技术特征：
1.一种矩形平顶光斑的发生系统，其特征在于，包括：第一衍射光学元件、第一聚焦元件、第二衍射光学元件和第二聚焦元件，所述第一衍射光学元件为多台阶的刻蚀结构，所述第二衍射光学元件为单台阶的刻蚀结构；其中，所述第一衍射光学元件，用于接受高斯光束的照射，并将所述高斯光束转化为第一匀化方形光斑；所述第一聚焦元件，用于接受所述第一匀化方形光斑的照射，并将所述第一匀化方形光斑转化为平行出射的第二匀化方形光斑；所述第二衍射光学元件，用于接受所述第二匀化方形光斑的照射，并将所述第二匀化方形光斑转化为多个匀化光束；所述第二聚焦元件，用于接受所述多个匀化光束的照射，并将所述多个匀化光束转化为矩形平顶光斑。2.根据权利要求1所述的矩形平顶光斑的发生系统，其特征在于，所述第二衍射光学元件为可替换元件；其中，在所述第二衍射光学元件被替换为另一个结构特征不同的第二衍射光学元件时，所述矩形平顶光斑的长宽比改变。3.根据权利要求2所述的矩形平顶光斑的发生系统，其特征在于，所述第二衍射光学元件包括达曼光栅。4.根据权利要求1所述的矩形平顶光斑的发生系统，其特征在于，所述第二衍射光学元件的位置与所述第二聚焦元件的前焦面的位置匹配，所述矩形平顶光斑的位置与所述第二聚焦元件的焦平面的位置匹配。5.根据权利要求1-4中任一项所述的矩形平顶光斑的发生系统，其特征在于，所述第一聚焦元件的主光轴与所述第二聚焦元件的主光轴位置相同，所述第一衍射光学元件位于第一平面，所述第二衍射光学元件位于第二平面，所述第一平面和所述第二平面均与所述主光轴垂直。6.一种矩形平顶光斑的发生方法，其特征在于，应用于矩形平顶光斑的发生系统，所述发生系统包括：第一衍射光学元件、第一聚焦元件、第二衍射光学元件和第二聚焦元件，所述第一衍射光学元件为多台阶的刻蚀结构，所述第二衍射光学元件为单台阶的刻蚀结构；其中，所述矩形平顶光斑的发生方法包括：所述第一衍射光学元件接受高斯光束的照射，并将所述高斯光束转化为第一匀化方形光斑；所述第一聚焦元件接受所述第一匀化方形光斑的照射，并将所述第一匀化方形光斑转化为平行出射的第二匀化方形光斑；所述第二衍射光学元件接受所述第二匀化方形光斑的照射，并将所述第二匀化方形光斑转化为多个匀化光束；所述第二聚焦元件接受所述多个匀化光束的照射，并将所述多个匀化光束转化为矩形平顶光斑。7.根据权利要求6所述的矩形平顶光斑的发生方法，其特征在于，所述第二衍射光学元件为可替换元件；其中，在所述第二衍射光学元件被替换为另一个结构特征不同的第二衍射光学元件时，所述矩形平顶光斑的长宽比改变。
8.根据权利要求7所述的矩形平顶光斑的发生方法，其特征在于，所述第二衍射光学元件包括达曼光栅。9.一种矩形平顶光斑的发生设备，其特征在于，包括高斯光束生成器、控制器和如权利要求1-5中任一项所述的矩形平顶光斑的发生系统；所述控制器，用于控制所述高斯光束生成器生成高斯光束，并使得所述高斯光束向所述矩形平顶光斑的发生系统照射。
技术总结
本发明的实施例提供了一种矩形平顶光斑的发生系统、方法及设备，该系统包括：第一衍射光学元件、第一聚焦元件、第二衍射光学元件和第二聚焦元件，第一衍射光学元件为多台阶的刻蚀结构，所述第二衍射光学元件为单台阶的刻蚀结构。第一衍射光学元件用于接受高斯光束的照射，并将高斯光束转化为第一匀化方形光斑。第一聚焦元件用于接受第一匀化方形光斑的照射，并将第一匀化方形光斑转化为平行出射的第二匀化方形光斑。第二衍射光学元件用于接受第二匀化方形光斑的照射，并将第二匀化方形光斑转化为多个匀化光束。第二聚焦元件，用于接受多个匀化光束的照射，并将多个匀化光束转化为矩形平顶光斑。该系统能够降低成本和加工难度，提高实用性。提高实用性。提高实用性。
技术研发人员：黄永忠 何刘
受保护的技术使用者：成都莱普科技股份有限公司
技术研发日：2022.10.31
技术公布日：2022/11/29