专利名称：光刻用防尘薄膜组件以及其制造方法
技术领域：
本发明涉及光刻用防尘薄膜组件的光掩模粘着剂，进一步涉及防尘薄膜组件粘着剂的成形形状。
背景技术：
LS I ,超L S I等的半导体制造或者液晶表不板等的制造中，半导体晶片或者液晶用原版用光照射，从而进行图案制作。在所述场合使用的曝光原版(光刻用光掩模)如有灰有尘为附着，所述灰尘会吸收光，从而使光弯曲，这不仅会使转印的图案变形，边沿不齐，还会使基地变黑，发生尺寸、品质、外观以及完成后的部件机能等受损的问题。由此，上述的作业，通常在无尘室中进行，但是即使在无尘室内，要保持曝光原版总是清净也是很难的，所以一般采取在曝光原版的表面贴附挡住灰尘，且使曝光用光良好通过的防尘薄膜组件的方法。在所述场合，灰尘不在曝光原版的表面上直接附着，而是在防尘薄膜上附着，如此只要在光刻时将焦点对准曝光原版的图案，防尘薄膜上的灰尘与转印就无关系了。防尘薄膜组件的基本的构成如图1，图2所示。是将使曝光用光良好透过的硝酸纤维素、醋酸纤维素以及氟类聚合物等构成的透明的防尘薄膜3贴附于下述防尘薄膜组件框架上，即在由实施了黑色氧化膜处理的A 7075, A 6061以及A 5052等的铝合金、不锈钢以及聚乙烯等形成的防尘薄膜组件框架I上，或者在铝以及其他的金属上进行了涂装以及涂布的防尘薄膜组件框架I等的上端将防尘薄膜的良溶媒进行涂布，风干后进行接着(专利文献I参照)，或用丙烯酸树脂、环氧树脂以及氟树脂等的接着剂2进行接着(专利文献2，专利文献3参照)，进一步，在防尘薄膜组件框架I的下端，为了安装曝光原版，使用聚丁烯、聚醋酸乙烯基酯、丙烯酸树脂或者硅氧烷树脂等形成的粘着財层4，另外为了保护粘着剂层，设有光掩模粘着剂保护用衬层5。先行技术文献专利文献专利文献I特开昭58- 219023号公报专利文献2美国专利第4861402号说明书专利文献3特公昭63- 27707号公报防尘薄膜组件是，以将光掩模基板的表面形成的图案领域进行包围的形式进行设置的。防尘薄膜组件是为了防止光掩模基板上有灰尘为附着而设置的，所以所述图案领域和防尘薄膜组件外部，被分隔开，由此使防尘薄膜组件外部的灰尘不在图案面上附着。近年，L S I的设计规则，正向小于四分之一的细微化前进，与此相伴随，曝光源的短波长化正在前进。即，从至今为至为主流的水银灯的g线(436 nm)以及I线(35 nm)，变为Kr F准分子激光(248 nm), A r F准分子激光(193 n m)，F 2激光(157 n m)等。由于这样的曝光的短波长化的进行，随之曝光所持的能量变高。在高能量的光被使用的场合，与以往的那样的波长的光相比，曝光氛围气中存在的气体状物质进行反应，在光掩模基板上有反应生成物生成的可能性就会大幅度变高。由此，采取了将无尘室内的气体状物质极力减低，光掩模的洗净严格进行以及将防尘薄膜组件的构成物质发生气体的问题排除等的对策。特别是防尘薄膜组件，在光掩模基板上进行直接贴附使用的场合，要求从防尘薄膜组件构成材料，即从有机材料形成的光掩模接着剂、防尘薄膜接着剂以及内壁涂布剂等发生的气体要少，从而可以得到改善。但是，光掩模基板上发生的所谓的「雾」的云状异物，即使进行光掩模的洗净以及防尘薄膜组件构成材料的低发生气体化，也不能完全杜绝，其成为半导体制造中的成品率变差的原因。另一方面，近年光掩模上形成的图案的领域变广，由于要高效地对光掩模面进行利用而进行光刻，曝光时光会照到防尘薄膜组件近傍。由此，如曝光时防尘薄膜组件的光掩模接着剂就会从防尘薄膜组件框架向内侧膨出，此时曝光光以及或其散射光如碰到光掩模接着剂，就会有气体发生，发生的臭氧等的气体就会对光掩模接着剂产生热损害，气体的发生，会有可能使光掩模接着剂的机能变差。即使使光掩模接着剂的低发生气体化，如果关键的光掩模接着剂膨出，这些改良不仅会变得无用，根据场合，会对光掩模造成伤害，发生大的损害。作为所述那样的问题发生的原因，为防尘薄膜组件在光掩模上贴附时，要加以高压力，从而贴附于防尘薄膜组件。这是由于介于光掩模接着剂将防尘薄膜组件在光掩模上进行贴附，如不加以充分的荷重，就会在光掩模和光掩模接着剂之间形成气体通道，由此，使光掩模的图案面与外部环境隔离的本来的机能就会有失去的可能。如施加如此高的贴附压力，加压时，光掩模接着剂就会发生显著的变形，如此，光掩模接着剂就会在框架内侧膨出。本发明就是，鉴于所述的情况，而得到的。本发明的目的是提供一种对光掩模接着剂的成形形状进行了调整的光刻用防尘薄膜组件以及其制造方法。根据该方法，在将防尘薄膜组件在光掩模上贴附时，即使加压，光掩模接着剂也不会向防尘薄膜组件的内侧膨出。
发明内容
上述本发明的目的，可以有下述技术方案来达到。一种光刻用防尘薄膜组件，包括(图1参照)防尘薄膜(3)、使所述防尘薄膜绷紧设置的防尘薄膜组件框架(1)、在所述防尘薄膜组件框架的一个端面上形成的防尘薄膜贴附用的接着剂层(2)、与所述防尘薄膜贴附用接着剂层相反侧的端面上形成的光掩模粘着剂层(4)，其特征在于所述光掩模粘着剂层(4)的截面为矩形或梯形，上端具有平坦面，并且，所述光掩模粘着剂层的侧面与框架面的角α为90°以下。本发明中的粘着剂层的侧面与框架面形成的角，如图3例示的那样，被叫做接着剂层的截面形状中的梯形的底角，也略称为侧壁面角。接着剂层的截面形为梯形的理由，将参照图6后述。本发明中，截面形状的矩形或梯形，不要求为几何学上的严密的梯形以及矩形，只要是梯形类似形状以及矩形的类似形状即可。
为了易于与附图进行对照，将附图参照符合加以括号进行记述，但是本发明的构造并不限制为附图。发明的效果本发明的防尘薄膜组件框架的一端上形成的光掩模接着剂的成形形状为，所述侧壁面与框架面的角度为90°以下，由此可以防止光掩模粘着剂从防尘薄膜组件框架的膨出，使其在光刻工程的曝光光或其散射光中的暴露为最小，从而可以防止雾发生的原因的气体的产生，以及光掩模接着剂的老化的问题。
图1表示防尘薄膜组件的基本的构成的截面说明图。图2表示防尘薄膜组件的基本构成的全体斜视说明图。图3表示防尘薄膜组件框架上形成的光掩模接着剂层与侧壁面角度α的示意说明图。图4防尘薄膜组件框架的上端面宽和光掩模接着剂层的侧壁面角度的优选关系曲线。图5表示防尘薄膜组件框架的上端面宽和光掩模接着剂的涂布量相对值的关系的曲线。图6说明光掩模接着用粘着材料的成形的示意图。
具体实施例方式本发明人进行了研究的结果，得知在粘着剂层形成时，粘着剂的侧壁面与框架面形成的角度要在90°以下，由此可以防止在防尘薄膜组件加压贴合时的膨出，从而完成了本发明。本发明的主要内容为，防尘薄膜组件的光掩模接着剂层的侧壁面和框架面形成的角度为90°以下，由此就可以防止防尘薄膜组件在光掩模上进行贴附时，光掩模接着剂膨出，从而带来的种种的问题。如果仅仅着眼于防止光掩模接着剂的膨出，侧壁面和框架面的角度越小越好，但是过小会使接着强度变差。因此，在没有膨出的危险的范围内，又可以得到充分的接着强度的条件为「90°以下」的这一构成使本发明具有新颖性和创造性。以下，参照附图，对本发明进行进一步详细说明。本发明的防尘薄膜组件，如图1所示，防尘薄膜组件框架I的上端面介于防尘薄膜贴附用接着剂层2绷紧设置有防尘薄膜3，所述场合，通常，在下端面形成光掩模接着用粘着剂(光掩模接着剂)层4，所述光掩模接着用粘着剂层4的下端面可以剥离地贴附有衬层5。另外，防尘薄膜组件框架的上下两端面的角优选被切角。切角而成的面(以下称为C面)的尺寸为O. 2-0. 4 mm。这些防尘薄膜组件构成部件的大小为，与通常的防尘薄膜组件，例如半导体光刻用防尘薄膜组件，大型液晶表示板制造光刻工程用防尘薄膜组件等相同，另外，其材质也可以使用所述的公知的材料。如对所述点进一步详述的话，防尘薄膜的种类没有特别是限制，例如，以往准分子激光使用的，非晶质氟聚合物等可以被使用。非晶质氟聚合物，可以例举，CYTOP (旭硝子(株)制商品名)，特氟隆A F (杜邦(株)制商品名)等。这些聚合物，在所述防尘薄膜制作时根据必要，可以溶解于溶媒而使用，例如氟类溶媒等适宜于溶解。本发明中使用的，防尘薄膜组件框架的基础材料，可以使用以往使用的铝合金材，优选J I S A 7075，JISA 6061，JISA 5052材等。铝合金材以外的树脂，玻璃等，只要可以确保防尘薄膜组件框架的强度，就没有特别的限制。防尘薄膜组件框架的4个的侧面都可以形成通气口(图示省略)。所述通气口的尺寸，形状没有特别的限制，可以根据通气口设置的除尘用过滤器的灰尘过滤尺寸，过滤面积，或者通气量来进行所述尺寸，形状的适宜选择即可。本发明使用的除尘用过滤器，只要是可以在所述通气口部分设置，其形状，个数，场所没有特别的限制。除尘用过滤器的材质，可以例举树脂(P T FE，尼龙66等)，金属(316 L不锈钢等)，陶瓷(氧化铝，氮化铝等)等。另外，所述除尘用过滤器的外侧部分，优选对环境中的化学物质有吸附以及分解功能的化学过滤器。作为防尘薄膜接着用接着剂，可以使用以往使用之物，例如，丙烯酸树脂接着剂，环氧树脂接着剂，硅氧烷树脂接着剂，含氟硅氧烷树脂接着剂等的氟聚合物等，其中以氟类聚合物为宜。作为氟类聚合物，具体地说，可以例举氟类高分子聚合物· C T X 809(旭硝子(株)制商品名)。作为光掩模接着用粘着剂，可以例举硅氧烷树脂粘着剂，丙烯酸类粘着剂，SEBS (聚苯乙烯-聚(乙烯-丁烯)_聚苯乙烯)为首的热熔性类粘着剂等。只要具有适宜的接着强度，在曝光中没有发生气体的问题等，就没有特别的限制。这些粘着剂层，在框架的一个端面涂布后，将与框架端面相反侧进行平坦面成型加工。方法是涂布后将粘着剂加压而成形。作为具体例，从吐出喷嘴将粘着剂溶液吐出，在喷嘴的尖端有液珠形成后，使吐出喷嘴与框架端面接触，此后使喷嘴沿着框架移动。框架全周都均一进行粘着剂涂布后，如是热固化型粘着剂的情况，进行加热处理，半固化时对粘着剂表面加压，进行平坦化处理。另外，如是热熔性粘着剂的场合，涂布固化后再一边进行加热，一边加压使其平坦化。图3为，防尘薄膜组件框架上成形的光掩模接着用粘着材料的截面形状的示意图。(A)为侧壁面角度(如下述)为90°的场合。(B)为侧壁面角度为60°的场合。(C)为侧壁面角度为45°的场合。为了读图的方便，与上述图1不同，为上下逆转。侧壁面角度(光掩模粘着剂层的侧面与框架面的角)α，依据粘着剂涂布量的变化可以改变。图4为光掩模粘着剂层的截面形状中的上端面宽和侧壁面角度的关系的表示图，
图5为上端面宽和涂布体积的关系示例图。图6为光掩模粘着剂层成形的场合的粘着材料量和侧壁面角度α的关系示意图。(图的上段参照)防尘薄膜组件框架I的下端面上光掩模粘着剂4被涂布。(Α I)为粘着材料的量为比较多的场合。(C I)为粘着材料的量为比较少的场合。(B I)为粘着材料的量为上述两者的中间的场合。光掩模接着用粘着剂层的厚度尺寸为按规定值(本例中O. 4 mm)成形。(A I参照)使防尘薄膜组件框架I的下端面涂布的光掩模粘着剂4与成形夹具面P相对，如向下方推压，就会变为(A 2)那样,厚度为O. 4 mm。 成形的粘着剂层4的截面形状几乎为梯形。图示的角α相当于侧壁面角度，本例(A 2)中为约60°。所述图6 (A 2)与上述图3 (B)对应如图6 (C I)表示的那样，如粘着材料的量太少，(C 2)的那样成形的侧壁面角
度α就会变小。如图6 (B I)所述的那样，粘着材料的量为中等，(B 2)那样成形的侧壁面角度α为中等。所述(B 2)与上述的图3 (C)几乎是对应的。本发明的防尘薄膜组件，用通常的方法在防尘薄膜组件框架的上端面介于防尘薄膜贴附用接着剂层将防尘薄膜绷紧设置，另外，通常，在下端面形成光掩模贴附用接着剂层，在所述光掩模贴附用接着剂层的下端面可以剥离地设置离型层(衬层)，从而完成制造。在此，防尘薄膜组件框架上端面形成的防尘薄膜贴附用接着剂层，根据必要，用溶媒稀释，在防尘薄膜组件框架上端面涂布，加热干燥固化而形成。在该场合，接着剂的涂布方法，为毛刷涂布，喷雾涂布，自动液体分配器涂布等的方法。本发明使用的，光掩模接着用粘着剂保护用衬层，对材质没有特别的限制。例如，可以使用P E Τ，P TFEjPFA, P Ε，P C，二氯乙烷，P P等。实施例1以下，对实施例对(4个例子)以及比较例(3个例子)进行描述。7个例为，在同一尺寸的防尘薄膜组件框架上使光掩模粘着剂层形成，在同一尺寸的光掩模基板上贴附，同一条件进行曝光照射后，对异物发生的有无进行检查，在每个例子中都使「粘着剂层的侧面与框架面的角α」变化。实施例(4例)以及比较例(3例)中的主要的作业条件，以及检查结果列于表I。「实施例1 首先,作为防尘薄膜组件框架,准备框架外尺寸149 mm X 122 mm Χ5. 8 mm,框架厚度2 mm，两端面的C面尺寸为C :0. 2 mm A 7075 — T 651的铝合金制框架。所述框架的一侧面中央I处设置直径O. 5 mm的通气孔。将所述框架，在表面洗净后，用玻璃珠，以吐出压约147kPa(l. 5kg/cm2)的喷沙装置进行I分钟表面处理，使表面粗糙化。接着将所述框架，在N a O H处理浴中进行10秒钟洗净处理的后，在形成电压10 V(l. 3 A)，14%硫酸水溶液中，液温18°C，进行阳极氧化。
接着，进行黑色染色，封孔处理，在表面形成黑色氧化膜。此后，进行5分钟的超纯水和超音波洗净装置的洗净。接着，在所述框架的内面用喷雾涂布装置，进行丙烯酸类粘着剂10μ m涂布。接着，在所述的通气口，设置材质为P T F E，灰尘过滤尺寸为O.1 μ m-3. 0μm ,过滤能力为99. 9999%的宽8 mm,高2. 5 mm,厚度300 μ m的过滤器。过滤器为，在除尘用的过滤器部和所述外侧具有化学过滤器。接着,将特氟隆A F 1600 (美国杜邦公司制商品名)溶解于氟类溶剂KluorinertF C - 75 (美国3M公司制商品名)中，调制浓度8%的溶液。接着，用所述溶液，在直径250 mm，厚度600μ m的镜面研磨了的硅氧烷基板面上，用旋转涂布机，形成膜的厚度为O. 83 μ m的透明膜。 接着,在所述膜上将外尺寸200 mm X 200 mm X 5 mm宽,厚度5mm的框用环氧类接着剂· Aralditerapid (昭和高分子(株)制商品名)进行接着，从基板面剥离。接着，在所述的那样准备的铝合金制框架的一个端面上进行丙烯酸类粘着剂的涂布。所述场合，增加涂布量，则侧壁面角度增加，涂布量减少侧壁面角度减少，由此，来进行侧壁面角度的控制。对涂布量进行设定(涂布体积比10. 94)，使粘着剂层厚度为O.4 mm,端面宽1. 4 mm,侧壁面角度45°。将所述框架在100°C，3分加热，进行予固化。用具有在表面形成离型层的，可以将半固化的粘着剂层制成面平坦度 ο μ m的加压板的加压装置进行加压，使粘着剂的表面平坦，得到的粘着剂的粘着剂层的侧壁面角度为45°，端面宽为1. 4 mm。(表I的实施例I的栏参照)另外，在所述铝合金制框架的另一端面上，用氟类溶媒· C T S0LVE180 (旭硝子(株)制商品名)稀释的氟类高分子聚合物*c T X 809 (旭硝子(株)制商品名)涂布，100°C下进行10分加热，干燥固化。然后，将P E T制衬层单独准备，用带有C C D照相机图像处理位置决定机构的衬层贴附装置将其贴合在光掩模接着用粘着剂上。接着，在与准备的特氟隆A F 1600 (前述)的膜表面上密着后，用I R灯对框架进行加热，使框架和膜融着。两个框架，使防尘薄膜组件框架的接着面朝上，用固定用的夹具进行安装固定，不使其相对位置错动。接着，将防尘薄膜组件框架外侧的框拉起固定，给予防尘薄膜组件框架外侧的膜部以约O. 5 N / m(0. 5 g / c m)的张力。接着，用管式液体分配器一边将氟类溶剂dluorinert F C 75(杜邦公司制商品名)每分10微升的速度滴下，一边沿着所述防尘薄膜组件框架的接着剂部分的周边部，将安装在SCARA机器人上的刀一边移动，一边将防尘薄膜组件框架外侧的不要膜部分切除。将完成的防尘薄膜组件进行洗净，使表面残存酸成分的浓度为Ippb以下，将所述防尘薄膜组件在形成C r测试图案的石英玻璃制6英寸光掩模基板上贴附。接着，将所述框架安装在A r F准分子激光扫描仪·Ν S R S 306 C (株式会公司尼康制，商品名)上，在光掩模面上以曝光强度O. 01mJ/cm2/pul se,反复频率4000 H z，进行照射，直至达到500 J / c m 2的照射量。在照射的6英寸光掩模上，用激光异物检查装置进行观察，在测试图案部以及玻璃部分没有发现雾(haze)以及异物。「实施例2]首先,作为防尘薄膜组件框架,准备框架外尺寸149 mm X 122 mm X5. 8 mm,框架厚度2 mm，两端面的C面尺寸为C :0. 2 mm的A 7075 — T 651的铝合金制框架。在所述框架的一侧面中央的一处设置直径O. 5 mm的通气孔。将所述框架，表面洗净后，用玻璃珠，在吐出压约147 k P a (1. 5 k g / c m 2) 的喷沙装置中进行I分钟表面处理，表面粗糙化的。接着，所述框架在N a O H处理浴中进行10秒钟洗净处理后，在形成电压10 V (1. 3 A)，14%硫酸水溶液，液温18°C中进行阳极氧化。接着，黑色染色，封孔处理，在表面使黑色的氧化膜形成。此后，同时进行5分钟超纯水和超音波洗净装置的洗净。接着，在所述框架的内面用喷雾涂布装置，将硅氧烷类粘着剂K R— 3700 (信越化学工业(株)制商品名)涂布10 μ m。接着，在所述的通气口，设置材质为P T F E，灰尘过滤尺寸为O.1 μ m-3. 0μm ,过滤能力99. 9999%的，宽8 mm,高2. 5 mm,厚度300 μ m的过滤器。过滤器为，具有除尘用的过滤器部和所述外侧的化学过滤器的结构。接着,将特氟隆A F 1600 (美国杜邦公司制商品名)在氟类溶剂· fluorinert FC- 75 (美国3M公司制商品名)中溶解，浓度8%的溶液被调制。接着，用所述溶液，在直径250 mm，厚度600 μ m的镜面研磨的硅氧烷基板面上，用旋转涂布机形成膜厚为O. 83 μ m的透明膜。接着,在所述膜上，将外尺寸200 mm X200 mm X5 mm宽,厚度5 mm的框用环氧类接着剂· Aralditerapid (昭和高分子(株)制，商品名)接着，从基板面剥离。接着，如所述准备的铝合金制框架的一端面将硅氧烷类粘着剂K R— 3700(信越化学工业(株)制商品名)涂布。进行涂布量的设定(涂布体积比O. 96)，使粘着剂层厚度为O. 4 mm,端面宽1. 49 mm,侧壁面角度60°。所述框架在100°C进行3分加热，进行予固化。使半固化的粘着剂层的面平坦度为10μ m，将表面用具有形成有离型层的加压板的加压装置进行加压，粘着剂表面平坦地形成。得到的粘着剂层的侧壁面角度为60°，端面宽为1. 49 mm。另外，在所述铝合金制框架的另一个端面上，将在氟类溶媒· C T SOLVE 180(旭硝子(株)制商品名)稀释的氟类高分子聚合物c T X (旭硝子(株)制商品名)涂布，100°C，10分钟加热干燥固化。然后，将另外准备P E T制衬层，用具有C C D照相机图像处理位置决定机构成的衬层贴附装置贴附在光掩模接着剂上。接着，使其与准备的特氟隆A F 1600 (上述)的膜表面紧密附着后，用I R灯对框架进行加热，使框架和膜融着。两个的框架，使防尘薄膜组件框架的接着面朝上，安装在固定用的夹具上，进行固定，使其相对的位置不发生偏离。接着，将防尘薄膜组件框架外侧的框拉起固定，向防尘薄膜组件框架外侧的膜部施加O. 5N/m(/ Cm)的张力。接着，在管式液体分配器一边将氟类溶剂· fluorinert F C 75 (杜邦公司制商品名)以每分10微升的速度滴下，一边沿着所述防尘薄膜组件框架的接着剂部分的周边部将安装在SCARA机器人上的刀一边移动，将防尘薄膜组件框架外侧的不要膜部分切除。将完成的防尘薄膜组件贴附于表面残存酸成分的浓度为Ippb以下条件下洗净的，形成有c r测试图案的石英玻璃制6英寸光掩模基板上。接着将所述框架安装在A r F准分子激光扫描仪·Ν S R S 306 C (株式会公司尼康制商品名)上，在光掩模面上曝光强度为O. 01mJ/cm2/puls e ,反复频率4000 H z进行光照射，直至500 J / c m 2的照射量为止。对照射的6英寸光掩模上的观察用激光异物检查装置进行，测试图案部，玻璃部分都没有雾以及异物的发生。设定涂布体积比为O. 94。「实施例3]接着，用与所述的实施例2同样的框架，用与实施例2同样的工程，使粘着剂的涂布量改变，设定涂布量(涂布体积比O. 98)使粘着剂层厚度为O. 4 mm，端面宽1. 55 mm，侧壁面角度75°，形成的粘着剂层的侧壁面角度为76°。设定值75°和实测值76°的误差鉴于实验目的，是容许的。操作继续，用安装于A r F准分子激光扫描仪· N S R S 306 C (株式会公司尼康制商品名)，以光掩模面上曝光强度O. 01 m J / c m2 / P u I Se，反复频率4000 H z进行照射，直至500 J / c
m 2的照射量。照射的6英寸光掩模上的观察用激光异物检查装置进行，测试图案部，玻璃部分都没有雾，以及异物的发生。「实施例41进一步，为了确认本发明中的容许限度的侧壁面角度为90°，用与实施例3同样的框架，与实施例3同样的工程，改变粘着剂的涂布量，进行涂布量的设定(涂布体积比1.0)，使粘着剂层厚度为O. 4 mm，端面宽I mm，侧壁面角度90°。安装于在A r F准分子激光扫描仪· N S R S 306 C (株式会社尼康制商品名)，光掩模面上曝光强度O. 01mJ/cm2/pulse ,反复频率4000 H z进行照射，照射直至500 J / c m照射2量。用激光异物检查装置对照射的6英寸光掩模进行观察，测试图案部，玻璃部分都没有雾以及异物的发生。以本发明中的侧壁面角度的限界值为90°为目标，在上述实施例中，从更小的角度(45° )向着90°靠近。比较例中以90°为目标，从更大的角度(135° )进行接近。首先,作为防尘薄膜组件框架,准备框架外尺寸149 mm X 122 mm X5. 8 mm,框架厚度2 mm，两端面的C面尺寸C :0. 2 mm的A 7075 — T 651的铝合金制框架。所述框架的一侧面中央一处设置直径O. 5 mm的通气孔。将所述框架，表面洗净后，使用玻璃珠，以吐出压约147 k P a (1. 5 k g / c m2)的喷沙装置，进行I分钟表面处理，表面粗糙化。接着将所述框架在N a O H处理浴中进行10秒钟洗净处理的后，在形成电压10 V (1. 3 A)，用14%硫酸水溶液，在液温18°C中，进行阳极氧化。接着，黑色染色，封孔处理，在表面上形成黑色的氧化膜。此后，进行5分钟的同时用超纯水和超音波洗净装置洗净。接着，在所述框架的内面用喷雾涂布装置，进行硅氧烷类粘着剂K R— 3700 (信越化学工业(株)制商品名)10 μ m的涂布。接着，在所述的通气口，设置材质为P T F E，灰尘过滤尺寸为O.1 μ m-3. 0μm ,过滤能力为99. 9999%的，宽8 mm,高2. 5 mm,厚度300 μ m的过滤器。过滤器具有为除尘用的过滤器部，所述外侧有化学过滤器。
接着,使特氟隆A F 1600 (美国杜邦公司制商品名)在氟类溶剂· fluorinert FC- 75 (美国3M公司制，商品名)中溶解，得到浓度8%的溶液。接着，用所述溶液，在直径250 mm，厚度600 μ m的镜面研磨的硅氧烷基板面上，用旋转涂布机形成膜的厚度为O. 83 μ m的透明膜。接着,在所述膜上，将外尺寸200 mm X200 mm X5 mm宽，厚度5 mm的框，用环氧类接着剂· Aralditerapid (昭和高分子(株)制商品名)接着，从基板面剥离。接着，在如所述那样准备的铝合金制框架的一个端面用丙烯酸类粘着剂涂布。涂布量为设定体积比1. 06倍，使端面宽为1. 8 mm，侧壁面角度为135°。将所述框架在100°C进行3分加热，使其予固化。使半固化的粘着剂层成为面平坦度10μ m，用具有在表面形成了离型层的加压板的加压装置进行加压，使粘着剂表面平坦。得到的粘着剂层的侧壁面角度为135°，端面宽为1. 8 mm。在所述铝合金制框架的別的一端面上，用在氟类溶媒· C T SOLVE 180 (旭硝子(株)制商品名)稀释的氟类高分子聚合物· c T X (旭硝子(株)制商品名)进行涂布，IOO0C进行10分加热，干燥固化。然后，准备P E T制衬层，用具有C C D照相机图像处理位置决定机构的衬层贴附装置将衬层贴合于光掩模接着剂。接着，在准备的特氟隆A F 1600 (上述)的膜表面紧密附着后，用I R灯对框架进行加热，使框架和膜融着。两个框架为，使防尘薄膜组件框架的接着面朝上，安装在固定用的夹具上，进行固定，使它们的相对的位置不发生错位。接着，将防尘薄膜组件框架外侧的框拉起固定，给与防尘薄膜组件框架外侧的膜部约O. 5 N / m(0. 5 g / cm)的张力。接着用安装在SCARA机器人上刀，一边用管式液体分配器，将氟类溶剂· fluorinert F C 75 (杜邦公司制商品名)以每分10微升的速度滴下,一边沿着所述防尘薄膜组件框架的接着剂部分的周边部移动刀，将防尘薄膜组件框架外侧的不要膜部分切除。将完成的防尘薄膜组件，在表面残存酸成分的浓度为Ippb以下的形成条件下进行洗净的，有C r测试图案形成的石英玻璃制6英寸光掩模基板上贴附。接着，将所述框架，装载在A r F准分子激光扫描仪*NSR S 306 C (株式会社尼康制商品名)，在使光掩模面上曝光强度0. OlmJ / c m2 / P u I s e，在反复频率4000 H z的条件下，进行照射，直至500 J / c m 2的照射量。用激光异物检查装置，对照射了的6英寸光掩模进行观察，测试图案中央部没有确认到有雾以及异物的发生，但是，在框架近傍的图案部分确认到雾的发生。将所述框架用激光拉曼分光分析装置进行分析，得知为烃类化合物。所述烃类化合物为，丙烯酸类粘着剂分解生成之物(推定)。「比较例21接着,作为防尘薄膜组件框架,准备框架外尺寸149 mm X 122 mm X5. 8 mm,框架厚度2mm，两端面的C面尺寸为C :0. 2 mm和的A 7075 — T 651的铝合金制框架。所述框架的一侧面中央一处设置直径O. 5 mm的通气孔。将所述框架表面洗净的后，使用玻璃珠，吐出压约147 k P a (1. 5 k g / c m2)的喷沙装置进行I分钟表面处理，表面粗糙化。接着将所述框架在N a OH处理浴中，进行10秒钟洗净处理的后，在形成电压10 V (1. 3 A)下，14%硫酸水溶液，液温18°C中进行阳极氧化。接着，进行黑色染色，封孔处理，表面黑色的氧化被膜形成。此后，5分钟超纯水和超音波洗净装置的并用洗净。 接着，在所述框架的内面用喷雾涂布装置，进行硅氧烷类粘着剂K R— 3700 (信越化学工业(株)制商品名)10 μ m涂布。接着，在所述的通气口，设置材质为P T F E，灰尘过滤尺寸为O.1 μ m-3. 0μm ,过滤能力99. 9999%,宽8 mm,高2. 5 mm,厚度300 μ m的过滤器。过滤器具有除尘用的过滤器部，所述外侧具有化学过滤器。接着,将特氟隆A F 1600 (美国杜邦公司制商品名)溶解在氟类溶剂-fluorinertF C - 75 (美国3M公司制商品名)得到浓度8%的溶液。接着，将所述溶液，在直径250 mm，厚度600 μ m的镜面研磨的硅氧烷基板面上，用旋转涂布机形成膜的厚度为O. 83 μ m的透明膜。接着,在所述膜上，外尺寸200 mm X200 mm X5 mm宽,厚度5 mm的框,用环氧类接着剂· Aralditerapid (昭和高分子(株)制商品名)进行接着，然后从基板面上剥离的。接着，所述那样准备的铝合金制框架的一端面用丙烯酸类粘着剂进行涂布的。涂布量，设定为体积比1. 04,使端面宽1. 72 mm，侧壁角度120°。将所述框架在100°C，3分加热进行予固化。使半固化的粘着剂层的面平坦度10 μm，在表面上，用具有可以形成离型层的加压板加压装置，加压粘着剂表面平坦地形成。得到的粘着剂层的侧壁面角度为121°，端面宽为1. 72 mm。设定值120°和实测值121°的误差鉴于实验目是容许的，操作继续。所述铝合金制框架的别的一端面上，将氟类溶媒· C T SOLVE 180 (旭硝子(株)制商品名)稀释的氟类高分子聚合物· 0 7乂(旭硝子(株)制商品名)涂布，1001，进行10分钟加热，干燥固化。然后，P E T制衬层准备，用带有C C D照相机图像处理位置决定机构的衬层贴附装置将其贴附于光掩模接着剂上。接着，在与准备的特氟隆A F 1600 (上述)的膜表面密着后，用I R灯对框架进行加热，使框架和膜融着。两个的框架，将防尘薄膜组件框架的接着面朝上，安装到固定用的夹具夹具上，固定使它们的相对位置不发生错位。接着，将防尘薄膜组件框架外侧的框拉起固定，给与防尘薄膜组件框架外侧的膜部O. 5 N / m(0. 5 g / c m)的张力。接着，用安装在SCARA机器人上的刀，在一边用管式液体分配器将氟类溶剂· fluorinert F C 75 (杜邦公司制商品名)以每分10微升速度滴下,一边将刀沿着所述防尘薄膜组件框架的接着剂部分的周边部使刀移动，将防尘薄膜组件框架外侧的不要膜部分切除。将完成的防尘薄膜组件进行洗净，使表面残存酸成分的浓度为Ippb以下，将其贴附于形成c r测试图案形成的石英玻璃制6英寸光掩模基板。接着将所述框架安装在A r F准分子激光扫描仪·Ν S R S 306 C (株式会公司尼康制商品名)上，在光掩模面上曝光强度为在O. 01mJ/cm2/pul s e,反复频率4000 H z，进行照射，直至照射量为500 J / cm2。照射的6英寸光掩模上的观察用激光异物检查装置进行，测试图案中央部没有确认到有雾，异物的发生，但是框架近傍的图案部分，雾的发生被确认。所述框架用激光拉曼分光分析装置进行分析，得知为烃类化合物。所述烃类化合物为丙烯酸类粘着剂分解而生成之物。
通过以上的实验，粘着剂层的侧壁面角度为135°以及121°中，雾的发生被确认。进一步，为了确认接近侧壁面角度的限界值90°的状态，进行了比较例I。「比较例1 作为防尘薄膜组件框架，准备框架外尺寸149 mm X 122 mm X5. 8 mm,框架厚度2 mm，两端面的C面尺寸(C :0. 2 mm)的A 7075 — T 651的铝合金制框架。所述框架的一侧面中央一处设置有直径O. 5 mm的通气孔。将所述框架，表面洗净的后，使用玻璃珠，吐出压约147 k P a (1. 5 k g / cm2)的喷沙装置，进行I分钟表面处理，表面粗糙化。接着将所述框架，在N a O H处理浴中，进行10秒钟洗净处理的后，在形成电压10 V (1. 3 A)，14%硫酸水溶液，液温18°C中进行阳极氧化。接着，黑色染色，封孔处理，表面有黑色的氧化被膜形成。此后，进行5分钟的并用超纯水和超音波洗净装置。接着，在所述框架的内面用喷雾涂布装置，将硅氧烷类粘着剂K R— 3700 (信越化学工业(株)制商品名)进行10 μ m涂布。接着，所述的通气口，设置材质为P T F E，灰尘过滤尺寸为O. 1μ m-3. 0μ m,过滤能力99. 9999%的，宽8 mm，高2. 5 mm，厚度300 μ m的过滤器。过滤器具有除尘用的过滤器部和在所述外侧具有化学过滤器。接着,将特氟隆A F 1600 (美国杜邦公司制商品名)溶解于氟类溶剂^fluorinertF C - 75 (美国3M公司制商品名)，得到浓度8%的溶液。接着，用所述溶液，在直径250 mm，厚度600 μ m的镜研磨的硅氧烷基板面上，用旋转涂布机形成膜的厚度为O. 83 μ m的透明膜。接着,在所述膜，将外尺寸200 mm X200 mm X5 mm宽,厚度5 mm的框,用环氧类接着剂· Aralditerapid (昭和高分子(株)制商品名)接着，从基板面上剥离。接着，如所述的那样准备的铝合金制框架的一端面用丙烯酸类粘着剂进行涂布。此时，以体积比1. 02倍的粘着剂进行涂布，使端面宽1. 7 mm，{i壁角度110°。将所述框架在100°C，进行3分加热，进行予固化。半固化的粘着剂层被形成面平坦度10μ m的面，用具有表面形成了离型层的加压板的加压装置进行加压，使粘着剂表面平坦形成。得到的粘着剂层的侧壁面角度为107°，端面宽为1. 66 mm。在所述铝合金制框架的另一个端面上，将氟类溶媒· C T SOLVE 180 (旭硝子(株)制商品名)稀释的氟类高分子聚合物· c T X (旭硝子(株)制商品名)进行涂布，100°C进行10分加热，干燥固化。然后，准备P E T制衬层，用具有C C D照相机图像处理位置决定机的衬层贴附装置贴附在光掩模接着剂上。接着，在与准备的特氟隆A F 1600 (上述)的膜表面密着后，用I R灯对框架进行加热，使框架和膜融着。两个的框架，防尘薄膜组件框架的接着面朝上，安装在固定用的夹具，固定使其 相对的位置不发生错位。接着，将防尘薄膜组件框架外侧的框拉起固定，给予防尘薄膜组件框架外侧的膜部约O. 5N/m(0. 5 g / cm)的张力。接着，一边用管式液体分配器将氟类溶剂· fluorinert F C 75 (杜邦公司制商品名)以每分10微升的速度滴下,一边沿着所述防尘薄膜组件框架的接着剂部分的周边部将SCARA机器人上安装的刀移动，将防尘薄膜组件框架外侧的不要膜部分切断除去。将完成的防尘薄膜组件进行洗净，使表面残存酸成分的浓度为Ippb以下，在形成C r测试图案的石英玻璃制6英寸光掩模基板上进行贴附。接着将所述框架，安装于A r F准分子激光扫描仪· N S R S 306 C (株式会公司尼康制，商品名)，在光掩模面上曝光强度O. OlmJ / c m 2 / P u I s e ,反复频率4000 H z，进行光照射，直至照射量为500 J / c m 2的照射量。用激光异物检查装置对被照射的6英寸光掩模进行观察，测试图案中央部没有确认到有雾以及异物的发生，但是框架近傍的图案部分被确认到有雾的发生。将所述框架用激光拉曼分光分析装置进行分析，得知为烃类化合物。所述烃类化合物为丙烯酸类粘着剂分解生成之物(推定)。表I
权利要求
1.一种光刻用防尘薄膜组件，包括防尘薄膜、将所述防尘薄膜绷紧设置的防尘薄膜组件框架、所述防尘薄膜组件框架的一个端面形成的防尘薄膜贴附用的接着剂层、与所述防尘薄膜贴附用接着剂层相反侧的端面形成的光掩模粘着剂层，其特征在于所述光掩模粘着剂层的截面为矩形或梯形，上端具有平坦面，并且，所述光掩模粘着剂层的侧面与框架面所成的角为90°以下。
2.权利要求1所述的光刻用防尘薄膜组件的制造方法，其特征在于所述光掩模粘着剂层的成形是在粘着剂涂布后在粘着剂的固化途中进行加压而成的。
全文摘要
本发明提供一种防尘薄膜组件,对光掩模接着剂的成形形状进行调整,由此,该防尘薄膜组件在向光掩模贴附时,即使加压，光掩模接着剂4也不会向防尘薄膜组件的内侧膨出。本发明的防尘薄膜组件包括:防尘薄膜3、将防尘薄膜绷紧贴附的防尘薄膜组件框架1、防尘薄膜组件框架的一个端面上形成以便将防尘薄膜进行接着的接着剂2以及在与膜接着剂相反侧的一端面形成的光掩模接着用粘着剂4，所述光掩模接着用粘着剂4的截面形状为矩形为梯形，并且，所述侧壁面与框架面所成的角α为90°以下。
文档编号G03F1/62GK102998898SQ201210333570
公开日2013年3月27日 申请日期2012年9月10日 优先权日2011年9月9日
发明者永田爱彦 申请人:信越化学工业株式会社