一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构的制作方法

文档序号:39919055发布日期:2024-11-08 20:11阅读:23来源:国知局
一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构的制作方法

本技术属于光机领域,涉及干涉仪标准镜结构,具体的说,涉及一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构。


背景技术:

1、在光学检测中,干涉仪在高精度检测上起到了不可或缺的作用,其中能实现高精度测量的关键部件就是标准镜,标准镜按照特定的光路和距离与被测件构成完整的测量系统,因此标准镜的设计决定了测量是否能达到高精度;其中,起关键作用的是标准镜中的参考面(最后一片透镜),因此最终参考面决定了测量的精度,而且参考面的机械结构同样也决定了测量精度。


技术实现思路

1、本实用新型为了提高干涉仪的测量精度,从标准镜参考面的机械结构进行细节优化,提供了一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,该机械结构可以对参考面前面的光学透镜和机械结构带来的误差进行补偿,并能达到最佳的波前值;同时通过对参考面镜框的改进,配以辅助工装后可实现参考面的定心调节,使参考面的偏心和倾斜精度能达到5μm以下,提高标准镜的测量精度。

2、为实现上述目的,本实用新型采用如下技术方案:

3、一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,包括透镜、镜框、第一隔圈、第二隔圈;其中,所述透镜为凸透镜,是干涉仪标准镜中的最后一片镜片;所述镜框在靠近第一隔圈端的内侧壁沿镜框的周向设有挡圈,透镜安装在镜框内,且凸面设置在镜框的挡圈上,镜框的外侧壁在与透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第一螺纹孔和至少4个注胶孔,所述第一螺纹孔和注胶孔沿镜框的径向设置,镜框的侧壁上沿镜框的轴向还设置至少3个第二螺纹孔;所述第一螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝,利用螺丝进行初步固定,所述第二螺纹孔用于在定心调试时通过螺丝与辅助工装同轴连接,所述注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶,利用胶对透镜进行最终固定;所述第一隔圈设置在镜框的左侧,靠近标准镜前端的光学透镜;所述第二隔圈设置在镜框的右侧,远离标准镜前端的光学透镜,第一隔圈、第二隔圈均与镜框对接,第一隔圈用于补偿标准镜前端的光学透镜和机械结构加工或装配的误差,第二隔圈的外侧壁设有外螺纹,通过螺纹的方式与标准镜的总镜筒连接,并将标准镜的所有光学透镜固定在标准镜的总镜筒内。

4、作为本实用新型的优选,所述第一隔圈在紧邻标准镜前端的光学透镜端设有左防护补偿倒角,在另一端设有右防护倒角,所述左防护补偿倒角用于在装配标准镜时,通过车削或研磨左防护补偿倒角的方式来补偿标准镜前端的光学透镜和机械结构加工或装配的误差。

5、作为本实用新型的优选,所述第二隔圈在远离参考面端的内侧壁加工有由内向外口径逐渐变大的锥形槽,所述锥形槽内用于放置测量用凸面镜。

6、作为本实用新型的优选,所述第一螺纹孔与注胶孔在同一环线上,且位于透镜侧壁的中间,所述注胶孔的注胶端均设有环形防溢槽。

7、作为本实用新型的优选,所述第一隔圈的侧壁上沿第一隔圈的轴向设置至少2个第三螺纹孔,第二隔圈的侧壁上沿第二隔圈的轴向设置至少2个第四螺纹孔。

8、作为本实用新型的优选,所述辅助工装为桶型结构,辅助工装的底面安装在定心仪上,辅助工装的顶面加工有通孔,所述通孔的周围在与镜框的第二螺纹孔相对的设置加工有螺纹孔,所述镜框通过螺丝固定在辅助工装的顶面,安装在镜框挡圈上的透镜的凸面伸入辅助工装的通孔内与定心仪连通。

9、作为本实用新型的优选,所述镜框与挡圈为一体式结构。

10、作为本实用新型的优选,所述左防护补偿倒角大于右防护倒角。

11、本实用新型具有以下优点和积极效果:

12、(1)本实用新型提供的机械结构在镜框的左侧设置第一隔圈,第一隔圈的左侧设有左防护补偿倒角,在装配标准镜时,通过车削或研磨左防护补偿倒角可以对参考面前面的光学透镜和机械结构带来的误差进行补偿,达到最佳的波前值。

13、(2)本实用新型提供的机械结构在镜框的侧壁设置第一螺纹孔、注胶孔、第二螺纹孔,上述三个孔的设置在配以辅助工装后,可以实现镜框与定向仪的连接,实现对参考面镜片的定心调节,使参考面的偏心和倾斜精度能达到5μm以下,提高标准镜的测量精度。

14、(3)本实用新型提供的机械结构在隔圈和镜框的轴心均设置螺纹孔,标准镜装配时,能更好的将隔圈和镜框放入和拿出总镜筒,避免剐蹭镜片。

15、(4)本实用新型提供的机械结构在第二隔圈的内侧壁加工锥形槽,锥形槽的设置可以增大测量的口径,同时使测量用凸面镜靠近参考面,使标准镜可以对曲率较小口径较大的凸面进行测量。



技术特征:

1.一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,包括透镜、镜框、第一隔圈、第二隔圈;其中,所述透镜为凸透镜,是干涉仪标准镜中的最后一片镜片;所述镜框在靠近第一隔圈端的内侧壁沿镜框的周向设有挡圈,透镜安装在镜框内,且凸面设置在镜框的挡圈上,镜框的外侧壁在与透镜的侧壁相对的位置间隔设置至少3个第一螺纹孔和至少4个注胶孔,所述第一螺纹孔和注胶孔沿镜框的径向设置,镜框的侧壁上沿镜框的轴向还设置至少3个第二螺纹孔;所述第一螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝,利用螺丝进行初步固定,所述第二螺纹孔用于在定心调试时通过螺丝与辅助工装同轴连接,所述注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶,利用胶对透镜进行最终固定;所述第一隔圈设置在镜框的左侧,靠近标准镜前端的光学透镜;所述第二隔圈设置在镜框的右侧,远离标准镜前端的光学透镜,第一隔圈、第二隔圈均与镜框对接,第一隔圈用于补偿标准镜前端的光学透镜和机械结构加工或装配的误差,第二隔圈的外侧壁设有外螺纹,通过螺纹的方式与标准镜的总镜筒连接,并将标准镜的所有光学透镜固定在标准镜的总镜筒内。

2.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述第一隔圈在紧邻标准镜前端的光学透镜端设有左防护补偿倒角,在另一端设有右防护倒角,所述左防护补偿倒角用于在装配标准镜时,通过车削或研磨左防护补偿倒角的方式来补偿标准镜前端的光学透镜和机械结构加工或装配的误差。

3.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述第二隔圈在远离参考面端的内侧壁加工有由内向外口径逐渐变大的锥形槽,所述锥形槽内用于放置测量用凸面镜。

4.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述第一螺纹孔与注胶孔在同一环线上,且位于透镜侧壁的中间,所述注胶孔的注胶端均设有环形防溢槽。

5.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述第一隔圈的侧壁上沿第一隔圈的轴向设置至少2个第三螺纹孔,第二隔圈的侧壁上沿第二隔圈的轴向设置至少2个第四螺纹孔。

6.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述辅助工装为桶型结构,辅助工装的底面安装在定心仪上,辅助工装的顶面加工有通孔,所述通孔的周围在与镜框的第二螺纹孔相对的设置加工有螺纹孔,所述镜框通过螺丝固定在辅助工装的顶面,安装在镜框挡圈上的透镜的凸面伸入辅助工装的通孔内与定心仪连通。

7.根据权利要求1所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述镜框与挡圈为一体式结构。

8.根据权利要求2所述的一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,其特征在于,所述左防护补偿倒角大于右防护倒角。


技术总结
本技术涉及一种用于干涉仪标准镜参考面的机械结构,包括透镜、镜框、第一隔圈、第二隔圈;其中镜框的外侧壁沿径向设置第一螺纹孔、注胶孔,沿轴向设置第二螺纹孔;第一螺纹孔用于在装配透镜时旋入螺丝,利用螺丝进行初步固定,第二螺纹孔用于在定心调试时通过螺丝与辅助工装同轴连接,注胶孔用于在装配并经定心仪精调后注入胶,利用胶对透镜进行最终固定;第一隔圈设置在镜框的左侧,第二隔圈设置在镜框的右侧,第一隔圈用于补偿加工或装配误差,第二隔圈与标准镜的总镜筒连接。该机械结构可以对参考面前面的光学透镜和机械结构带来的误差进行补偿,达到最佳的波前值;同时可实现参考面的定心调节,提高标准镜的测量精度。

技术研发人员:田伟,张双翼,王超慧
受保护的技术使用者:长春盈捷光电科技有限公司
技术研发日:20240412
技术公布日:2024/11/7
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