靶材加工定位装置的制作方法

本发明涉及靶材加工，具体是靶材加工定位装置。

背景技术：

1、平面靶材在生产过程中，需要通过加工设备进行表面和端面的机加工，为提高靶材在加工过程中的稳定性，需要设置定位装置对靶材进行定位。

2、在通过定位装置对平面靶材进行定位装夹的过程中，需要对靶材进行调节移位，以使得靶材与加工设备的加工坐标轴对正。而现有的靶材定位装置，其在调节移位的过程中，靶材不可避免地会与放置靶材的台面发生摩擦接触，进而使得靶材表面产生刮伤，导致靶材成品的质量下降，因此有必要提出改进。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供靶材加工定位装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、靶材加工定位装置，包括工作台，所述工作台的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板，所述承托板的中部设置有送气台，所述送气台的中部开设有若干个中心通气口，若干个所述中心通气口的内壁均固定连接有悬浮送气管，所述送气台的两端均固定安装有激光测距仪；所述定位单元包括外罩板，所述外罩板的内部固定安装有定位气缸，所述定位气缸的输出端固定连接有定位推杆，所述定位推杆的一端固定连接有对接板，所述对接板的一侧卡合连接有定位夹持板，所述定位夹持板远离对接板的一侧开设有若干个竖向等距排布的通槽。

4、作为本发明进一步的方案：所述承托板的顶部边沿开设有若干个侧边通气孔，所述承托板的下方设置有若干个侧边送气单元，所述侧边送气单元包括送气盒，所述送气盒的顶部固定连接有侧边通气管，所述侧边通气管的顶部与通气孔的顶部对应设置，所述送气盒的一侧固定连接有进气软管，所述进气软管外接风机的输出端固定连接。

5、作为本发明进一步的方案：所述侧边送气单元还包括用于对送气盒进行移位调节的移位机构，所述移位机构包括升降气缸，所述升降气缸的输出端固定安装有平移导轨，所述送气盒滑动安装于平移导轨的内壁。

6、作为本发明进一步的方案：所述升降气缸的一侧设置有挡板，所述挡板的一侧开设有限位槽，所述平移导轨的一侧固定连接有限位板，所述限位板的一侧与限位槽滑动连接。

7、作为本发明进一步的方案：所述送气台的下方设置有送气分流单元，所述送气分流单元包括分流箱，若干个所述悬浮送气管的底部均与分流箱的顶部固定连接，所述分流箱内壁的两侧均固定连接有导引板，两个所述导引板之间固定连接有分流板，所述分流板的中部开设有若干个分流气孔，所述分流箱的底部固定连接有进风管，所述进风管的一端与外接风机的输出端固定连接。

8、作为本发明进一步的方案：对接板靠近定位气缸的一侧固定连接有若干个定位杆，若干个所述定位杆均与外罩板的一端滑动连接。

9、作为本发明进一步的方案：若干个所述悬浮送气管的顶部均螺纹连接有安装环，所述安装环的直径大于中心通气口的直径，所述悬浮送气管的一端固定连接有抵推块，所述抵推块的顶部与安装环底部之间的间距与工作台厚度一致。

10、与现有技术相比，本发明的有益效果是：本发明通过设置悬浮单元，在进行靶材的夹持定位操作时，由靶材底面向上通气，使得靶材悬浮，以此减少定位单元在夹持推移靶材移动的过程中，靶材底面与设备间的接触磨损，提高靶材成品的质量；本申请通过设置侧边送气单元，在较大面积的靶材的夹持定位操作的过程中，对其边沿进行辅助送气支撑，避免单一由中部的悬浮单元送气带来的靶材边沿位置不稳定的问题，配合设置移位机构，对侧边通气管的位置进行调节，使其与不同位置的侧边通气孔对正，满足对不同形状靶材边沿的通气吹送需要。

技术特征：

1.靶材加工定位装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板(5)，所述承托板(5)的中部设置有送气台(8)，所述送气台(8)的中部开设有若干个中心通气口，若干个所述中心通气口的内壁均固定连接有悬浮送气管(9)；所述承托板(5)的顶部边沿开设有若干个侧边通气孔(6)，所述承托板(5)的下方设置有若干个侧边送气单元。

2.根据权利要求1所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述定位单元包括外罩板(2)，所述外罩板(2)的内部固定安装有定位气缸(23)，所述定位气缸(23)的输出端固定连接有定位推杆，所述定位推杆的一端固定连接有对接板(3)，所述对接板(3)的一侧卡合连接有定位夹持板(4)。

3.根据权利要求1所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述侧边送气单元包括送气盒(15)，所述送气盒(15)的顶部固定连接有侧边通气管(18)，所述侧边通气管(18)的顶部与通气孔的顶部对应设置，所述送气盒(15)的一侧固定连接有进气软管(16)。

4.根据权利要求3所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述侧边送气单元还包括用于对送气盒(15)进行移位调节的移位机构，所述移位机构包括升降气缸(17)，所述升降气缸(17)的输出端固定安装有平移导轨(14)，所述送气盒(15)滑动安装于平移导轨(14)内。

5.根据权利要求4所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述升降气缸(17)的一侧设置有挡板(13)，所述挡板(13)的一侧开设有限位槽，所述平移导轨(14)的一侧固定连接有限位板，所述限位板的一侧与限位槽滑动连接。

6.根据权利要求1所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述送气台(8)的下方设置有送气分流单元，所述送气分流单元包括分流箱(19)，若干个所述悬浮送气管(9)的底部均与分流箱(19)的顶部固定连接，所述分流箱(19)内壁的两侧均固定连接有导引板(20)，两个所述导引板(20)之间固定连接有分流板(21)，所述分流板(21)的中部开设有若干个分流气孔，所述分流箱(19)的底部固定连接有进风管(22)。

7.根据权利要求6所述的靶材加工定位装置，其特征在于，若干个所述悬浮送气管(9)的顶部均螺纹连接有安装环(12)，所述安装环(12)的直径大于中心通气口的直径，所述悬浮送气管(9)的一端固定连接有抵推块(7)。

8.根据权利要求2所述的靶材加工定位装置，其特征在于，所述对接板(3)的一侧固定连接有若干个定位杆(24)，若干个所述定位杆(24)均与外罩板(2)滑动连接。

技术总结
本发明公开了靶材加工定位装置，涉及靶材加工技术领域，包括工作台，所述工作台的中部设置有用于推动靶材悬浮的悬浮单元，所述悬浮单元的四周设置有若干个用于对靶材夹持定位的定位单元，所述悬浮单元包括承托板，所述承托板的中部设置有送气台，所述送气台的中部开设有若干个中心通气口，若干个所述中心通气口的内壁均固定连接有悬浮送气管；所述承托板的顶部边沿开设有若干个侧边通气孔，所述承托板的下方设置有若干个侧边送气单元；本发明通过设置悬浮单元，在进行靶材的夹持定位操作时，向靶材底面通气使得靶材悬浮，以此减少定位单元在夹持推移靶材移动的过程中，靶材底面与设备间的接触磨损，以此提高靶材的质量。

技术研发人员：陆杨军,郭庆生,蒋波,赖家俊
受保护的技术使用者：先导薄膜材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12