一种激光加工装置的制作方法

本发明涉及激光加工设备，特别是一种激光加工装置。

背景技术：

1、传统激光加工系统，激光器发出激光，通过外光路系统后，进入了扫描振镜，通过振镜的偏转，改变光束路径，最后通过聚焦场镜，在工件表面进行加工。传统的激光加工方式，无法根据需求对光束直径进行调整，即聚焦场镜最后出射的光斑大小无法根据需求加工需求进行调整，降低了加工效率。

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种激光加工装置，能够根据需求对光束直径进行调整，有效地提升加工效率。

2、根据本发明实施例的激光加工装置，包括激光模块、振镜调节模块、激光聚焦模块、加工平面、控制模块、至少一个扩束模块及至少一个光斑调节器；所述激光模块用于发射至少一束激光；每一个所述扩束模块设于所述激光模块的对应激光光路上，用于改变对应所述激光的光束直径和发散角；每一个所述光斑调节器设于对应所述扩束模块的输出光路上，用于调节对应所述扩束模块出射光束的直径；所述振镜调节模块具有至少一个入射光路以及至少一个与对应所述入射光路匹配的出射光路，所述入射光路向对应的所述光斑调节器的所在方向延伸；所述激光聚焦模块设于所述出射光路上，用于输出聚焦激光光束；所述加工平面设于所述激光聚焦模块的输出光路上；所述控制模块分别与所述激光模块和所述振镜调节模块电性连接。

3、根据本发明的一些实施例，所述激光模块包括第一激光器和第一反射单元；所述第一激光器用于发射第一激光；所述第一反射单元位于所述第一激光器的输出光路上，且所述第一反射单元的反射光路向对应的所述扩束模块的所在方向延伸。

4、根据本发明的一些实施例，所述激光模块还包括分光反射单元，所述分光反射单元位于所述第一激光器和所述第一反射单元之间，所述分光反射单元的透射光路向所述第一反射单元的所在方向延伸，所述分光反射单元的反射光路向对应的所述扩束模块的所在方向延伸。

5、根据本发明的一些实施例，所述激光模块包括至少一个激光器，所述激光器朝对应的所述扩束模块发射所述激光。

6、根据本发明的一些实施例，所述第一反射单元包括至少一个反射光片，所述分光反射单元包括至少一个分光反射光片。

7、根据本发明的一些实施例，所述激光模块包括第一激光器、第二激光器、第一反射单元和第二反射单元；所述第一激光器用于发射第一激光；所述第二激光器用于发射第二激光；所述第一反射单元位于所述第一激光器的输出光路上，且所述第一反射单元的反射光路向对应的所述扩束模块的所在方向延伸；所述第二反射单元，位于所述第二激光器的输出光路上，且所述第二反射单元的反射光路向对应的所述扩束模块的所在方向延伸。

8、根据本发明的一些实施例，所述扩束模块包括扩束镜，所述扩束镜设于所述激光模块的对应激光光路上，用于改变对应所述激光的光束直径，所述扩束镜朝对应的所述光斑调节器输出调节后的光束。

9、根据本发明的一些实施例，所述扩束模块还包括第三反射单元，所述第三反射单元位于所述扩束镜的输出光路上，所述第三反射单元的反射光路向对应的所述光斑调节器的所在方向延伸。

10、根据本发明的一些实施例，所述振镜调节模块包括调节平台、至少一个第一振镜和至少一个第二振镜，每一个所述第一振镜位于对应的所述光斑调节器的输出光路上；每一个所述第二振镜位于对应的所述第一振镜的输出光路上；所述调节平台用于分别固定所述第一振镜及所述第二振镜，且能够分别单独调节对应的所述第一振镜及所述第二振镜的位置。

11、根据本发明的一些实施例，所述光斑调节器包括转盘和驱动件，所述转盘设有若干个不同直径的通孔，若干个所述通孔沿所述转盘的周向分布；所述驱动件的驱动端与所述转盘传动连接，用于驱动所述转盘转动。

12、根据本发明的一些实施例，所述光斑调节器包括底座和转盘；底座，所述转盘设有若干个不同直径的通孔，若干个所述通孔沿所述转盘的周向分布，且所述转盘转动连接在所述底座上。

13、本发明实施例至少具有如下有益效果：利用扩束模块，可以改变对应激光的光束直径和发散角，再配合光斑调节器，则可以在发散角不变的情况下，根据需求对光束直径进行调节，能够避免因直接调节扩束模块而带来的焦点变化以及导致振镜调节模块校准精度丢失的问题，有效地提升了加工效率。

14、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种激光加工装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光模块(100)包括：

3.根据权利要求2所述的激光加工装置，其特征在于：所述激光模块(100)还包括分光反射单元(130)，所述分光反射单元(130)位于所述第一激光器(110)和所述第一反射单元(120)之间，所述分光反射单元(130)的透射光路向所述第一反射单元(120)的所在方向延伸，所述分光反射单元(130)的反射光路向对应的所述扩束模块(200)的所在方向延伸。

4.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于，所述激光模块(100)包括：

5.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述扩束模块(200)包括扩束镜(210)，所述扩束镜(210)设于所述激光模块(100)的对应激光光路上，用于改变对应所述激光的光束直径，所述扩束镜(210)朝对应的所述光斑调节器(300)输出调节后的光束。

6.根据权利要求5所述的激光加工装置，其特征在于：所述扩束模块(200)还包括第三反射单元(220)，所述第三反射单元(220)位于所述扩束镜(210)的输出光路上，所述第三反射单元(220)的反射光路向对应的所述光斑调节器(300)的所在方向延伸。

7.根据权利要求1所述的激光加工装置，其特征在于：所述振镜调节模块(400)包括：

8.根据权利要求1至7任一项所述的激光加工装置，其特征在于，所述光斑调节器(300)包括：

9.根据权利要求1至7任一项所述的激光加工装置，其特征在于，所述光斑调节器(300)包括：

技术总结
本发明涉及激光加工设备技术领域，公开了一种激光加工装置，能够对光束直径进行调整。本发明包括激光模块、振镜调节模块、激光聚焦模块、加工平面、控制模块、扩束模块和光斑调节器；扩束模块设于激光模块的对应激光光路上；光斑调节器设于对应扩束模块的输出光路上；振镜调节模块具有至少一个入射光路以及至少一个与对应入射光路匹配的出射光路，入射光路向对应的光斑调节器的所在方向延伸；激光聚焦模块设于出射光路上。本发明利用扩束模块，能改变对应激光的光束直径和发散角，再配合光斑调节器，能在发散角不变的情况下，对光束直径进行调节，避免因直接调节扩束模块而带来的焦点变化及导致振镜调节模块校准精度丢失的问题，提升了加工效率。

技术研发人员：董岱,郭良,李加全,刘涛,何家旺,王天一
受保护的技术使用者：珠海东辉半导体装备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/11