超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置制造方法
【专利摘要】超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。随着超精密加工水平的日益提高，加工表面微观形貌的检测问题也越来越引起人们的重视。本实用新型的组成包括:床身（1），在床身上安装有X向导轨电机（3）、Z向导轨电机（9），在Z向导轨电机上安装有Z向溜板（7），在X向导轨电机上安装有X向溜板（2），激光测量头（13）安装在X向溜板上，主轴箱（6）安装在Z向溜板上，主轴箱与主轴电机（8）连接，主轴箱另一端与真空吸盘（5）连接，在激光测量头上安装有测量柱面激光输出（12）、测量端面激光输出（11），在X向溜板上安装有刀架（10）。本实用新型用于超精密加工表面微观形貌的非接触在线检测。
【专利说明】超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置
[0001]【技术领域】:
[0002]本实用新型涉及一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。
[0003]【背景技术】:
[0004]随着超精密加工水平的日益提高，加工表面微观形貌的检测问题也越来越引起人们的重视。加工和检测相互依存，缺一不可。超精密加工设备与测试仪器的界限越来越不明显。对于超精密加工来说，在线检测显得尤为重要。目前国际上能达到亚纳米级灵敏度的同轴式干涉轮廓仪虽然已有成功的研究成果，但它们一般并不是针对加工表面微观形貌在线测量而考虑的，有的也只是在特定条件下才能进行测量。
[0005]实用新型内容:
[0006]本实用新型的目的是提供一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置。
[0007]上述的目的通过以下的技术方案实现:
[0008]一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身，在所述的床身上安装有X向导轨电机、Z向导轨电机，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板，激光测量头安装在所述的X向溜板上，主轴箱安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出、测量端面激光输出，在所述的X向溜板上安装有刀架。
[0009]有益效果:
[0010]本实用新型专门应用于超精密车床在线检测加工表面微观形貌的检测系统，是一种新式高分辨率同轴式激光轮廓仪与超精密车床的有机结合，突破了传统的必须卸下工件才能对其进行检测的限制，实现了加工与检测的一体化，达到了检测真正服务于加工的目的。本实用新型在利用超精密车床精密气浮导轨作为激光轮廓仪工作台的条件下，测量车削加工表面微观形貌时，在高度方向上的分辨率按国际惯用的均方值表示已优于0.lnm。
[0011]【专利附图】
【附图说明】:
[0012]附图1是本实用新型的结构示意图。图中，4为工件。
[0013]【具体实施方式】:
[0014]实施例1:
[0015]一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身1，在所述的床身上安装有X向导轨电机3、z向导轨电机9，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板7，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板2，激光测量头13安装在所述的X向溜板上，主轴箱6安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机8连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘5连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出12、测量端面激光输出11，在所述的X向溜板上安装有刀架10。
[0016]实施例2:
[0017]所述的超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，X向和Z向导轨是T形布局，主轴箱置于Z向溜板上，激光测量头置于X向溜板上。测量头在实线位置时为测量工件端面，在虚线位置时为测量工件柱面。在车床的性能参数中，X向和Z向导轨的直线度和重复定位精度是影响测量精度的关键。当对工件端面进行测量时，把激光测量头置于实线位置，Z向导轨静止，开动X向导轨承载激光测量头沿工件端面进行扫描即可进行工作。图1中，若测量工件柱面，则使X向导轨静止，激光测量头置于虚线位置，开动Z向导轨便可进行测量。
【权利要求】
1.一种超精密加工表面微观形貌非接触在线检测装置，其组成包括:床身，其特征是:在所述的床身上安装有X向导轨电机、Z向导轨电机，在所述的Z向导轨电机上安装有Z向溜板，在所述的X向导轨电机上安装有X向溜板，激光测量头安装在所述的X向溜板上，主轴箱安装在所述的Z向溜板上，所述的主轴箱与主轴电机连接，所述的主轴箱另一端与真空吸盘连接，在所述的激光测量头上安装有测量柱面激光输出、测量端面激光输出，在所述的X向溜板上安装有刀架。
【文档编号】B23B25/06GK203649431SQ201420033767
【公开日】2014年6月18日 申请日期:2014年1月20日 优先权日:2014年1月20日
【发明者】宫大为, 李晓宁, 邹学军, 许可, 赵爽宇 申请人:电子科技大学