一种振镜调平装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种振镜调平装置，包括检测装置和调节装置，所述调节装置还包括实现振镜与工作平台平行度调节的第一调节单元和第二调节单元以及连接所述第一调节单元和第二调节单元的连接装置。通过连接装置连接第一调节单元和第二调节单元，该第一调节单元和第二调节单元可方便的调节振镜在X、Y轴两垂直方向上的角度，从而实现振镜与工作平台平行度的调节。
【专利说明】—种振镜调平装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及激光加工领域，具体涉及一种振镜调平装置。
【背景技术】
[0002]激光蚀刻机是一种较为先进的激光加工设备，主要应用于触摸屏电路加工及修复。激光蚀刻主要应用振镜进行加工，振镜与工作平台的平行度决定激光焦点是否在同一平面内，如果激光焦点不在同一平面内将直接影响蚀刻线型的好坏及蚀刻线条的粗细，如果振镜与工作台的夹角过大将会出现加工不均匀的现象，从而导致银浆膜或屏幕报废。现有的固定振镜的方法较为简单，调节振镜角度比较麻烦，导致振镜安装聚焦镜的平面与平台的平行度无法保证。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种振镜调平装置，克服现有技术调节振镜与工作平台平行度麻烦的缺陷。
[0004]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:一种振镜调平装置，包括检测装置和调节装置，所述调节装置还包括实现振镜与工作平台平行度调节的第一调节单元和第二调节单元以及连接所述第一调节单元和第二调节单元的连接装置。
[0005]本实用新型的更进一步优选方案是:所述连接装置包括两块一体式垂直设置的立板，其中一块立板上设 有通孔。
[0006]本实用新型的更进一步优选方案是:所述调节装置还包括固定在Z轴工作台上的支撑板和用于安装振镜的连接板。
[0007]本实用新型的更进一步优选方案是:所述第一调节单元安装在所述支撑板上，所述连接板安装在所述第二调节单元上。
[0008]本实用新型的更进一步优选方案是:所述第一调节单元和第二调节单元均包括基板、设置于所述基板上的旋转台、调节所述旋转台在所述基板上转动的调节旋钮以及锁紧所述旋转台和基板的锁紧装置。
[0009]本实用新型的更进一步优选方案是:所述第一调节单元的旋转台的轴线与Y轴平行，所述第二调节单元的旋转台的轴线与X轴平行。
[0010]本实用新型的更进一步优选方案是:所述连接板和第二调节单元均设有可使激光通过的通孔，该通孔与所述连接装置立板通孔及振镜入光口同轴。
[0011]本实用新型的更进一步优选方案是:所述的振镜固定设置有一振镜校正块。
[0012]本实用新型的更进一步优选方案是:所述检测装置包括千分表，该千分表固定在一 X-Y轴工作平台上。
[0013]本实用新型的更进一步优选方案是:所述千分表的表头与所述振镜校正块相抵
O
[0014]本实用新型的有益效果在于，通过连接装置连接第一调节单元和第二调节单元，该第一调节单元和第二调节单元可方便的调节振镜在X、Y轴两垂直方向上的角度，从而实现振镜与工作平台平行度的调节。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中:
[0016]图1是本实用新型的振镜调平装置的立体结构示意图；
[0017]图2是为本实用新型振镜调平装置的调节装置立体结构示意图；
[0018]图3是本实用新型的振镜调平装置的连接装置立体结构示意图；
[0019]图4是本实用新型的振镜调平装置的检测装置立体结构示意图。
【具体实施方式】
[0020]现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。
[0021]如图1所示，为本实用新型优选实施例的振镜调平装置立体结构示意图。所述振镜调平装置包括检测装置和调节装置。所述检测装置包括千分表，该千分表固定在一 X-Y轴工作平台上；所述调节装置包括固定在Z轴工作台上的支撑板3、用于安装振镜的连接板
5、配合实现振镜6与工作平台平行度调节的第一调节单元I和第二调节单元4以及连接所述第一调节单元I和第二调节单元4的连接装置2 ;所述的振镜6固定设置有一振镜校正块
7。所述检测装置用于检测振镜与工作平台之间是否平行，所述调节装置用于调节振镜与工作平台之间的角度，使振镜与工作平台保持平行。检测调节时，首先把千分表8固定在X-Y轴工作平台9上，将千分表8表头与振镜校正块7相抵靠并有一定的读数，移动X轴工作平台并观察千分表8读数，如有读数变化，则调节所述第一调节单元I使读数在误差允许范围内，移动Y轴工作平台并观察千分表8读数，如有读数变化，则调节所述第二调节单元4使读数在误差允许范围内，所述误差允许范围为0-10微米，优选为0-1微米。
[0022]如图2、图3所示，图2为本实用新型优选实施例的振镜调平装置的调节装置爆炸结构示意图。图3为本实用新型的振镜调平装置的连接装置2立体结构示意图。所述调节装置包括固定在Z轴工作台上的支撑板3、安装于该支撑板3上的第一调节单元1、安装于该第一调节单元I上的连接装置2、安装于该连接装置2上的第二调节单元4以及用于连接振镜并安装于所述第二调节单元4上的连接板5。所述连接装置2包括两块一体式垂直设置的立板，两垂直设置的立板分别用于安装所述第一调节单元I和所述第二调节单元4，其中一块立板上设有通孔。所述连接板5和第二调节单元4均设有可使激光通过的通孔，该通孔与所述连接装置2立板通孔及振镜入光口同轴。所述第一调节单元I包括基板11、设置于所述基板11上的旋转台12、调节所述旋转台12在所述基板11上转动的调节旋钮以及锁紧所述旋转台12和基板11的锁紧装置13。所述第二调节单元4包括基板41、设置于所述基板41上的旋转台42、调节所述旋转台42在所述基板41上转动的调节旋钮44以及锁紧所述旋转台42和基板41的锁紧装置43。所述第一调节单元I的旋转台12的轴线与Y轴平行，所述第二调节单元4的旋转台42的轴线与X轴平行，因此通过调节所述第一调节单元I的旋转台12可调节振镜6与工作平台平台沿X轴方向的水平度，通过调节所述第二调节单元4的旋转台42可调节振镜6与平台Y轴方向的水平度。所述连接板5将振镜6安装到所述第二调节单元4的旋转台42上，该第二调节单元4的基板41则安装到所述连接装置2带通孔的立板上，所述连接装置2另一立板与所述第一调节单元I的旋转台12固定，而该第一调节单元I的基板11则安装在所述支撑板3上，通过该支撑板3将所述调节装置整体安装到Z轴工作台上。因此，当检测装置检测到振镜与工作平台不平行时，便可通过所述第一调节单元I和所述第二调节单元4配合调节，使振镜与工作平台平行。所述第一调节单元I和所述第二调节单元4优选采用旋转滑台，其也可为其它任何形式的角度调节装置。
[0023]如图4所示，为本实用新型的振镜调平装置的检测装置立体结构示意图。所述检测装置包括包括千分表8、X-Y轴工作平台9以及振镜校正块7。所述千分表8固定在所述X-Y轴工作平台9上，其表头与所述振镜校正块7相抵靠。所述振镜校正块7用于固定到振镜上，移动X-Y工作平台带动千分表8表头在所述振镜校正块7上移动，通过检测振镜校正块7与工作平台的平行度来确定振镜与工作平台是否平行。
[0024]所述振镜调平装置的调平方法方法包括以下步骤:Α、固定千分表8到X-Y轴工作平台9上，使所述千分表8的表头与振镜校正块7相抵靠，此时千分表8具有一定读数；Β、移动X轴工作平台并观察千分表8读数，如读数变化则通过所述第一调节单元I的调节旋钮调节旋转台12使读数在误差允许范围内，再通过所述第一调节单元I的锁紧装置13锁紧所述旋转台12 ;C、移动Y轴工作平台并观察千分表8读数，如读数变化则通过所述第二调节单元4的调节旋钮44调节旋转台42使读数在误差允许范围内，再通过所述第二调节单元4的锁紧装置43锁紧所述旋转台42。
[0025]应当理解的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而所有这些修改和替换，都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
【权利要求】
1.一种振镜调平装置，包括检测装置和调节装置，其特征在于:所述调节装置还包括实现振镜与工作平台平行度调节的第一调节单元和第二调节单元，以及连接所述第一调节单元和第二调节单元的连接装置。
2.根据权利要求1所述的振镜调平装置，其特征在于:所述连接装置包括两块一体式垂直设置的立板，其中一块立板上设有通孔。
3.根据权利要求1所述的振镜调平装置，其特征在于:所述调节装置还包括固定在Z轴工作台上的支撑板和用于安装振镜的连接板。
4.根据权利要求3所述的振镜调平装置，其特征在于:所述第一调节单元安装在所述支撑板上，所述连接板安装在所述第二调节单元上。
5.根据权利要求1所述的振镜调平装置，其特征在于:所述第一调节单元和第二调节单元均包括基板、设置于所述基板上的旋转台、调节所述旋转台在所述基板上转动的调节旋钮，以及锁紧所述旋转台和基板的锁紧装置。
6.根据权利要求5所述的振镜调平装置，其特征在于:所述第一调节单元的旋转台的轴线与Y轴平行，所述第二调节单元的旋转台的轴线与X轴平行。
7.根据权利要求6所述的振镜调平装置，其特征在于:所述连接板和第二调节单元均设有可使激光通过的通孔，该通孔与所述连接装置立板通孔及振镜入光口同轴。
8.根据权利要求1所述的振镜调平装置，其特征在于:所述的振镜固定设置有一振镜校正块。
9.根据权利要求1所述的振镜调平装置，其特征在于:所述检测装置包括千分表，该千分表固定在一 X-Y轴工作平台上。
10.根据权利要求9所述的振镜调平装置，其特征在于:所述千分表的表头与所述振镜校正块相抵靠。
【文档编号】B23K26/70GK203751539SQ201420062176
【公开日】2014年8月6日 申请日期:2014年2月11日 优先权日:2014年2月11日
【发明者】刘雪松, 叶超平, 张世民, 李立桥, 杨锦彬, 高云峰 申请人:深圳市大族激光科技股份有限公司