专利名称：一种大尺寸x光象增强器的制作方法
技术领域：
本实用新型属于光电成象器件的改进。
1984年美国Lixi公司利用NASA.4142101专利研成一种轻型X光诊断仪，仪器中的X光图象转换和增强，是采用闪烁转换屏把X光图象转换成可见光图象，再耦合到可见光象增强器上。这种转换存在着转换效率低、成本高、安全性能差等缺点，而且象增强器的直径只有50mm左右，影响仪器的使用效果和范围。本实用新型的目的在于设计出一种大尺寸的X光象增强器，来替代闪烁转换屏和可见光象增强器，以提高X光图象的转换效率和图象的空间分辨率，扩大仪器的使用范围，提高其安全性和使用寿命。
本实用新型的技术原理为，采用对X光敏感的高量子产额的材料(如碘化铯)为光电阴极，直接将X光转换成可见光，再经微通道板(MCP)倍增后，由荧光屏把电子图象转换成可直接观察和记录的光学图象。采用微通道板作为电子倍增器，它具有响应时间迅速和高电子增益的特点，其每个微孔通道相当于一个独立的电子倍增 器，用于电子图象增强时一个通道对应一个象素。
附
图1为本实用新型所设计的X光象增强器(四电极)的结构示意图，附图2为所设计的三电极X光象增强器电极结构示意图，附图3为所设计的四电极X光象增强器电极结构示意图。图中1为荧光屏，2为吸气剂，3为管壳，4为钛窗(钛对X光的透过率高)，5为微通道板(MCP)，6为阴极支撑环(阴极基底)，7为固定环，8为排气孔(待增强器内部抽真空后封死)，9为光电阴极。
本实用新型的特征在于，由荧光屏、管壳和钛窗构成的X光象增强器内部空间为10－6mmHg以上的真空；其内设置非蒸散型吸气剂；X光象增强器内部的部件及其排列顺序(即X光透过成象顺序)为，钛窗、光电阴极、微通道板、荧光屏。其荧光屏是采用重力沉淀法将黄绿色荧光粉沉淀在荧光屏的玻璃基片上，非蒸散型吸气剂可选用锆铝或锆石墨等。
本实用新型所设计的X光象增强器分为三电极和四电极两种结构，三电极结构如附图2所示，是将光电阴极材料设置(蒸镀)在微通道板的输入面上，其特点是图象的空间分辨率高；四电极结构如附图3所示，是将光电阴极材料设置(蒸镀)在阴极基底靠MCP的面上，作为一个独立的电极，其特点是增益高，可进一步减小透视所需的X光剂量。固定环用于固定阴极基底。阴极基底可选用铝材料制作。
由于本实用新型较已有的X光象增强器的工作面积大，直径可为100mm左右，所以可构成多种X光诊断与无损检测仪器。用于医疗、工业探伤、战地救护、海关、公安、邮电的安全检查及微电子工业等方面。采用本实用新型所设计的X光象增强器(通光孔径100mm，四电极结构)，制造出一种手提式X光诊断仪，(其X光球管电压35－70KV，电流80微安，光电阴极为零伏，微通道板输入极为300伏，输出极为1000－1300伏，荧光屏电压为5－7KV)，用于透视成人股骨及电子器件集成块，所得图象清晰，内部的细微结构都能观察清楚，其X光的输入剂量仅为现有医用X光机剂量的百分之一，在法定剂量范围之内，人体无需保护，在无暗室的条件下同样工作。
权利要求1.一种X光象增强器，本实用新型的特征在于由荧光屏、管壳和钛窗构成的增强器内部空间为10-6mmHg以上的真空，其内置有非蒸散型吸气剂、其内部的部件及其排列顺序为钛窗、光电阴极、微通道板、荧光屏。
2.根据权利要求1所述的增强器，其特征在于将光电阴极设置在微通道板的输入面上，构成三电极结构的增强器。
3.根据权利要求1所述的增强器，其特征在于将光电阴极设置在微通道板与钛窗之间的阴极基底靠微通道板的面上，作为一个独立的电极，构成四电极结构的增强器。
4.根据权利要求1、2、3所述的增强器，其特征在于其通光直径可制作到100mm左右。
专利摘要一种大尺寸X光象增强器，由荧光屏、管壳和钛窗构成的增强器内部为10
文档编号H01J31/50GK2107061SQ9122707
公开日1992年6月10日 申请日期1991年10月19日 优先权日1991年10月19日
发明者侯洵, 朱功夫, 刘秀琴, 马秀玲, 任永安, 丁克周, 王治平 申请人:中国科学院西安光学精密机械研究所