晶圆检测光源的制作方法

本申请涉及半导体，具体涉及晶圆检测光源。

背景技术：

1、四色光源晶圆检测是一种光学成像技术，用于半导体晶圆的检测和评估。该技术主要通过使用具有不同波长的四种不同颜色的光源来照明晶圆表面，然后通过相应的光学系统捕捉反射或透射的光信号，进而进行分析和判断。

2、在实际应用中，四色光源晶圆检测系统通常使用多个光源，并通过快速切换和调节不同波长的光源来实现。这样针对不同的晶圆检测时需针对每一种晶圆检测重新进行一次全部工作流程，尤其光源设置需重复繁琐的设置步骤等。

3、因此，需要一种新的晶圆检测光源方案。

技术实现思路

1、有鉴于此，本说明书实施例提供晶圆检测光源。

2、本说明书实施例提供以下技术方案：

3、本说明书实施例提供一种晶圆检测光源，晶圆检测光源包括：

4、滤光片、透镜、白光光源、及光纤；

5、光纤与白光光源之间设置滤光片及透镜；

6、其中，光纤出射的光束通过滤光片与透镜通过不同位置、不同角度的设置形成三色光源，结合白光光源最终形成四色光源。

7、本说明书实施例还提供一种晶圆检测光源，所述晶圆检测光源包括：

8、四色灯珠阵列、透镜及光纤；

9、所述光纤与所述四色灯珠阵列之间设置透镜；

10、其中，所述四色灯珠阵列包括灯珠侧壁与灯珠底部；灯珠底部设置四色灯珠阵列，并出射出四色光束，通过调整灯珠侧壁与灯珠底部的角度，将所述四色光束改变出射角度后经过所述透镜聚焦，输出至所述光纤。

11、本说明书实施例还提供一种晶圆检测光源，所述晶圆检测光源包括：

12、光纤、透镜、x棱镜及反射镜；

13、透镜设置于所述光纤与所述x棱镜之间；

14、所述反射镜围绕所述x棱镜设置；

15、其中，三色平行光源各自出射光束，经所述反射镜、所述x棱镜后汇聚于所述透镜，结合光纤中白光最终形成四色光源。

16、与现有技术相比，本说明书实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到的有益效果至少包括：

17、通过不同位置设置相应部件及通过调节角度来实现四色光源的合束，设置不同形式的晶圆检测光源，采用本说明书实施例的晶圆检测光源进行晶圆检测无需复杂的光源调节过程，提升晶圆检测效率。

技术特征：

1.一种晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述透镜包括胶合透镜组；所述胶合透镜组设置于所述滤光片光束出射处；

3.根据权利要求1所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述透镜包括第一透镜、第二透镜；所述第一透镜与所述第二透镜分别设置不同的位置。

4.根据权利要求3所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源中所述第一透镜、所述滤光片及所述第二透镜依次设置于所述光纤与所述白光光源之间。

5.根据权利要求3所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源中所述滤光片、所述第一透镜及所述第二透镜依次设置于所述光纤与所述白光光源之间。

6.根据权利要求3所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述第一透镜与所述第二透镜分别采用顶丝夹持固定，所述顶丝还用于调节所述第一透镜或所述第二透镜的俯仰角度。

7.一种晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源包括：

8.根据权利要求7所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述灯珠侧壁与所述灯珠底部的角度调节范围为90°-150°。

9.一种晶圆检测光源，其特征在于，所述晶圆检测光源包括：

10.根据权利要求9所述的晶圆检测光源，其特征在于，所述透镜的直径大于x棱镜出光光斑的直径。

技术总结
本申请提供一种晶圆检测光源，所述晶圆检测光源包括：滤光片、透镜、白光光源及光纤；光纤与白光光源之间设置滤光片及透镜；其中，光纤出射的光束通过滤光片与透镜形成三色光源，结合白光光源最终形成四色光源，其中滤光片与透镜采用不同位置、不同角度的设置。本说明书实施例通过不同位置设置相应部件及通过调节角度来实现四色光源的合束，设置不同形式的晶圆检测光源，采用本说明书实施例的晶圆检测光源进行晶圆检测无需复杂的光源调节过程，提升晶圆检测效率。

技术研发人员：秦雪飞,任晓静,温任华,胡伟雄
受保护的技术使用者：魅杰光电科技（上海）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/4/7