高压放电灯及其制造方法、以及光照射装置的制作方法

专利名称：高压放电灯及其制造方法、以及光照射装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及到一种高压放电灯及其制造方法、以及具有该高压放电灯的光照射装置。
背景技术：
现在，紫外线照射装置被利用于例如粘接剂等的树脂的硬化处理或印刷基板等的露光处理中，且作为紫外线照射装置的紫外线光源使用例如高压放电灯。
高压放电灯至今已有各种类型被提出，例如在专利文献1中，如
图10所示，公开了以下的毛细管型高压水银灯80，其构成为，在两端封闭的玻璃管部81的内部相对设置一对电极83，并且封入有水银，顶端具有电极83的引线端子84气密性地贯通封固部82，向轴向外侧突出延伸设置。
高压放电灯通常在灯点亮时被冷却，但为了防止放电管的破损而想要得到充分的冷却效果时，放电管的位于电极周围的部分被过冷却，由此，在放电管内部的两端部分处水银不蒸发，不能得到充分的水银蒸气压力，其结果是产生亮度降低的问题。
针对该问题，在上述毛细管型高压水银灯80中，在玻璃管部81的位于电极83周围的部分上形成有作为过冷却防止单元的中空层85。
而且，如图11所示，设置有在与玻璃管部81的外周面之间形成冷却水W的流路89的管状的冷却套管88，在灯点亮时冷却水W沿玻璃管部81的壁面在轴向上流过流路89内，从而被冷却。尽管如此，由于具有中空层85，根据上述毛细管型高压水银灯80，玻璃管部81通过冷却水W被直接冷却，因而能够得到充分的冷却效果，并且，玻璃管部81的电极周围的部分由于有中空层85而减弱冷却效果，能够防止过冷却。
专利文献l:日本专利第2617978号公报

发明内容
然而，根据上述构造，虽然能够防止玻璃管部81的位于电极周围的部分被过冷却，但形成中空层85是较困难的，容易产生个体差，因而存在不能切实地得到稳定输出的问题。
并且，在灯点亮时，玻璃管部81破损的情况下，有玻璃管部81内封入的水银经由例如冷却水的流路89流出到外部的可能。
本发明为基于以上情况而成的，第一目的为提供能够切实地在长时间内得到稳定的输出的高压放电灯。
本发明的第二目的为提供能够切实地制造具有所期望的性能的高压放电灯的制造方法。
本发明的第三目的为提供具有上述高压放电灯，能够切实地进行所期望的光照射处理的光照射装置。
本发明的高压放电灯具有在两端封闭的内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的整体为棒状的放电管；以及外管，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置。其特征在于，放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。
在本说明书中，所谓"接触状态"可以是外管的内周面(内壁)与放电管的外周面(外壁)点接触或者线接触的状态，也包括一部分为面接触的状态。并且，所谓"密合状态"可以是外管的内周面与放电管的外周面主要为面接触的状态，即放电管与外管两者一体化的状态。
本发明的高压放电灯通过使用两端具有扩径部的外管，或者使用直管状外管，使用位于电极周围的两端部比中央部直径小的放电管，能够构成为形成空隙。
本发明的高压放电灯的制造方法的特征在于，具有如下工序在外管内插入设置放电管的状态下，通过加热使放电管膨胀，在放电管的至少位于电极周围的部分的外周面和外管的内周面之间形成延伸于整周的空隙的状态下，使放电管和外管密合。
本发明的光照射装置的特征在于，具有上述高压放电灯，设有流路形成部件，该流路形成部件形成在灯点亮时冷却该高压放电灯的冷却水沿外管的壁面流过的流路。
根据本发明的高压放电灯，是在与放电管的至少位于电极周围的部分之间形成延伸于整周的空隙的状态下，以外管与放电管的外周面接触或者密合的状态设置的双重管结构，由此，在灯点亮时，通过例如使冷却水沿外管的壁面流过，位于电极周围的部分由于空隙(空气层)的存在而减弱冷却作用。因而，采用了放电管的与外管接触或者密合的部分通过冷却水被充分冷却，能够防止放电管的破损的构成，并且切实地防止位于电极周围的部分被过冷却，不会产生由水银未蒸发引起的亮度降低，因而，能够切实地在长时间内得到稳定的输出。并且，由于是双重管结构，因此在灯点亮时，即使在放电管破损 的情况下，也能够防止水银流到外部。
根据本发明的高压放电灯的制造方法，没有必要采用例如在放电 管中形成中空层等的特殊加工，仅需构成为双重管结构，并在预定位 置使外管和内管之间形成空隙的状态下使两者通过加热而密合即可， 因而能够非常容易地制造具有所期望的性能的灯。
根据本发明的光照射装置，由于具有上述高压放电灯，能够使高 压放电灯放射出的紫外线以充分的亮度稳定地照射被处理对象(工 件)，因而能够切实地进行所期望的紫外线照射处理。


图1是表示本发明的第一实施方式相关的高压放电灯的一个例子 的构成概要的说明用截面图。
图2是表示图1所示的高压放电灯的主要部分的放大截面图。
图3是用于说明图1所示的高压放电灯的制造方法的图，(a)为 表示外管以及放电管的构成的说明用截面图，(b)为表示外管内设置 有放电管的状态的说明用截面图，(c)为(b)的A-A线截面图，(d) 为表示通过加热处理使放电管的外周面与外管的内周面密合的状态的 与(c)相同的切断部的截面图。
图4是表示本发明的第二实施方式相关的高压放电灯的一个例子 的构成概要的说明用截面图。
图5是表示图4所示高压放电灯的主要部分的放大截面图。
图6是表示本发明的光照射装置的一个例子的构成概要的说明用
截面图。
图7是图6的B-B线截面图。
图8是表示本发明的高压放电灯的其他结构例的主要部分的截面图。图9是表示本发明的高压放电灯的另一结构例的主要部分的截面图。
图10是表示现有的高压放电灯的一个例子的构成概要的说明用 截面图。
图11是用于说明图io所示的高压放电灯的使用状态的说明用截面图。
具体实施例方式
本发明的高压放电灯是由构成放电管的内管、以及外管构成的双 重管结构，在放电管的位于电极周围的部分的外周面和外管的内周面 之间形成延伸于整周的空隙，由此形成过冷却防止结构。
第一实施方式
第一实施方式相关的高压放电灯构成为通过采用特定结构作为外 管，在放电管的电极周围的部分的外周面和外管的内周面之间形成延 伸于整周的空隙。以下，对该第一实施方式相关的高压放电灯的构成 进行具体说明。
图1是表示本发明的第一实施方式相关的高压放电灯的一个例子
的构成概要的说明用截面图。图2是表示图1所示高压放电灯的主要
部分的放大截面图。
该高压放电灯IO构成为由以下两部分构成整体为棒状的放电管 11，在两端封固、由例如石英玻璃形成的直管状的内管12的内部，分
别相对设置由例如钨形成的一对棒状的电极16，各电极16气密性地埋 设于形成于内管12上的杆状的封固部13，通过由例如钼形成的金属箔 17，从封固部13的外端向轴向外侧突出延伸，与外部引线18电连接； 以及设置于该放电管ll内部，由例如石英玻璃形成的外管20。
放电管11的封固部13为例如通过使作为内管12的构成材料的管体的两端部达到熔融状态，并使其内部减压的压縮封闭法形成，比放 电管11的中央部14 (相当于发光区域的部分)的直径小。
该高压放电灯io构成为例如称为"毛细管灯"的毛细管型高压水 银灯，在放电管11的内部封入例如lmg/cn^以上的水银，并且封入适 量的氩气等稀有气体。然后，放射例如波长为350 450nm的紫外线。
外管20为在两端部形成有比中央部21的内径尺寸大的扩径部22 的例如为管状的物体，各扩径部22形成在放电管11的位于处于内部 空间(放电空间)内的电极部分的周围的部分，换言之与该电极部分 的轴向长度相当的端部部分(以下称为"过冷却防止部分15")所对 应的位置上，因而，外管20在放电管11的过冷却防止部分15的外周 面以及与该过冷却防止部分15接续的封固部13的一部分的外周面和 外管20的内周面之间形成有延伸于整周的空隙30的状态下，被设置 成其中央部21的内周面与放电管11的中央部14的外周面为例如接触 状态。
放电管11和外管20通过设置于外部引线18上的底座25由粘接 剂26固定，放电管11和外管20之间的空隙中形成有空气层或者由适 当的气体形成的气体层。
空隙30的大小，亦即外管20的扩径部22的内径L2与放电管11 的过冷却防止部分15的外径Ll之间的差优选为例如2mm以上，由此， 灯点亮时被冷却的时候，放电管11的过冷却防止部分15能够切实地 防止过冷却。
粘接剂26可以使用无机粘接剂或者有机粘接剂。特别地，无机粘 接剂(例如7 3ir，厶S (朝日化学工业(株)))能够以较高的强度 固定。并且，通过仅在任意一边的封固部上设置粘接剂，都能够容许 放电管和外管之间的膨胀量的不同，能够防止由于该膨胀量的不同引起破损。进而，可以在任意一边的封固部上使用无机粘接剂，并在另 一边的封固部上使用有机粘接剂(例如硅粘接剂)。由于有机粘接剂 比无机粘接剂更有柔软性，因此能够在放电管膨胀的情况下由有机粘 接剂的柔软性吸收。
该高压放电灯10能够按照以下方法制作。
首先，在例如圆筒状的管体的内部封入适量的水银，并且将各个
杆状的电极16和外部引线18通过金属箔17电连接构成的电极结构体 从管体的两侧插入，使电极16相对设置，通过例如压缩封闭法封固管 体的两端部，从而制成放电管ll。
另一方面，准备具有与如此得到的放电管11的外径尺寸相同大小 的内径尺寸，并且具有与放电管11的中央部14相当的长度(相当于 发光区域的部分的长度)的圆筒状的主管体，以及分别比主管体内径 尺寸大的两个扩径部形成用管体，通过在主管体的两端连接扩径部形 成用管体，在放电管11已配置于其内部的状态下，制作至少在与放电 管11的过冷却防止部分15相对应的部分上具有扩径部22的外管20。
接着，通过将放电管11嵌合于外管20的内部，能够得到上述构 成的高压放电灯10。
上述高压放电灯IO的一个结构例为放电管11的中央部14的内 径为巾3.4腿，放电管ll的中央部14的外径为d)7. 4mm，封固部13的 外径为d)6mm，放电管11的全长为150mm，电极间距离为100mm，位于 放电空间内的电极部分的长度为3mm，水银的封入量为44mg/cm3，外管 20的中央部21的外径为4>9. 5mm，外管20的中央部21的内径为4> 7.4mm，扩径部22的长度为60mm，扩径部22的内径为cMlmm，放电管 的过冷却防止部分与外管之间的空隙的大小为3.6mm。灯点亮时高压放电灯10的额定电压为2000V，额定电流为1.25A, 灯功率为2500W。
上述高压放电灯10为例如灯点亮时的管壁负荷在100W/cm2以上的 高输出的灯，灯点亮时通过例如冷却水冷却高压放电灯10的整体。
然而，根据上述构成的高压放电灯10，外管20在与放电管11的 过冷却防止部分15的外周面以及其接续的封固部13的外周面之间形 成有延伸于整周的空隙30的状态下，与放电管11的中央部14的外周 面以接触状态配置的双重管结构，从而通过在灯点亮时使例如冷却水 沿外管20的壁面流过，来冷却高压放电灯10，由此过冷却防止部分 15由于存在空隙30 (空气层)，冷却作用被减弱。因而，放电管11 的与外管20相接触的中央部通过冷却水被充分冷却，能够防止放电管 ll的破损，并且过冷却防止部分15能够切实地防止过冷却，其结果为 不会产生由水银未蒸发引起的亮度降低，能够在长时间内切实地得到 稳定的输出。
在此，该高压放电灯10中，放电管11的中央部14的外周面与外 管20的内周面为接触状态(点接触或者线接触的状态)，并且由于由 例如石英玻璃形成的放电管11和外管20分别在其表面上具有细微的 凹凸，因此实际上，在放电管11和外管20之间散布有极微小的间隙， 但是即使在存在例如最大为lOOym左右的间隙的情况下，也能够得到 充分的冷却效果。
并且，由于是双重管结构，因此在灯点亮时，即使放电管ll破损 也能够防止水银流到外部。
该种形成有过冷却防止结构的高压放电灯10没有必要进行例如 在放电管上形成中空层等的特殊加工，可以通过构成为向在预定位置 上形成有扩径部22的外管20插入设置放电管11的双重管结构来制作，而且，加工在管轴方向上具有平均内径尺寸的管体来形成扩径部22能 够容易地进行，因此能够容易且切实地制作具有所希望的性能的灯。
以上，对本发明的第一实施方式相关的高压放电灯的一个例子进 行了说明，在本发明的高压放电灯中，由于能够得到更高的冷却效率， 因此优选放电管的中央部的外周面与外管的内周面构成为密合状态。
亦即，由于放电管的中央部的外周面与外管的内周面构成为仅为 接触状态的情况下存在的极微小的间隙消失，能够防止灯点亮时放电 管发出的热传递被该间隙阻碍，由此，能够得到更高的冷却效率。
该种高压放电灯能够按照例如以下方法制作。
如图3 (a)所示，与上述相同，制作放电管ll，并且准备具有比 放电管11的外径稍大的内径尺寸，并且具有与放电管11的中央部14 相当的长度的圆筒状的主管体，以及分别比主管体内径尺寸大的两个 扩径部形成用管体，通过在主管体的两端连接扩径部形成用管体，在 放电管11已配置于其内部的状态下，制作至少在与放电管11的过冷 却防止部分15相对应的部分上具有扩径部22的外管20。
接着，如图3 (b)所示，在外管20的内部插入设置放电管11。 在该状态下，如图3 (c)所示，放电管11的中央部14的外周面和外 管20的内周面之间为存在有微小的环状空隙35的状态。
并且，在放电管11设置于外管20内的状态下，通过例如电炉等 加热，如图3(d)所示，使放电管11的中央部14的外周面与外管20 的内周面密合。亦即，放电管11的内管12以及外管20均由例如石英 玻璃制作， 一般已知石英玻璃被加热到例如125(TC左右的温度的话， 变为稍微具有柔软性的状态。并且，由于放电管11内封入有水银，通 过加热水银蒸发、放电管11内的压力上升，因而放电管11膨胀至与外管20的内壁相接触的状态，进而，随着放电管ll的膨胀，外管20 变形，由此，放电管11的中央部14的外周面与外管20的内周面变为 密合状态，放电管11与外管20两者一体化。
加热处理终了后，高压放电灯被冷却，但由于放电管ll封入有水 银，因而放电管11的内压比大气压高，直到放电管11的温度达到水 银的蒸发停止的例如36(TC左右，石英玻璃变得十分坚硬，因此即使高 压放电灯被冷却，放电管ll也不会收縮，维持放电管11与外管20的 密合状态。
在以上的制造方法中，加热保持时间根据外管20的内径和放电管 11的外径的尺寸差(环状空隙35的大小)设定，具体来说尺寸差越大 则加热保持时间设定得越长。
例如内管12的壁厚为2mm，外管20的壁厚为lmm，尺寸差为 O.lmm的情况下，设定为例如125(TC的温度下，加热保持时间为3.5 小时左右。
另外，加热处理并不仅限于以电炉加热的方法，也可以通过需要 较长时间的喷烧器加热。
第二实施方式
该第二实施方式相关的高压放电灯为通过使用例如内径尺寸在轴 向均匀的直管状物作为外管，并且使用位于电极的周围的过冷却防止 部分比中央部直径小的棒状物作为放电管，在放电管的至少过冷却防 止部分的外周面和外管的内周面之间形成延伸于整周的空隙。以下， 对该第二实施方式相关的高压放电灯的构成进行具体说明。
图4是表示本发明的第二实施方式相关的高压放电灯的一个例子 的构成概要的说明用截面图。图5是表示图4所示高压放电灯的主要部分的放大截面图。在图4和图5中，为了方便，对与上述第一实施 方式相关的高压放电灯相同的构成部件标以相同的符号，并且省略其 说明。
该高压放电灯40构成为，在位于处于放电空间内的电极部分周围
的过冷却防止部分45，具有与比中央部44的外形尺寸L4小的外径尺 寸L3的封固部43相接续、形成有向着轴向外侧外径尺寸变小的縮径 部46的内管42，除此之外，还有与上述第一实施方式相关的灯具有相 同构成的放电管41，以及内部设置有放电管41，内径尺寸为在管轴方 向上均匀的直管状的外管50，放电管41的过冷却防止部分45以及与 该过冷却防止部分45接续的封固部43的外周面与外管50的内周面之 间形成有延伸于整周的空隙30。
该种第二实施方式相关的高压放电灯能够通过与上述第一实施方 式相关的高压放电灯相同的方法制作。
根据上述构成的高压放电灯40，与第一实施方式相关的灯有相同 的效果，亦即通过在灯点亮时使例如冷却水沿外管50的壁面流过，来 冷却高压放电灯40,从而过冷却防止部分45由于空隙30 (空气层) 的存在，冷却作用被减弱，因而，采用了放电管41的与外管50接触 或者密合的中央部44通过冷却水被充分冷却，能够防止放电管41的 破损的构成，并且过冷却防止部分45能够切实地防止过冷却，其结果 为不会产生由水银未蒸发引起的亮度降低，能够在长时间内切实地得 到稳定的输出。
并且，由于是双重管结构，因此在灯点亮时，即使放电管41破损 也能够防止水银流到外部。
进而，由于将放电管41构成为其过冷却防止部分45比中央部44 直径小的操作能够更加容易地进行，因而能够容易且切实地制作具有所希望的性能的灯。
即使在该第二实施方式相关的高压放电灯40中，放电管41构成
为其中央部44与外管50的内周面以接触状态配置的话，能够在灯点 亮时得到充分的冷却效果，但通过放电管41构成为其中央部44与外 管50的内周面以密合状态配置，能够得到更高的冷却效率。
光照射装置
本发明的光照射装置构成为具有上述高压放电灯，且设置有流路 形成部件，来区划在灯点亮时冷却灯的冷却水沿外管的壁面流过的流 路。
图6是表示本发明的光照射装置的一个例子的构成概要的说明用 截面图。图7是图6的B-B线截面图。
该光照射装置具有例如上述第一实施方式相关的高压放电灯10 作为光源，以及冷却机构，该冷却机构由以下构成圆筒状的冷却套 管60，其在内部有高压放电灯10穿过的状态下，沿高压放电灯10的 管轴延伸设置，作为形成冷却水W流过与高压放电灯10的外周面之间 的冷却水流路65的流路形成部件；以及设置于高压放电灯10和冷却 套管60的两端，内部空间连通高压放电灯10和冷却套管60之间的冷 却水流路65的冷却水供给流路形成部件61以及冷却水排出流路形成 部件62。
冷却水供给流路形成部件61以及冷却水排出流路形成部件62整 体是大致L字型的管状，高压放电灯10和冷却套管60在以例如管轴 在水平方向上延伸的姿势连接的状态下，通过轴向内侧的封口部63例 如由0环(未图示)保持固定冷却套管60的外周面，并且通过轴向外 侧的封口部64例如由0环(未图示)保持固定高压放电灯10的外周 面。冷却套管60由能够透过由高压放电灯IO放射出的紫外线的材料， 例如石英玻璃构成。
在相对于光照射方向(图6和图7的下方向)的高压放电灯10的 背面侧，具有例如截面为抛物线状的反射面71的导水管状的反射镜70 在其第一焦点与高压放电灯10的中心(连接高压放电灯10的一对电 极16的中心的直线) 一致的状态下，沿高压放电灯IO延伸设置，从 高压放电灯10放射出来的光直接或者通过反射镜70反射，成为平行 光，经由保持于掩模台75上的掩模M，照射到放置在工作台76上、 涂布有例如抗蚀剂等感光剂的液晶板或者半导体元件等工件77上。其 中，反射面71由例如二氧化钛以及二氧化硅等不同的反射层交替蒸发 形成的多层膜形成。
在上述光照射装置中，在高压水银灯10点亮时，通过未图示的适 当的冷却水供给单元(泵)供给冷却水W。其中，高压放电灯10的冷 却通过以例如5L (升)/min的流量循环冷却水W来达成。
所供给的冷却水W在高压放电灯10和冷却套管60之间形成的冷 却水流路65内，沿高压放电灯10的壁面，具体来说是外管20的外周 面流过，冷却高压放电灯IO的整体后，经由冷却水排出流路形成部件 62排出。
然而，根据上述光照射装置，在灯点亮时选择性地冷却高压放电 灯10，亦即放电管11的过冷却防止部分15由于空隙30 (空气层)的 存在而减弱冷却作用，并且与放电管11的外管20相接触的中央部14 被冷却水W充分冷却，因而构成为能够防止放电管11的破损，并且过 冷却防止部分15能够切实地防止过冷却，不会产生起因为水银未蒸发 导致的亮度降低的问题，能够在长时间内切实地得到稳定的输出，因 而，能够切实地进行所期望的紫外线照射处理。并且，由于高压放电灯IO为双重管结构，因而万一在灯点亮时， 即使是放电管11破损的情况下，也能够防止水银经由冷却水W的循环 流路向外部流出，能够防止光照射装置的污染。
以上对本发明的实施方式进行了说明，但是本发明并不仅限于上 述的实施方式，也可以加以各种变更。
例如，第一实施方式相关的高压放电灯中，也可以构成为外管的 扩径部在放电管的至少位于突出于内部空间的电极部分的周围的过冷 却防止部分的外周面和外管的内周面之间形成在整周延伸的空隙，例
如如图8所示，也可以构成为扩径部22形成为由位于比放电管11的 过冷却防止部分15靠轴向内侧的部分向轴向外侧延伸，在包括放电管 11的过冷却防止部分15的外周面和外管20的内周面之间的区域的部 分上形成在整周延伸的空隙30。
并且，外管的形状并不特别限定，可以采用具有与放电管的外形 形状对应的内形形状，例如放电管的外形形状为椭圆状的情况下，外 管的内形形状被加工成(形成)可以内包放电管的大小的椭圆状，根 据上述方法，在内部设置放电管的状态下，使放电管的中央部的外周 面与外管的内周面密合即可。
并且，本发明并不仅限于毛细管灯，也可以适用于在灯点亮时需 要冷却的例如金卤灯等的高输出的高压放电灯，在金卤灯的情况下， 将例如碘化铁等金属卤化物以及例如氩气等的稀有气体一起封入放电 管内。
进而，上述实施例相关的高压放电灯的封固部也可以为通过使石 英玻璃的管体变为熔融状态后将其压溃的压縮封闭法形成，或者加热 电极的外周，直接巻起中间玻璃(电极与石英玻璃的中间线膨胀率的级封闭法形成，亦即并非限定的。 另外，如图9所示，根据封固方法不同，有时封固部13A并不在
垂直于高压放电灯10的管轴方向的方向上縮小(也包括扩大的情况)，
但是在该情况下，可以使用第一实施方式相关的构成，亦即两端部具
有扩径部22的外管20，通过将外管20的扩径部22的内径L6设为比 封固部13的最大外径L5大，在放电管11的过冷却防止部分15的外 周面和外管20的内周面之间形成延伸于整周的空隙30，由此能够形成 所期望的过冷却防止结构。
并且，本发明的光照射装置只要是构成为具有本发明相关的高压 放电灯，以及在灯点亮时冷却高压放电灯的冷却水形成的冷却机构， 并不特别限定其他构成部件的具体的构成。
例如，反射镜可以选择具有适应处理目的的所需的光学特性，具 体来说即以平行光照射工件的功能，或者聚光照射工件的功能，可以 使用例如具有截面为椭圆状的反射面的导水管状的反射镜。该情况下， 高压放电灯配置在其中心和反射镜的第一焦点一致的位置上，从而由 高压放电灯发出的光聚光于反射镜的第二焦点的位置。
权利要求
1. 一种高压放电灯，其特征在于，具有在两端封闭的内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的整体为棒状的放电管；以及外管，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置，放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。
2. 根据权利要求l所述的高压放电灯，其特征在于，外管的两端具有扩径部，通过该扩径部形成空隙。
3. 根据权利要求1所述的高压放电灯，其特征在于，外管为直管状，放电管的位于电极周围的两端部比中央部的直径小，由此形成空隙。
4. 根据权利要求1所述的高压放电灯，其特征在于，上述放电管和上述外管通过粘接剂固定。
5. —种高压放电灯的制造方法，其特征在于，具有如下工序在外管内插入设置放电管的状态下，通过加热使放电管膨胀，在放电管的至少位于电极周围的部分的外周面和外管的内周面之间形成延伸于整周的空隙的状态下，使放电管和外管密合。
6. —种光照射装置，其特征在于，具有权利要求1 权利要求3中任一项所述的高压放电灯，设有流路形成部件，该流路形成部件形成灯点亮时冷却该高压放电灯的冷却水沿外管的壁面流过的流路。
全文摘要
本发明提供一种能够在长时间内切实地得到稳定的输出的高压放电灯以及能够切实地得到该种灯的制造方法和能够切实地实行所期望的光照射处理的光照射装置。高压放电灯是由在两端封闭的棒状内管的内部相对设置一对电极并且至少封入有水银而成的放电管以及外管构成的双重管结构，在外管的内部，放电管的外周面的至少一部分与外管的外周面以接触状态或者密合状态配置，且放电管的至少位于上述电极周围的部分的外周面与外管的内周面之间形成有延伸于整周的空隙。上述高压放电灯可以通过具有在外管内插入设置放电管的状态下，通过加热使放电管膨胀，使放电管和外管密合的工序的方法得到。光照射装置具有上述高压放电灯。
文档编号H01J61/34GK101533753SQ20081008387
公开日2009年9月16日 申请日期2008年3月11日 优先权日2008年3月11日
发明者大久保启介, 森和之, 田川幸治 申请人:优志旺电机株式会社