一种激光分束装置制造方法

文档序号:3158236阅读:366来源:国知局
一种激光分束装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种激光分束装置,包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、扩散性衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。本实用新型通过将一束激光分为两束或多束激光,分束后的光斑可以为一维或者二维分布,光斑间距离可调;本实用新型主要用于激光打标机和切割机等用途。
【专利说明】 一种激光分束装置

【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种分束装置,尤其涉及一种激光分束装置。

【背景技术】
[0002]衍射光学元件(DOE:Diffractive Optical Elements),是基于光波的衍射理论,利用计算机辅助设计,并通过半导体芯片制造工艺,在基片上(或传统光学器件表面)刻蚀产生台阶型或连续浮雕结构,形成同轴再现、且具有极高衍射效率的一类光学元件,而现阶段的衍射光学元件不能够进行激光分束,给科学实验带来了不便。
实用新型内容
[0003]本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种激光分束装置。
[0004]本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的:
[0005]本实用新型包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、扩散性衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。
[0006]本实用新型的有益效果在于:
[0007]本实用新型通过将一束激光分为两束或多束激光,分束后的光斑可以为一维或者二维分布,光斑间距离可调;本实用新型主要用于激光打标机和切割机等用途。

【专利附图】

【附图说明】
[0008]图1是本实用新型所述一种激光分束装置的结构示意图。

【具体实施方式】
[0009]下面结合附图对本实用新型作进一步说明:
[0010]如图1所示:本实用新型包括镜架2、扩束输入镜1、扩束输出镜3、光阑4、扩散性衍射光学元件5和聚焦镜6,扩束输入镜I和聚焦镜6分别设置于镜架2的两端,扩束输出镜3、光阑4和扩散性衍射光学元件5依次设置于镜架2内。
[0011]本实用新型的工作原理如下:
[0012]本实用新型包括一组扩束镜,一个光阑,一个分束型衍射光学元件,一个聚焦镜组成,其中扩束透镜包括扩束输入镜、扩束输出镜。扩束镜的作用是扩束和准直,光阑的作用是获得面积合适的光斑,分束型衍射光学元件的作用是按照设计将一束光分成特定排列的几束光,聚焦镜的作用是通过聚焦获得目标光斑大小。
[0013]首先根据入射激光的波长,工作距离等参数,通过衍射光学设计出相应的全息结构,然后利用光刻和刻蚀的方法将其转移和制作在石英基材表面上,得到分束型衍射光学元件。
[0014]工作时,一束激光通过扩束镜,经过扩束准直的激光通过光阑形成面积合适的光斑,再通过分束型衍射光学元件后形成多束激光,最后通过聚焦镜将光束聚焦成目标面积的光斑。
[0015]本领域技术人员不脱离本实用新型的实质和精神,可以有多种变形方案实现本实用新型,以上所述仅为本实用新型较佳可行的实施例而已,并非因此局限本实用新型的权利范围,凡运用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变化,均包含于本实用新型的权利范围之内。
【权利要求】
1.一种激光分束装置,其特征在于:包括镜架、扩束输入镜、扩束输出镜、光阑、扩散性衍射光学元件和聚焦镜,所述扩束输入镜和所述聚焦镜分别设置于所述镜架的两端,所述扩束输出镜、所述光阑和所述扩散性衍射光学元件依次设置于所述镜架内。
【文档编号】B23K26/067GK204262588SQ201420618500
【公开日】2015年4月15日 申请日期:2014年10月24日 优先权日:2014年10月24日
【发明者】马衍强 申请人:北京润和微光科技有限公司
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