一种用于干涉仪标准镜的机械结构的制作方法

本技术属于光机领域，涉及干涉仪标准镜结构，具体的说，涉及一种用于干涉仪标准镜的机械结构。

背景技术：

1、在光学检测中，干涉仪在高精度检测上起到了不可或缺的作用，其中能实现高精度测量的关键部件就是标准镜，标准镜按照特定的光路和距离与被测件构成完整的测量系统，因此标准镜的设计决定了测量是否能达到高精度。目前而言，市场上的标准镜虽然有很多，但是仍有很多不足之处，具体为：1.结构不够紧凑，重量过大；2.机械结构不合理导致装配后的多个透镜的同心度不够，标准镜精度不足；所以如何弥补这些不足之处，就成为了提高测量精度的关键。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种用于干涉仪标准镜的机械结构，该机械结构可以将除了标准镜最后一片外的所有透镜全部装在一个镜框内，既可以提高标准镜透镜装配的同心度，还能简化标准镜结构，使标准镜结构更紧凑，重量更轻，满足高精度的干涉仪测量。

2、为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种用于干涉仪标准镜的机械结构，包括镜框、隔圈；其中，所述镜框为两端贯通的桶状结构，镜框的内侧壁在靠近镜框底面的位置设有限位圆环，所述限位圆环的顶面为与标准镜的第二透镜的尺寸匹配的环形面，限位圆环的底面为与标准镜的第三透镜的尺寸匹配的环形面，标准镜的第二透镜安装在限位圆环的顶面，标准镜的第三透镜的顶面安装在限位圆环的底面；所述隔圈设置在镜框内且压装在第二透镜上，标准镜的第一透镜设置在镜框内且压装在隔圈上；所述镜框的外侧壁在与第一透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第一螺纹孔和至少4个第一注胶孔，在与第二透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第二螺纹孔和至少4个第二注胶孔，在与第三透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第三螺纹孔和至少4个第三注胶孔，所述第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝，利用螺丝对第一透镜、第二透镜、第三透镜进行初步固定；所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶，利用胶对第一透镜、第二透镜、第三透镜进行最终固定。

4、作为本实用新型的优选，所述第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔的数量均为四个，四个所述的第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔等间距设置；所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔的数量均为八个，八个所述的第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔等间距设置。

5、作为本实用新型的优选，所述第一螺纹孔与第一注胶孔在同一环线上，且位于第一透镜侧壁的中间；所述第二螺纹孔与第二注胶孔在同一环线上，且位于第二透镜侧壁的中间；所述第三螺纹孔与第三注胶孔在同一环线上，且位于第三透镜侧壁的中间。

6、作为本实用新型的优选，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜从前向后依次设置，且所述第一透镜为凸透镜，凸透镜的顶面为凸面，底面为平面，第一透镜的平面压装在隔圈上；所述第二透镜为凹面镜，凹面镜的顶面和底面均为凹面；所述第三透镜为凸透镜，凸透镜的顶面为凸面，底面为平面，第三透镜的凸面安装在限位圆环的底面。

7、作为本实用新型的优选，所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔的注胶端均设有环形防溢槽。

8、作为本实用新型的优选，所述镜框与限位圆环为一体式结构。

9、本实用新型具有以下优点和积极效果：标准镜的测量精度不仅跟光学系统有关，而且与之对应的机械结构也会影响标准镜的测量精度。本实用新型提供的机械结构利用1个镜框承载了除标准镜最后一片透镜以外的所有透镜，即：将标准镜除了最后一片外的所有透镜全部装在一个镜框内，大大提高了标准镜透镜装配的同心度，减小机械结构对光学中心距离的误差传递，提高标准镜的测量精度。此外，本实用新型提供的机械结构简单，该结构的设计能简化标准镜结构，使标准镜结构更紧凑，重量更轻。

技术特征：

1.一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，包括镜框、隔圈；其中，所述镜框为两端贯通的桶状结构，镜框的内侧壁在靠近镜框底面的位置设有限位圆环，所述限位圆环的顶面为与标准镜的第二透镜的尺寸匹配的环形面，限位圆环的底面为与标准镜的第三透镜的尺寸匹配的环形面，标准镜的第二透镜安装在限位圆环的顶面，标准镜的第三透镜的顶面安装在限位圆环的底面；所述隔圈设置在镜框内且压装在第二透镜上，标准镜的第一透镜设置在镜框内且压装在隔圈上；所述镜框的外侧壁在与第一透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第一螺纹孔和至少4个第一注胶孔，在与第二透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第二螺纹孔和至少4个第二注胶孔，在与第三透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第三螺纹孔和至少4个第三注胶孔，所述第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝，利用螺丝对第一透镜、第二透镜、第三透镜进行初步固定；所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶，利用胶对第一透镜、第二透镜、第三透镜进行最终固定。

2.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，所述第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔的数量均为四个，四个所述的第一螺纹孔、第二螺纹孔、第三螺纹孔等间距设置；所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔的数量均为八个，八个所述的第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔等间距设置。

3.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，所述第一螺纹孔与第一注胶孔在同一环线上，且位于第一透镜侧壁的中间；所述第二螺纹孔与第二注胶孔在同一环线上，且位于第二透镜侧壁的中间；所述第三螺纹孔与第三注胶孔在同一环线上，且位于第三透镜侧壁的中间。

4.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜从前向后依次设置，且所述第一透镜为凸透镜，凸透镜的顶面为凸面，底面为平面，第一透镜的平面压装在隔圈上；所述第二透镜为凹面镜，凹面镜的顶面和底面均为凹面；所述第三透镜为凸透镜，凸透镜的顶面为凸面，底面为平面，第三透镜的凸面安装在限位圆环的底面。

5.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，所述第一注胶孔、第二注胶孔、第三注胶孔的注胶端均设有环形防溢槽。

6.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜的机械结构，其特征在于，所述镜框与限位圆环为一体式结构。

技术总结
本技术涉及一种用于干涉仪标准镜的机械结构，包括镜框、隔圈，镜框为两端贯通的桶状结构，镜框内设有限位圆环，标准镜的第二透镜安装在限位圆环的顶面，标准镜的第三透镜的顶面安装在限位圆环的底面；隔圈设置在镜框内且压装在第二透镜上，标准镜的第一透镜设置在镜框内且压装在隔圈上；镜框的外侧壁在与第一透镜、第二透镜、第三透镜的侧壁相对的位置设置螺纹孔和注胶孔，螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝，利用螺丝透镜进行初步固定；注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶，利用胶透镜进行最终固定。该机械结构可以将除了标准镜最后一片外的所有透镜全部装在一个镜框内，提高标准镜透镜装配的同心度，提高干涉仪测量精度。

技术研发人员：王超慧,田伟,张双翼
受保护的技术使用者：长春盈捷光电科技有限公司
技术研发日：20240326
技术公布日：2024/11/7