一种光路切换装置及激光加工设备的制作方法

本技术涉及激光加工，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。

背景技术：

1、led晶圆长条晶产品是一种长条状led芯片晶圆，tcut光路系统可以提升晶粒切后的对抗折断强度，但是对于对长宽比大于5:1的长条晶产品(长边超过1000um)，仅采用单一的光束对其进行切割且长边和短边的切割效果会存在一定的差别，一致性较差；而如果更换到不同的切割设备去进行二次切割，会增加整体的工作流程，效率随之下降。

技术实现思路

1、本实用新型解决的问题是现有切割流程导致的切割质量与加工效率过低。

2、一方面，为解决上述问题，本实用新型提供一种光路切换装置，所述光路切换装置包括第一光路通道，所述第一光路组件安装于所述底座上，激光经所述第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；所述第二光路组件包括第二光路通道，所述第二光路组件活动安装于所述底座上，所述第二光路组件适于移入或移出所述第一光路通道，所述激光经所述第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。

3、可选地，所述光路切换装置还包括驱动机构，所述驱动机构安装于所述底座上，所述驱动机构与所述第二光路组件驱动连接，所述驱动机构适于驱动所述第二光路组件沿第一方向移动。

4、可选地，所述底座上设置有电磁铁，所述第二光路组件包括安装座，所述电磁铁位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，当所述第二光路组件移入所述第一光路通道时，所述电磁铁用于吸附所述安装座以实现所述第二光路组件的固定。

5、可选地，所述电磁铁的数量为两个，所述驱动机构位于两个所述电磁铁之间。

6、可选地，所述底座上设置有限位块，所述安装座上设置有缓冲件，所述限位块位于所述缓冲件和所述驱动机构之间，所述缓冲件适于与所述限位块止挡配合。

7、可选地，所述安装座上还设置有滑块结构，所述底座上还设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接。

8、可选地，所述底座上还设置有限位件，所述限位件位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，所述限位件用于所述滑块结构的限位。

9、可选地，所述第二光路组件还包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜活动安装在所述安装座上，所述第一透镜和所述第二透镜适于沿第二方向移动。

10、可选地，所述第一光路组件包括第一反射镜和第二反射镜，所述第二光路组件适于在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间沿所述第一方向移动。

11、另一方面，本实用新型实施例还提供一种激光加工设备，包括如上所述的光路切换装置。

12、相对于现有技术，本实用新型实施例提供的光路切换装置所具有的有益效果是：

13、通过可相对于底座移动的第二光路组件，可以将第二光路组件移入或移出第一光路组件的第一光路通道，使得第二光路通道与第一光路通道重叠或错位，出射的激光光束可以在第一光束和第二光束之间切换，从而可以针对不同的产品选择第一光束或第二光束对产品进行对应性加工，保障产品整体激光加工的一致性。

技术特征：

1.一种光路切换装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光路切换装置，其特征在于，还包括驱动机构，所述驱动机构安装于所述底座上，所述驱动机构与所述第二光路组件驱动连接，所述驱动机构适于驱动所述第二光路组件沿第一方向移动。

3.根据权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，所述底座上设置有电磁铁，所述第二光路组件包括安装座，所述电磁铁位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，当所述第二光路组件移入所述第一光路通道时，所述电磁铁用于吸附所述安装座以实现所述第二光路组件的固定。

4.根据权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，所述电磁铁的数量为两个，所述驱动机构位于两个所述电磁铁之间。

5.根据权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，所述底座上设置有限位块，所述安装座上设置有缓冲件，所述限位块位于所述缓冲件和所述驱动机构之间，所述缓冲件适于与所述限位块止挡配合。

6.根据权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，所述安装座上还设置有滑块结构，所述底座上还设置有滑轨结构，所述滑块结构与所述滑轨结构滑动连接。

7.根据权利要求6所述的光路切换装置，其特征在于，所述底座上还设置有限位件，所述限位件位于所述安装座靠近所述驱动机构的一侧，所述限位件用于所述滑块结构的限位。

8.根据权利要求3所述的光路切换装置，其特征在于，所述第二光路组件还包括第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和所述第二透镜活动安装在所述安装座上，所述第一透镜和所述第二透镜适于沿第二方向移动。

9.根据权利要求2所述的光路切换装置，其特征在于，所述第一光路组件包括第一反射镜和第二反射镜，所述第二光路组件适于在所述第一反射镜和所述第二反射镜之间沿所述第一方向移动。

10.一种激光加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的光路切换装置。

技术总结
本申请涉及激光加工技术领域，具体而言，涉及一种光路切换装置及激光加工设备。光路切换装置包括底座、第一光路组件、第二光路组件，第一光路组件包括第一光路通道，第一光路组件安装于底座上，激光经第一光路通道射出时的出射光束为第一光束；第二光路组件包括第二光路通道，第二光路组件活动安装于底座上，第二光路组件适于移入或移出第一光路通道，激光经第二光路通道射出时的出射光束为第二光束。本申请通过将第二光路组件移入或移出第一光路通道，使得激光光束可以在第一光束和第二光束之间切换，从而可以针对不同的产品选择第一光束或第二光束对产品进行对应性加工，保障产品整体激光加工的一致性。

技术研发人员：黄伟耿,李东宇,曾威,尹建刚,高云峰
受保护的技术使用者：深圳市大族半导体装备科技有限公司
技术研发日：20221226
技术公布日：2024/1/13