湿式显影辅助晃动机构的制作方法
【专利说明】湿式显影辅助晃动机构
[技术领域]
[0001] 本实用新型设及湿式显影设备技术领域，具体地说是一种湿式显影辅助晃动机 构。
[【背景技术】]
[0002] 在Lm)制程中，显影是不可或缺的技术。目前常用的显影方式有:①整盒娃片浸没 式显影（Batch Development),该方式显影液消耗很大，显影均匀性差；②连续喷雾显影 (Continuous Spray Development)/自动方定牵专显影(Auto-rotation Development)，该方式 通过一个或多个喷嘴喷洒显影液在娃片表面，同时娃片低速旋转（100~50化pm)，喷嘴喷雾 模式和娃片旋转速度是实现娃片间溶解率和均匀性的可重复性的关键调节参数;③水坑 (旋覆浸没)式显影(Puddle Development),即喷覆足够(不能太多，最小化背面湿度）的显 影液到娃片表面，并形成水坑形状(显影液的流动保持较低，W减少边缘显影速率的变化）， 娃片固定或慢慢旋转，一般采用多次旋覆显影液:第一次涂覆、保持10~30秒、去除，第二次 涂覆、保持、去除，然后用去离子水冲洗(去除娃片两面的所有化学品）并旋转甩干。该方案 优点是显影液用量少，娃片显影均匀，最小化了溫度梯度。
[0003] 显影工艺可能存在S个问题：①显影不完全（Incomplete Development)，表面还 残留有光刻胶，运是由显影液不足造成的。②显影不够化nder Development)，显影的侧壁 不垂直，运是由显影时间不足造成的。③过度显影(Over Development)，靠近表面的光刻胶 被显影液过度溶解，形成台阶，运是因显影时间太长造成的。
[0004] 在当前的L抓行业，整盒娃片浸没式显影(Batch Development)因其高效率、低成 本的优势依然占据较大的市场。作为设备制造商，为了提高整盒娃片浸没式显影(Batch Development)的显影均匀性，避免显影不完全或过显影，提出了各种方式，比如采用循环制 程槽、超声波辅助、上下振荡机构辅助等，并将之应用于机台，通过物理力的辅助，取得了较 显著的效果。但目前常用的辅助方式比较如下表1:
[【实用新型内容】]
[0007] 本实用新型的目的就是要解决上述的不足而提供一种湿式显影辅助晃动机构，使 每一片晶圆在显影液中W可调的速率W及可调的运动半径做匀速圆周运动，W辅助的物理 力使周围的显影液流场均匀可控，提高了显影均匀性和显影速率，避免了显影不够或过度 显影情况的出现。
[0008] 为实现上述目的设计一种湿式显影辅助晃动机构，包括安装吊轴1、不诱钢外壳2 和载具3,所述安装吊轴1固定连接在不诱钢外壳2顶端，所述不诱钢外壳2内部装有伺服电 机4和减速机5，所述减速机5的输出端连接有传动齿轮6，所述传动齿轮6的输出端连接转轴 7,所述转轴7的另一端装有摇臂8,所述摇臂8固定连接在载具3上，所述载具3上设有用于放 置晶圆9的花篮10。
[0009] 所述传动齿轮6包括主动齿轮W及位于主动齿轮左右两侧的从动齿轮，所述主动 齿轮与从动齿轮晒合连接，所述从动齿轮上穿设有转轴7,所述主动齿轮、从动齿轮均为树 脂齿轮。
[0010] 所述不诱钢外壳2上减速机5的输出端处设有位置传感器，所述位置传感器通过线 路连接伺服电机4和减速机5。
[0011] 所述花篮10下方设有制程槽11，所述制程槽11内盛有显影液，所述花篮10浸没于 显影液中。
[0012] 所述摇臂8与载具3之间设置有连接板12。
[OOU]所述安装吊轴1采用PFA包覆。
[0014]所述载具3、传动齿轮6、转轴7、摇臂8、连接板12均采用NPP或PTFE材质制成。
[001引所述制程槽11采用NPP材质制成，所述花篮10采用PFA材质制成。
[0016]所述不诱钢外壳2采用SUS304材质制成，所述不诱钢外壳2表面喷涂有PTFE层。
[0017]所述不诱钢夕愤2采用PP材质制成。
[0018] 本实用新型同现有技术相比，结构新颖、简单，设计合理，通过将安装吊轴固定连 接在不诱钢外壳顶端，在不诱钢外壳内部装有伺服电机和减速机，减速机的输出端连接有 传动齿轮，传动齿轮通过转轴带动摇臂，并将摇臂固定连接在放置有晶圆的载具上，从而使 每一片晶圆在显影液中W可调的速率W及可调的运动半径做匀速圆周运动，W辅助的物理 力使周围的显影液流场均匀可控，提高了显影均匀性和显影速率，避免了显影不够或过度 显影情况的出现;此外，本实用新型所述的晃动机构组装简单、成本较低、对不同的工艺及 制程均有较好的适用性，提高了显影均匀性，效果显著，很大程度上降低了返工率和操作人 员的工作强度，提高了生产效率。
[【附图说明】]
[0019] 图1是本实用新型的分解示意图；
[0020] 图2是本实用新型的整体结构示意图；
[0021] 图中：1、安装吊轴2、不诱钢外壳3、载具4、伺服电机5、减速机6、传动齿轮7、 转轴8、摇臂9、晶圆10、花篮11、制程槽12、连接板。
[【具体实施方式】]
[0022] 下面结合附图对本实用新型作W下进一步说明：
[0023] 如附图所示，本实用新型包括:安装吊轴1、不诱钢外壳2和载具3,安装吊轴1固定 连接在不诱钢外壳2顶端，不诱钢外壳2内部装有伺服电机4和减速机5,减速机5的输出端连 接有传动齿轮6,传动齿轮6的输出端连接转轴7,转轴7的另一端装有摇臂8,摇臂8固定连接 在载具3上，摇臂8与载具3之间设置有连接板12,载具3上设有用于放置晶圆9的花篮10,花 篮10下方设有制程槽11，制程槽11内盛有显影液，花篮10浸没于显影液中。其中，传动齿轮6 包括主动齿轮W及位于主动齿轮左右两侧的从动齿轮，主动齿轮与从动齿轮晒合连接，从 动齿轮上穿设有转轴