技术特征：
1.一种激光加工装置，其通过对于对象物照射激光，在所述对象物的内部沿着假想面形成改性区域，所述激光加工装置的特征在于，包括：支承所述对象物的支承部；对由所述支承部支承着的所述对象物照射所述激光的照射部；使所述支承部和所述照射部中的至少一者移动的移动机构；和控制所述照射部和所述移动机构的控制部，所述照射部具有：调制所述激光的空间光调制器；和使由所述空间光调制器调制后的所述激光聚光于所述对象物的聚光部，所述控制部执行第1控制，该第1控制利用所述空间光调制器调制所述激光，以使所述激光分束成多束加工光，并且多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置，在所述第1控制中，调制所述激光，以使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述对象物的跟激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在从构成所述改性区域的多个改性点延伸且沿着所述假想面伸展而相连的裂纹。2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：从多个所述改性点延伸的所述裂纹，以沿着所述假想面呈平面状地扩展的方式相连。3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在于：所述对象物包括基板和设置在所述基板的与激光入射侧相反的一侧的功能元件层。4.如权利要求1～3中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，使多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向上移动，以使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述相反面之间存在所述裂纹。5.如权利要求1～4中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：所述控制部执行第2控制，该第2控制利用所述移动机构使所述支承部和所述照射部中的至少一者移动，以使得多束所述加工光的所述聚光点的位置沿着所述假想面移动。6.如权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第2控制中，使所述支承部和所述照射部中的至少一者移动，以使得多束所述加工光的所述聚光点的位置沿着加工用线移动，从多个所述改性点延伸的所述裂纹在沿着所述加工用线的方向和与所述加工用线交叉的方向上伸展而相连。7.如权利要求1～6中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，调制所述激光，以使得在所述照射方向上多束所述加工光各自的聚光点相对于该加工光的理想聚光点位于与所述激光的非调制光的聚光点相反的一侧，或者，多束所述加工光各自的聚光点相对于所述非调制光的聚光点位于与该加工光的理想聚光点相反的一侧。8.如权利要求1～7中任一项所述的激光加工装置，其特征在于：在所述第1控制中，调制所述激光，以使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述对象物的所述相反面之间存在所述改性区域。9.一种激光加工方法，通过对于对象物照射激光，在所述对象物的内部沿着假想面形
成改性区域，所述激光加工方法的特征在于，包括：使所述激光分束成多束加工光，并使多束所述加工光的多个聚光点在与所述激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置的工序，在该工序中，使得在所述照射方向上在所述激光的非调制光的聚光点与所述对象物的跟激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在从构成所述改性区域的多个改性点延伸且沿着所述假想面伸展而相连的裂纹。
技术总结
激光加工装置包括照射部和控制部。照射部具有空间光调制器和使由空间光调制器调制后的激光聚光于对象物的聚光部。控制部执行第1控制，该第1控制利用空间光调制器调制激光，以使激光分束成多束加工光，并且多束加工光的多个聚光点在与激光的照射方向垂直的方向上位于彼此不同的位置。在第1控制中，调制激光，以使得在照射方向上在激光的非调制光的聚光点与对象物的跟激光入射面相反的一侧的相反面之间，存在从构成改性区域的多个改性点延伸且沿着假想面伸展而相连的裂纹。沿着假想面伸展而相连的裂纹。沿着假想面伸展而相连的裂纹。
技术研发人员：坂本刚志 是松克洋 荻原孝文
受保护的技术使用者：浜松光子学株式会社
技术研发日：2021.07.13
技术公布日：2023/3/17