1.一种感光性树脂组合物,其含有:
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其还含有树脂d,所述树脂d具有聚合性基团且具有2个以上的选自任选被保护的羧基及羧酸酯基中的2个基团通过连结链长2~4的连结基团连结的结构即结构a,并且为聚酰亚胺前驱体或聚苯并噁唑前驱体。
3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,
4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,
5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其含有包含下述式(1-2)所表示的重复单元的树脂作为所述树脂a,
6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,
7.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,
8.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物,其中,
9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,
10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,
11.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其还含有树脂c,所述树脂c为包含下述式(4-1)或下述式(4-2)所表示的重复单元且不属于树脂a的树脂,
12.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其含有1个大气压下的沸点为100℃~260℃的溶剂。
13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,其中,
14.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,其含有2种以上的所述沸点为100℃~260℃的溶剂。
15.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其用于形成再配线层用层间绝缘膜。
16.一种固化物,其为将权利要求1或2所述的感光性树脂组合物固化而成的固化物。
17.一种层叠体,其包含2层以上的由权利要求16所述的固化物形成的层,在由所述固化物形成的层彼此的任意层之间包含金属层。
18.一种固化物的制造方法,其包括:
19.根据权利要求18所述的固化物的制造方法,其包括:
20.根据权利要求18所述的固化物的制造方法,其包括:
21.一种层叠体的制造方法,其包括权利要求18所述的固化物的制造方法。
22.一种半导体器件的制造方法,其包括权利要求18所述的固化物的制造方法。
23.一种半导体器件,其包含权利要求16所述的固化物。