技术特征：
1.一种用于对准传感器设备的自参考干涉仪(sri)系统，所述自参考干涉仪(sri)系统包括：第一棱镜，所述第一棱镜具有用于入射束的输入表面；和第二棱镜，所述第二棱镜耦合至所述第一棱镜并且具有用于经重新组合的束的输出表面，其中所述经重新组合的束包括第一图像和相对于所述第一图像被转动180度的第二图像，其中所述第一棱镜和第二棱镜形状相同。2.根据权利要求1所述的sri系统，其中所述第一棱镜和第二棱镜沿分束器界面邻接，所述分束器界面包括偏振涂层。3.根据权利要求2所述的sri系统，其中：所述第一棱镜中的第一反射平面垂直或平行于所述入射束的第一偏振平面；并且所述第二棱镜中的第二反射平面垂直或平行于所述入射束的第二偏振平面。4.根据权利要求1所述的sri系统，其中所述第一棱镜和第二棱镜不包括任何相位补偿涂层。5.根据权利要求1所述的sri系统，其中所述第一棱镜和所述第二棱镜包括一个或更多个相位补偿涂层。6.根据权利要求1所述的sri系统，还包括与所述第一棱镜和第二棱镜邻接且包括分束器界面的矩形分束器棱镜，所述分束器界面包括偏振涂层。7.根据权利要求1所述的sri系统，还包括板，第一棱镜和第二棱镜被支撑在所述板上。8.根据权利要求1所述的sri系统，其中第一光学路径和第二光学路径在所述第一棱镜和第二棱镜内的接触反射点的数目为至多十。9.根据权利要求8所述的sri系统，其中接触反射点的数目为至多八。10.一种用于对准传感器设备的双重自参考干涉仪(dsri)系统，所述双重自参考干涉仪(dsri)系统包括：第一棱镜组件，所述第一棱镜组件具有用于第一入射束和第二入射束的输入表面；和第二棱镜组件，所述第二棱镜组件耦合至所述第一棱镜组件并且具有用于第一经重新组合的束和第二经重新组合的束的输出表面，其中所述第一经重新组合的束包括第一图像和相对于所述第一图像被转动180度的第二图像，其中所述第二经重新组合的束包括第三图像和相对于所述第三图像被转动180度的第四图像，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。11.根据权利要求10所述的dsri系统，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件被设置在板上。12.根据权利要求10所述的dsri系统，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件沿分束器界面邻接，所述分束器界面包括偏振涂层。13.根据权利要求12所述的dsri系统，其中：所述第一棱镜组件中的第一反射平面垂直或平行于所述第一入射束和第二入射束的
第一偏振平面；并且所述第二棱镜组件中的第二反射平面垂直或平行于所述第一入射束和第二入射束的第二偏振平面。14.根据权利要求10所述的dsri系统，还包括与所述第一棱镜组件和第二棱镜组件邻接且包括分束器界面的矩形分束器棱镜，所述分束器界面包括偏振涂层。15.根据权利要求14所述的dsri系统，其中：所述第一棱镜组件中的第一反射平面垂直或平行于所述第一入射束和第二入射束的第一偏振平面；并且所述第二棱镜组件中的第二反射平面垂直或平行于所述第一入射束和第二入射束的第二偏振平面。16.根据权利要求10所述的dsri系统，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件不包括任何相位补偿涂层。17.根据权利要求10所述的dsri系统，其中所述第一棱镜组件和所述第二棱镜包括一个或更多个相位补偿涂层。18.一种光刻设备，包括：第一照射光学系统，所述第一照射光学系统被配置成照射衍射图案；投影光学系统，所述投影光学系统被配置成将所述衍射图案的图像投影到衬底上；以及对准传感器设备，所述对准传感器设备被配置成校正所述光刻设备的对准位置误差，所述对准传感器设备包括：第二照射光学系统，所述第二照射光学系统被配置成沿照射路径传输辐射的至少一个照射束；第一光学系统，所述第一光学系统包括第一光学器件和第二光学器件，并且被配置成朝向所述衬底上的所述衍射图案传输所述照射束并且沿信号路径传输信号束，所述信号束包括从所述衍射图案反射的衍射阶子束；第二光学系统，所述第二光学系统包括第一偏振光学器件，所述第一偏振光学器件被配置成基于所述信号束的偏振将所述信号束分离并且传输到第一偏振光学支路和第二偏振光学支路中；检测器系统，所述检测器系统包括一个或更多个检测器，并且被配置成基于从所述第一偏振支路和所述第二偏振支路所输出的所述信号束来测量所述衍射图案的对准位置；和处理器，所述处理器被耦合至所述检测器系统，并且被配置成测量所述衍射图案的所述对准位置的改变，其中，所述第一偏振光学支路包括第一棱镜组件并且所述第二偏振光学支路包括第二棱镜组件，并且其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。19.根据权利要求18所述的光刻设备，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件与矩形分束器棱镜邻接。20.根据权利要求18所述的光刻设备，其中所述第一棱镜组件和第二棱镜组件不包括任何相位补偿涂层。
技术总结
一种用于对准传感器设备的自参考干涉仪(SRI)系统，包括第一棱镜和第二棱镜。所述第一棱镜具有用于入射束的输入表面。所述第二棱镜被耦合至所述第一棱镜并且具有用于经重新组合的束的输出表面。所述经重新组合的束包括第一图像和相对于所述第一图像被转动180度的第二图像。所述第一棱镜和第二棱镜形状相同。一种用于对准传感器设备的双重自参考干涉仪(DSRI)系统，包括：第一棱镜组件，所述第一棱镜组件具有用于第一入射束和第二入射束的输入表面；和第二棱镜组件，所述第二棱镜组件耦合至所述第一棱镜组件并且具有用于第一经重新组合的束和第二经重新组合的束的输出表面。所述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。
技术研发人员：D
受保护的技术使用者：ASML控股股份有限公司
技术研发日：2020.05.19
技术公布日：2022/1/14