电灯和在该灯上沉积层的方法

专利名称：电灯和在该灯上沉积层的方法
技术领域：
本发明涉及一种包括干涉薄膜的电灯，本发明还涉及一种在电灯上沉积材料层的方法。
背景技术：
这种灯具体是具有白炽光源的白炽灯.此外，电灯还可以是放电灯， 其中在工作时，孤光放电作为光源。这种电灯例如用于汽牟应用中，例 如用作(面素或放电)头灯，在工作中，其发出黄光作为指示灯(也称 为"车辆信号灯")中的琥珀色光源或作为制动灯中的红色光源.这种 电灯也用于常规的照明用途。所述的电灯还用于交通和方向信号、轮廓 照明、交通信号灯、投射照明和纤维光学照明。这种电灯的可选择的实 施方式包括其中通过适当的干涉薄膜改变色温和/或在灯管中含有红外 核射的灯。干涉薄膜反射和/或允许通过源自电磁波频谦的不同部分的辐射，例 如紫外光、可见光和/或红外光。通常提供这种干涉薄膜作为在电灯(的 灯管)和/或反射体上的涂层。一般地，采用两种灯管。 一种灯管包括所谓的"双端"灯管，其具 有设置成相互对置的第一和第二端部，在双端灯中，供电导体分别通过 第一和笫二端部电连接到从灯管传出的光源上。另一电灯类型包括所谓 的"单端"灯，其仅具有单个端部。在单端灯中，供电导体通过端部电 连接到从灯管传出的光源上。在弯曲基板上为形成涂层的材料沉积是^^知的，例如用于制备电 灯。在灯的制备中，具体的灯包括密封的发光灯管，该发光灯管中设置 了光源(即，灯燃烧器)，通常在至少部分灯燃烧器的表面上沉积一种 或多种材料以形成涂层是适合的，例如，公知的在灯管的表面上沉积材 料以形成红外线反射、紫外线反射、热反射材料和可见光详辐射的反射 干涉薄膜。干涉薄膜可以以常规方法进行制备，例如通过气相沉积(PVD:物理 气相沉积)或通过(交流或直流)(反应)溅射的方法，或通过浸清涂 敷或喷涂工艺的方法，或通过LP-CVD(低压化学气相沉积)、PE-CVD(等
离子体增强CVD)或PI-CVD (等离子体脉冲化学气相沉积)的方法.在公开的章节中所迷类型的电灯从EP-A0986083中可以知道.公知 的电灯具有局部厚度不同的千涉过滤涂层以确保在所有点上发射相同的 光分量。公知的电灯包括白炽灯和灯管，该白炽灯具有梨形灯管和干涉 过滤涂层，该千涉过滤涂层沿着连接旋转对称轴的交叉点的灯管的最短 线上具有一个厚度，该灯管在锥形管部上有点，其厚度在该锥形管部的 线性终点上从最小值向最大值稳定地增加。在公知的灯上设计干涉薄膜时，假设光源是点源.这是公知的电灯 的缺点.发明内容本发明的目的是提供一种其中消除了所述缺点的电灯。根据本发 明，为此目的在开始段中所迷类型的电灯包括 包括弯曲管部的发光灯管， 设置在弯曲管部中具有纵向光源轴的细长光源， 具有光学千涉薄膜的至少部分弯曲管部， 包括多个交替的高和低折射率层的干涉薄膜， 在弯曲管部上的千涉薄膜的厚度局部不同，该干涉薄膜在基本上平行于光源轴的弯曲管部上的位置处的厚度大 于在弯曲管部的其它位置处的厚度。在灯管中由光源发出的光击中了在多个角度上的弯曲管部.所谓的 在表面上光射线的"入射角"通常以垂直于表面进行测量。考虑到光源 的延伸性的弯曲管部的形状和几何结构很大程度地决定了在弯曲管部的 某个点上期望什么样的入射角。在基本上平行于光源轴的弯曲管部的位 置上，入射角的变化通常基本上大于在弯曲管部的其它位置的变化。入 射角分布的变化对干涉薄膜的性能有影响.通常地讲，如果在表面上的 光的入射角接近O。(也称为"垂直入射")，那么根据其设计的厚度干 涉薄膜起作用.如果入射角增加(也称为"非垂直入射")，那么干涉 薄膜看起来更薄并且千涉薄膜的光学性能也改变.通过实例的方法，这 会导致彩色效应、红外线反射率减小和/或干涉薄膜的边缘波长移动，这 种效应是不合需要的。具体地，所述效应对于大于20°的入射角来说变得 最为重要。千涉薄膜在非垂直入射时"表现地"更薄的结果在基本上平行于光源轴的弯曲管部的位置上是最为重要的。根振本发明，特別是通过在基 本上平行于光源轴的弯曲管部的位置上增加厚度，非垂直入射的影响有 效地被抵消了。如此，根据本发明在电灯中考虑了在灯管的弯曲管部中 的光源的延伸性.光源延伸性的影响具体地在比其它位置处非垂直入射 的影响更重要的位置上得到了补偿.考虑到运动学倒置，千涉薄膜也可以在弯曲管部的位置上被制备地 更薄，同时干涉薄膜的整体厚度在其它位置增加，其中该弯曲管部的位 置相对远离于基本上平行于光源轴的弯曲管部的位置。干涉薄膜的局部 变薄伴随着干涉薄膜的整体厚度的增加。根据本发明电灯的优选实施方式的特征在于灯管为细长形并具有纵向管轴，该管轴基本上与光源重合，干涉薄膜的厚度在临近弯曲管部 的位置上局部变厚，在该位置上平面与弯曲管部交叉，其中该平面基本 上垂直于光源轴以及包括光源的几何结构中心.电灯的该优选实施方式具体地与所谓的双端灯相关，这种双端灯的特征在于电灯具有设置为 相互对置的第一和笫二端部，供电导体分别通过第一和笫二端部电连接 到从灯管传出的光源上.双端灯的几何结构包括在其中设置细长的光源的弯曲管部，以4吏得 在弯曲管部的中间部，入射角环绕地角度范围大于在接近灯的端部的位 置上的角度范围，在该位置上入射角更限定为垂直入射.为了补偿由于 这种较宽的入射角范闺引起的非垂直入射对干涉薄膜的影响，制备干涉 薄腹的厚度在靠近弯曲管部处更厚，在该处基本上垂直于光源轴并包括 光源的几何中心的平面与弯曲管部交叉。在双端灯的情况下，制备的干 涉薄膜在闺绕弯曲管部的中央部分的带中的厚度大于在弯曲管部远离该 中心带的位置上的厚度，根据本发明电灯的另一优选实施方式的特征在于灯管为细长形并具 有纵向管轴，该管轴基本上与光源垂直，千涉薄膜的厚度在临近弯曲管 部的位置上局部变厚，在该位置上含有基本上垂直于光源轴的线和与弯 曲管部交叉的管轴.电灯的该优选实施方式具体地与所谓的单端灯相 关。这种单端灯的特征在于电灯具有单一的端部，供电导体通过端部 电连接到从灯管传出的光源上。单端灯的几何结构包括在其中设置细长的光源的弯曲管部，以使得 在弯曲管部的某个位置上，相比在基本上垂直于这些位置的其它位置上，光源更接近弯曲管部的壁部。在光源更接近弯曲管部的壁部的弯曲 管部的位置上，入射角的分布比在弯曲管部的光源相对远离弯曲管部的 壁部的位置上的分布小，在这些远离的位置上，入射角的分布相对大， 从而导致干涉薄膜呈现比根据干涉薄膜的物理厚度更薄的不合需要的影 响。通过在光源相对远离弯曲管部的壁部的位置上局部增加干涉薄膜的 厚度，非垂直入射的影响可以得到补偿。优逸地，在干涉薄膜的整体厚度中局部厚度变化为至少3%.本发明还涉及一种在基板(灯管)上沉积材料层以形成涂层的方法， 以及探寻用于灯的制备中，其中在灯燃烧器的至少部分表面上形成涂 层.该方法通常涉及例如齒素灯和放电灯的灯的制备.在这些方法中， 通常优选将沉积在灯管表面的材料形成涂层，该涂层在围绕灯管周围的 整个涂敷表面上具有均一的物理性能.由此，在任何一部分灯管表面上能相同。通过使得每;灯管围绕其纵向或管轴旋转，同时在灯燃烧器的 选择部分的表面上沉积一种或多种材料以形成涂层，在灯燃烧器的周闺 的每一部分沉积的一种或多种材料都均匀地沉积在每个灯燃烧器的周围，从而在整个涂敷的灯燃烧器的表面上形成了物理性能均一的涂层。 本发明的目的在于提供一种新颖的涂敷方法以在灯管封装阵列上形成均 一的涂层，在此在灯管的预定位置上的干涉薄膜的厚度通过控制的方法 为局部不同。根据本发明，为此目的在开始段中所述的方法包括如下步使得灯管移动越过一种或多种沉积材料源并同时沿着其管轴旋转灯管，局部遮蔽灯管以局部减少在灯管上沉积材料的厚度， 遮蔽装置被设置在临近灯管处并以与灯管基本上相同的速度旋转， 通过以相同的速度旋转遮蔽装置，干涉薄膜在灯管上的厚度可以以 受控制的方式被局部改变，根据本发明该方法的优选实施方式的特征在于灯管为细长形并具 有纵向管轴，具有纵向光源轴的细长的光源祐:设置在灯管中，光源轴基本上与管轴垂直，以及其中遮蔽装置被设置在临近管部的位置上，在此 光源轴与弯曲管部交叉.优选地，电灯是具有单一端部的单端灯，供电 导体通过该端部与从灯管传出的光源电连接， 参照以下描述的实施方式的描述，本发明的这些和其它特点将变得 显而易见。附闺说明困la是根据本发明含有双端灯管的电灯实施方式的側视困；图lb是如困la示出的双端灯管的橫截面困；闺lc是如闺la和lb示出的双端灯管的透视困；图2a是根据本发明含有单端灯管的电灯实施方式的側视困；图2b是如图2a示出的电灯的橫截面困，示出了垂直于管轴的平面，以及该平面包括光源；图2c是如困2a和2b示出的单端灯管的透视闺；图3a是在沉积材料层的过程中单端灯管的透视困；图3b是如图3a示出的电灯的橫截面图，示出了垂直于管轴的平面，以及该平面包括光源；附图
仅是示意性的，没有按比例示出。具体地为了表示清楚，特别放大了一些尺寸。在附图中，相同的附闺标记表示任何可能的相同部分。
具体实施方式
图la是根据本发明含有双端灯管1的电灯实施方式的側视图。该灯 具有发光灯管1,例如石英玻璃，其包括弯曲管部11,该弯曲管部11以 气密方式被密封并且容纳具有纵向光源轴22的细长光源2。在闺la的实 施例中，光源2是(螺旋形)钨丝白炽体，在可选择的实施方式中，两 个电极设置在灯管中，工作时在该两个电极之间维持孤光放电，困la中 示出的双端灯管1具有设置在弯曲管部11的相对端的第一端部16和笫 二端部17,供电导体18、 19通过第一和第二端部16、 17电连接到从灯 管1传出的光源2上.图la中的灯管l安装在外灯泡14中，外灯泡14 被电连接供电导体18、 19的灯帽24支撑，在图la的实施例中，灯管l 为细长形并具有纵向管轴33。在图la中管轴33基本上与光源轴22重 合。弯曲管部11的外表面的至少一部分具有光学千涉薄膜5,该干涉薄 膜5包括多个交替的高和低折射率层。具有相对高的折射率的适合的层 材料，例如为氧化钛(在550nm， Ti02的平均折射率大约为2. 35-2. 8 )、 氧化铌(在550咖，Nb,05的平均折射率大约为2.")、氣化钽(在"0nm， Ta20s的平均折射率大约为2.18)和氣化锆(在550nm， Zr02的平均折射 率大约为2. 06),具有相对低的折射率的适合的层材料，例如为氧化硅 (平均折射率大约为1.46).对于所有提及的材料，其折射率会根据使 用的沉积方法而碌"fr不同。在弯曲管部11上的千涉薄膜5的厚度局部不同。根据本发明，干涉 薄膜5在基本平行于光源轴22的弯曲管部11的位置上的厚度大于在弯 曲管部11的其它位置的厚度。图lb示意地示出了如图lb所示的双端灯管1的横截面困.在灯管1 中的光源2发出的光以多个角度击中弯曲管部11.与光源2的延伸性相 结合的弯曲管部11的形状和几何结构很大程度决定了在弯曲管部11的 某个点上期望什么样的入射角。在图lb中采用弯曲管部ll中的虚线示 出了入射角的两种分布，以举例说明了在弯曲管部ll的多个位置上千涉 薄膜5的作用的差别。在基本上平行于光源轴22的弯曲管部11的位置 (在图lb中以区域"A"表示)上，入射角中的变化通常基本上大于在 弯曲管部ll的其它位置(例如参见困lb中通过区域"B"示出的位置) 上的变化。关于垂直于弯曲管部ll的表面来测量入射角。在图lb的实 施例中，在基本上平行于光源轴的弯曲管部11的位置(在图lb以区域 "A"表示)上，入射角a在+40。和-40。之间变化，在另一方面，在相对 远离这些位置的位置(在图lb以区域"B"表示)上，入射角P仅在+10。 和-30°之间变化。入射角分布的变化对干涉薄膜的性能产生影响，在垂 直入射或接近垂直入射时，干涉薄膜根据其设计的厚度"起作用".在 非垂直入射时，特別是在大于20。的入射角时，千涉薄膜"表现地"更薄 以及干涉薄膜的光学性能会变化，这会特別地引起不需要的千涉薄膜的 边缘波长移动。根据本发明，这种不期望的光源2的延伸性效应可以通 过使得千涉薄膜5的厚度在临近基本上平行光源轴22的位置上局部变厚 来被补偿。通过局部增厚干涉薄膜5,千涉薄膜5的性能通过入射角度的 变化得到补偿。该平均入射角在这些位置上稍微大些以及通过在这些位 置上使得过滤涂层稍微厚些，干涉薄膜5的平均性能处于可接受的范围 内。图lc是如图la和lb示出的双端灯管的透视图，在该图中干涉薄膜 5以局部厚度变化地涂敷到弯曲管部11。为了补偿不期望的相对宽的入 射角分布的影响，千涉薄膜5的厚度在临近弯曲管部11上的位置(采用 相对宽带"A"表示的，"A"采用困lc中的垂直线表示的)处局部变厚， 在该位置上平面35基本上垂直于光源轴33 (与光源轴22相符)以及包 括光源12的几何结构中心，该平面35与弯曲管部11交叉。图2a示意地示出了根据本发明的包括单端灯管的电灯实施方式的側 视图，灯具有包括弯曲管部11的发光灯管1，例如硬质玻璃.在图2a 的实施例中，灯管1为细长形并具有纵向光源轴33,弯曲管部11以气密 方式被密封以及容纳具有纵向光源轴22的细长光源2。在图2a的实施例 中，光源2优选不沿着光源轴22拉伸，光源轴作为光源的平均方向，优 选垂直于管轴33。在困2a的实施例中，光源2是(螺旋形)钨丝白炽体. 在可选择的实施方式中两个电极设置在灯管中，工作时，在该两个电极 之间维持弧光放电。闺2a示出的单端灯管1具有单一的端部，供电导体 28， 29通过端部(参见图3)电连接到从灯管l传出的光源2.图2a中 的灯管1被安装在灯帽34上(隐藏端部)，其中供电导体28、 29电连 接到该灯帽上.在图2a中，管轴33基本垂直于光源轴22。弯曲管部11的外表面的至少一部分具有光学千涉薄膜5。该干涉薄 膜5包括多个交替的高和低折射率层.在弯曲管部11上的千涉薄膜5的 厚度局部不同。根据本发明，干涉薄膜5的厚度在临近其中线44基本上 垂直于光源轴22 (参见困2b)的弯曲管部的位置上局部变厚，以及管轴 33与弯曲管部11交叉.图2b示意地示出了如图2a示出的单端灯管1的横截面图。图2b示 出了平面垂直于管轴33以及含有光源2。灯管l中的光源2发出的光以 多个角度击中弯曲管部U.与光源2的延伸性相结合的弯曲管部11的形 状和几何结构很大程度决定了在弯曲管部11的某个点上期望什么样的入 射角。在图2b中采用弯曲管部11中的虚线示出了入射角的两种分布， 以举例说明了在弯曲管部11的多个位置上千涉薄膜5的效应的差别.在 基本上平行于光源轴22 (在图2b中以区域"A"表示)的弯曲管部ll 的位置上，入射角中的变化通常基本上大于在弯曲管部11的其它位置上 (例如参见图lb中通过区域"B"示出的位置)的变化。以垂直于弯曲 管部ll的表面来测量入射角。在困2b的实施例中，在基本上平行于光 源轴的弯曲管部ll的位置上(在图2b以区域"A"表示)，入射角ot在 +40°和-40°之间变化，在另一方面，在相对远离这些位置的位置上，入 射角p仅在+5。和-15。之间变化(在图2b以区域"B"表示)，入射角分 布的变化对干涉薄膜的性能产生影响，在垂直入射或接近垂直入射时，干涉薄膜根据其设计的厚度"起作用".在非垂直入射时，特别是在大于20。的入射角时，干涉薄膜"表现地"更薄以及千涉薄膜的光学性能会 变化。这会特别地引起不期望的千涉薄膜的边缘波长的移动。根据本发 明，这种不期望的光源2的延伸性的效应可以通过使得干涉薄膜5的厚 度在临近基本上平行光源轴22的位置上局部变厚来得到补偿。通过局部 增厚干涉薄膜5，干涉薄膜5的性能通过入射角度的变化得到补偿。该平 均入射角在这些位置上稍微大些以及通过在这些位置上使得过滤涂层稍 微厚些，干涉薄膜5的平均性能会在可接受的范闺内.图k是如困2a和2b示出的双端灯管的透视图.在该图中干涉薄膜 5以局部厚度变化地涂敷到弯曲管部11。为了补偿不期望的相对宽的入 射角分布的效应，干涉薄膜5的厚度在临近弯曲管部11上的位置处局部 变厚，在该位置上线44基本上垂直于光源轴22和管轴33，并与弯曲管 部11交叉.这些区域通it菱盖图2c中的相对延伸的大区域A和A，的垂 直线来表示。经常期望阻止在要被涂lt^面的选择部分上沉积涂敷材料，这可以 通过遮掩该选择部分来实现，例如，通过提供物理挡板以防止在选择部 分上沉积涂敷材料。为此，本发明的目的在于提供一种在电灯上沉积材 料层的方法，电灯包括具有纵向管轴的细长灯管。根据本发明，为此目 的在开始段中提及的方法包括如下步骤4吏得灯管移动越过一种或多种 沉积材料源并同时沿着其管轴旋转灯管，局部遮蔽灯管以局部减少在灯 管上沉积材料的厚度。遮蔽装置被设置在临近灯管处并以与灯管基本上 相同的速度旋转。通过以相同的速度旋转遮蔽装置，千涉薄膜在灯管上 的厚度可以以受控制的方式被局部改变.闺3a示意地示出了在沉积材料层的过程中单端灯管的透视困。灯管 l为细长形并具有含有端部26。供电导体28、 29通过端部26电连接至 从灯管1传出的光源2上，灯管1具有纵向管轴33,具有纵向光源轴22 的细长光源2被设置在灯管1中.在图3a的实施例中，光源轴22基本 上垂直于管轴33。在层材料的沉积过程中，遮蔽装置55、 56设置在光源轴22交叉弯 曲管部11的管部11的位置的附近处.在图3a的实施例中，遮蔽装置55、 56设置在临近灯管1的外表面上并临近细长光源2的端部。灯管1通过 供电导体28、 29以及遮蔽装置55、 56通过承栽装置57、 58安装在J41栽体50上。层材料在电灯上的沉积过程中，灯管和遮蔽装置55、 56以 相同的速度旋转。遮蔽装置55、 56提供了相邻细长光源2的端部的千涉 薄膜局部5比在灯管的其它位置上的千涉薄膜薄。由于入射角(参见闺 2b)的分布小于在光源轴22与灯管1交叉的灯管1的位置上的分布，所 以千涉薄膜5在这些位置局部更薄.通过相应地增加干涉薄膜5的厚度， 可以获得所期望性能的千涉薄膜.图3b示意性地示出了如图3a中示出的电灯的橫截面图，示出了平 面垂直于管轴以及平面包括光源。遮蔽装置55、 56被设置在临近灯管1 的外表面上，并临近细长光源2的端部.干涉薄膜在临近遮蔽装置55、 56的灯管1的位置上局部变薄。优选地，遮蔽装置包括棒、网孔、平板和/或环.可以提供任何遮蔽 装置的组合。优选地，材料通过栽射沉积工艺沉积以形成光学干涉薄膜，应当注意上述实施方式描述了本发明但不限制本发明，以及本领域 技术人员能够设计出任何可选择的实施方式，但都不会超出附加权利要 求的范闺。在权利要求中，任何放置在圃括号中的附图标记都不解释为 限制本发明。采用的动词"包括"及其动词变化都不会排除权利要求中 陈述的那些之外的元件或步骤存在。在元件之前的术语"一个"都不会 排除多个这种元件存在。本发明可以通过包括几个不同元件的硬件的方 式得到实现，以及通过适合的被编程计算机得到实现.在该设备中要求 列举了几种方式，这些方式的几个可以通过一个或相同的硬件项来具体 表达。在多个不同的从属权利要求中陈述的某些测量的纯粹亊实并不表 示这些测量的组合不是优逸使用的.
权利要求
1、 一种电灯，其包括 包括弯曲管部(11)的透光灯管(1)，设置在弯曲管部(11)中的具有纵向光源轴(22)的细长光源(2)， 至少部分弯曲管部(11)具有光学干涉薄膜(5)， 光学干涉薄膜(5)包括多个交替的高和低折射率层， 在弯曲管部(11)上的干涉薄膜(5)的厚度局部不同， 干涉薄膜(5 )在基本上平行于光源轴(2 )的弯曲管部(11)的位 置上的厚度大于在弯曲管部(11)的其它位置上的厚度.
2、 如权利要求l的电灯，其特征在于灯管(1)为细长形并具有纵向管轴(33)，该管轴(33)基本上与 光源轴(22)重合，千涉薄膜(5 )的厚度在临近弯曲管部(11)的位置上局部变厚，在 该位置平面(35)与弯曲管部(11)交叉，其中该平面基本上垂直于光 源轴(33)并包括光源(2)的几何结构中心(l2)。
3、 如权利要求2的电灯，其特征在于该电灯具有设置为相互对置 的笫一端部(16)和第二端部(17)，供电导体(18、 19)通过笫一和 第二端部(16、 17)分別电连接至从灯管(1)传出的光源(2)上。
4、 如权利要求1的电灯，其特征在于灯管(1)为细长形并具有 纵向管轴(33),该管轴(33)基本上与光源轴(22)垂直，干涉薄膜(5)的厚度在临近弯曲管部(11)的位置上局部变厚，在 该位置线(44)与弯曲管部(11)交叉，其中该线基本上垂直于光源轴 (22)和管轴(33)。
5、 如权利要求4的电灯，其特征在于该电灯具有单一端部，供电 导体(28、 29)通过该端部电连接至从灯管(1)传出的光源(2)上。
6、 如权利要求1、 2或4的电灯，其特征在于局部厚度在干涉薄 膜(5)的整体厚度中的变化为至少3%,
7、 如权利要求l、 2或4的电灯，其特征在于光源(2)在工作时 包括至少一个白炽灯体或弧光放电灯。
8、 一种在根据权利要求1、 2或4的电灯上沉积材料层的方法，该 电灯包括具有纵向管轴(33)的细长灯管(1),该方法包括如下步骤使得灯管(1)移动越过一种或多种沉积材料源并同时沿着其管轴 (33)旋转灯管(1)，通过遮蔽装置(55、 56 )局部遮蔽灯管以局部减少在灯管(1)上沉 积的材料的厚度，将遮蔽装置(55、 56 )设置在临近灯管(1)处并以与灯管(1)基 本上相同的速度旋转.
9、 如权利要求8的方法，其特征在于灯管(1)为细长形并具有纵向管轴(33)，具有纵向光源轴(22) 的细长光源(2)设置在灯管(1)中，该光源轴(22)基本上垂直于管 轴(33)，以及遮蔽装置(55、 56)设置在临近管部(11)的位置处，在该位置光 源轴(22)与弯曲管部(11)交叉.
10、 如权利要求9的方法，其特征在于该电灯为具有单一端部(26) 的单端电灯，供电导体(28、 29)通过该端部电连接至从灯管(1)传出 的光源(2)上.
11、 如权利要求8的方法，其特征在于遮蔽装置(55、 56 )包括棒、 网孔、平板和/或环。
12、 如权利要求8或9的方法，其特征在于以溅射沉积工艺沉积材 料以形成光学干涉薄膜(5),
全文摘要
一种电灯具有透光的灯管(1)，该灯管具有容纳细长光源(2)的弯曲管部(11)。部分弯曲管部(11)具有厚度局部不同的光学干涉薄膜(5)。该干涉薄膜(5)在基本上平行于光源轴(22)的弯曲管部(11)上的位置的厚度大于在弯曲管部(11)的其它位置的厚度。在这种电灯上沉积材料层(5)的方法包括如下步骤使得灯管(1)移动越过沉积材料源并同时沿着其管轴旋转灯管(1)，局部遮蔽灯管(1)以局部减少在灯管(1)上沉积的材料的厚度，遮蔽装置(55，56)被设置在临近灯管(1)处并以与灯管(1)基本上相同的速度旋转。
文档编号H01J61/40GK101147229SQ200480027442
公开日2008年3月19日 申请日期2004年9月15日 优先权日2003年9月23日
发明者G·亨林格, W·多特 申请人:皇家飞利浦电子股份有限公司