新型离子束流形状探测器的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种新型离子束流形状探测器，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板。其中检测电极为所述的石墨电极，所述石墨电极和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔，所述石墨电极和所述陶瓷板的大小一样，交错排布。本实用新型的新型离子束流形状探测器，适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。
【专利说明】新型离子束流形状探测器
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种新型离子束流形状探测器。
【背景技术】
[0002]离子注入过程中束流的形状和稳定性是一个非常重要的参数，束流形状的剧烈变化可能会严重影响到产品制程的稳定性，特别是影响被植入晶圆的均匀度。
[0003]常见的离子束流是有两个不同的形状组成的。一种是细长型的，另外一种是边缘比较光滑的，类似长方形的。前者针对的单片制程机台，后者针对的是批量制程机台。根据机台的设计，针对不同的束流形状有着不同的束流检测器和检测方法。
[0004]针对细长形的离子束流，目前的检测方法如图1所示，通过检测器的横向移动，来监测细长的离子束流在每一个位置的大小，把数据汇聚到一起得出束流的形状。石墨电极整个是同一个电位，也就是说无法检测束流的上下漂移状态。
[0005]针对长方形的离子束流，目前的检测方法如图2所示，通过小孔的匀速上下移动，石墨片感应到束流的时间起点和时间长短，机台可以检测到束流的高度和宽度以及相对于中心点的偏移程度。缺点是小孔匀速行动的过程中，束流的变化是无法被检测的。而且当束流的稳定性变差，束流的中心线发生位移的，监测出来的数值往往失真。
实用新型内容
[0006]本实用新型所要解决的技术问题是提供一种新型离子束流形状探测器，适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。
[0007]为了解决以上技术问题，本实用新型提供了一种新型离子束流形状探测器，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板。
[0008]优选地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，检测电极为所述的石墨电极。
[0009]进一步地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，所述石墨电极和所述陶瓷板的背部有用于固定的螺孔。
[0010]进一步地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，所述石墨电极和所述陶瓷板的大小一样，交错排布。
[0011]更近一步地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，所述石墨电极和所述陶瓷板均为边长5mm的正方形。
[0012]更近一步地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，所述石墨电极和所述陶瓷板的厚度均为3mm。
[0013]进一步地，本实用新型的新型离子束流形状探测器，所述新型离子束流形状探测器的尺寸为225*155mm。
[0014]本实用新型的新型离子束流形状探测器，适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步详细说明。
[0016]图1是现有检测细长形的离子束流的探测器；
[0017]图2是现有检测长方形的离子束流的探测器；
[0018]图3是本实用新型的新型离子束流形状探测器；
[0019]图4是图3的探测器局部I的石墨电极和陶瓷板正面放大示意图；
[0020]图5是图3的探测器局部I的石墨电极和陶瓷板背部放大示意图；
[0021 ]图6是石墨电极的电路不意图；
[0022]图7是单个石墨电极或陶瓷板的侧视图；
[0023]图8是图7的AA向示意图(单个石墨电极或陶瓷板的背部示意图)。
[0024]图中的附图标记为:1、探测器局部；2、陶瓷边框。
【具体实施方式】
[0025]本发明致力于开发出一种可以适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。根据实际生产的需求，对检测器的设计要求是稳定可靠。本实用新型的新型离子束流形状探测器，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板，其中检测电极为所述的石墨电极。
[0026]如图3所示，本束流形状检测器的外观形状为长方形。考虑到可以适用于两种不同的束流形状，尺寸针对晶圆的大小设定为225*155mm(针对8英寸晶圆)，以上尺寸是按照实际的生产经验设定的。细长型的束流尺寸通常为200_*2_，平滑长方形的束流尺寸通常不超过70*110_，该尺寸视束流的能量和剂量大小而定。探测器外圈具有陶瓷边框2。
[0027]如图4所示为探测器局部I的放大示意图，整个检测器表面由5*5mm的石墨电极覆盖而成，石墨电极与石墨电极之间使用5*5_陶瓷板作为信号隔断。石墨电极与陶瓷板的厚度均为3mm。该厚度的石墨电极不容易折断，实用性强。
[0028]如图5所示为探测器局部I的背部放大示意图，石墨电极和陶瓷板的背部具有螺孔，用于固定。
[0029]如图6所示，离子束流击中某个石墨电极后，电极后面所联结的电流表会根据击中的离子个数进行计数。
[0030]1.相同时间内，不同的石墨电极检测到的离子个数是不一致的。对所有的石墨电极进行地址编号，把各自的电流表读数按照拼图拼接在一起就是一个完整的束流形状。
[0031]2.通过比较石墨电极做出的图形，可以观察束流形状相对于设计束流路径的偏差。
[0032]3.稳定的束流轰击下，每个石墨电极的单位时间内读取的数值都是一个稳定值。通过检测每个石墨电极单位时间内读取到的数值可以观察束流的稳定性。
[0033]石墨电极与陶瓷板采用相同尺寸和形状，方便拼装，背后开有螺孔加以固定，具体尺寸如图7和图8所示。
[0034]本实用新型的新型离子束流形状探测器，适用于检测两种不同束流形状的检测器，同时兼具检测束流稳定性的功能。
【权利要求】
1.一种新型离子束流形状探测器，其特征在于，在陶瓷背板上具有逐一间隔摆放的石墨电极和陶瓷板，所述石墨电极和所述陶瓷板均为边长5_的正方形。
2.权利要求1所述的新型离子束流形状探测器，其特征在于，所述石墨电极和所述陶瓷板的厚度均为3mm。
3.如权利要求2所述的新型离子束流形状探测器，其特征在于，所述新型离子束流形状探测器的尺寸为225*155mm。
【文档编号】H01J37/244GK203859096SQ201420072428
【公开日】2014年10月1日 申请日期:2014年2月20日 优先权日:2014年2月20日
【发明者】郑静静 申请人:郑静静