感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、半导体器件的制造方法及半导体器件与流程

文档序号:45159418发布日期:2026-04-07 20:53阅读:14来源:国知局
技术特征:

1.一种感光性树脂组合物,其含有:

2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物,其还含有树脂d,所述树脂d具有聚合性基团且具有2个以上的选自任选被保护的羧基及羧酸酯基中的2个基团通过连结链长2~4的连结基团连结的结构即结构a,并且为聚酰亚胺前驱体或聚苯并噁唑前驱体。

3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,

4.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,

5.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其含有包含下述式(1-2)所表示的重复单元的树脂作为所述树脂a,

6.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,

7.根据权利要求5所述的感光性树脂组合物,其中,

8.根据权利要求6所述的感光性树脂组合物,其中,

9.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,

10.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,

11.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其还含有树脂c,所述树脂c为包含下述式(4-1)或下述式(4-2)所表示的重复单元且不属于树脂a的树脂,

12.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其含有1个大气压下的沸点为100℃~260℃的溶剂。

13.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,其中,

14.根据权利要求12所述的感光性树脂组合物,其含有2种以上的所述沸点为100℃~260℃的溶剂。

15.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其用于形成再配线层用层间绝缘膜。

16.一种固化物,其为将权利要求1或2所述的感光性树脂组合物固化而成的固化物。

17.一种层叠体,其包含2层以上的由权利要求16所述的固化物形成的层,在由所述固化物形成的层彼此的任意层之间包含金属层。

18.一种固化物的制造方法,其包括:

19.根据权利要求18所述的固化物的制造方法,其包括:

20.根据权利要求18所述的固化物的制造方法,其包括:

21.一种层叠体的制造方法,其包括权利要求18所述的固化物的制造方法。

22.一种半导体器件的制造方法,其包括权利要求18所述的固化物的制造方法。

23.一种半导体器件,其包含权利要求16所述的固化物。


技术总结
一种感光性树脂组合物、将上述组合物固化而成的固化物、包含固化物的层叠体、固化物的制造方法、层叠体的制造方法、包括固化物的制造方法的半导体器件的制造方法及包含固化物的半导体器件,上述感光性树脂组合物含有:树脂A,其包含具有烯属不饱和键的基团且具有2个以上的选自可以被保护的羧基及羧酸酯基中的2个基团通过连结链长2~4的连结基团连结的结构即结构A,并且为聚酰亚胺或聚苯并噁唑;以及化合物B,其具有2个以上的可以被保护的氨基且分子量为2,000以下。

技术研发人员:野崎敦靖
受保护的技术使用者:富士胶片株式会社
技术研发日:
技术公布日:2026/4/6
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