上方的滴胶头模型、设置在下方的载片台模型,载片台模型包括有视频播放模块,所述视频播放模块用于播放持续转动的图像,该持续旋转的图像用于模拟光刻胶向四周旋转扩散。

2.根据权利要求1所述的匀胶工艺演示装置,其特征在于:所述载片台模型包括有基座,所述视频播放模块包括有设置在基座的上端的显示屏,所述基座的上端罩设有透明外罩。

3.根据权利要求2所述的匀胶工艺演示装置,其特征在于:所述基座为圆柱形,所述基座上端设置有圆形的凹坑,所述显示屏为圆形并嵌装固定在所述凹坑中。

4.根据权利要求3所述的匀胶工艺演示装置,其特征在于:所述透明外罩为拱形。

5.根据权利要求3所述的匀胶工艺演示装置,其特征在于:所述凹坑的底部设置有容置槽。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的匀胶工艺演示装置,其特征在于:包括有展示架,所述展示架包括有容置槽、设置在容置槽槽口处的透明展示窗,所述滴胶头模型固定在容置槽的内侧壁或顶内壁上,所述载片台模型固定在容置槽的底内壁上。


技术总结
本技术公开了一种匀胶工艺演示装置,包括有设置在上方的滴胶头模型、设置在下方的载片台模型,载片台模型包括有视频播放模块,所述视频播放模块用于播放旋转的并且呈放射状的图像。本技术构造简单,能够用于芯片制作工艺中匀胶步骤的教学演示用途,具有较好的教学效果。

技术研发人员:梅良中,科迪·瞿,夏静,朱善岳,陈俊健,李先波,李建军
受保护的技术使用者:浙江三和科教仪器有限公司
技术研发日:20220929
技术公布日:2024/1/12
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