一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构的制作方法

本发明涉及防氧化，具体涉及一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构。

背景技术：

1、引线键合是电子封装内连技术中最基本,最主要的一种互连技术。传统引线键合技术中采用最为广泛是金丝和铝丝,但是由于金丝价格较昂贵,铝丝烧球形球非常困难,所以近年来铜丝链合受到了越来越多的关注和研究,采用铜丝替代传统的金丝球焊是近期电子封装技术的趋势。研究证明,铜丝键合不仅可以应用于对电流负载要求较高的功率器件的制造，而且可以使高密度封装时的散热更为容易,所以芯片制造中铜金属化技术和铜丝球键合技术也因此受到了广泛的关注和研究。

2、虽然铜丝球焊由于其价格和性能上的优势，其发展致力于取代金丝球焊,但与金丝不同的是，铜丝在空气中极易氧化并在表面形成一层氧化膜,而氧化膜对铜球的成形和质量有害,并且还有可能导致接头强度低,甚至虚焊,影响产品的可靠性，因此必须采取措施防止铜丝氧化。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构，通过导向架和多维度吹气机构的协同作用，带动出气管在加工台的键合腔内多维度进行调整，包括出气管在键合腔内的x向、y向及z向的移动和转动，从而实现出气管对键合腔内键合点位的精准调控；同时，在出气管上设置有第一吹气口和吹气防护套，第一吹气口针对点为铜线键合点进行防护，吹气防护套对铜线键合点四周进行防护。

2、一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构，包括:

3、工作台，所述加工台上设置有用于铜线键合加工的键合腔；

4、储气腔，所述储气腔设置在所述键合腔的台面上，所述储气腔上设置有吹气管，通过所述吹气管对铜线键合过程中进行吹气保护；

5、导向架，所述导向架上设置有多维度吹气机构，所述多维度吹气机构用于对吹气管的吹气角度进行调整。

6、作为本发明进一步的方案：所述储气腔的输出端上连接有输气软管，所述输气软管的另一端设置在管道承接板上，所述吹气管通过管道承接板与所述输气软管连接。

7、作为本发明进一步的方案：所述吹气管远离管道承接板的一端连接有锥形结构的第一吹气口。

8、作为本发明进一步的方案：所述吹气管的中段位置上固定设置有吹气防护套，所述吹气管位于所述吹气防护套内侧的安装区域内上开设有若干个出风口，所述吹气防护套底部喇叭状的出气套内开设有若干条导风槽。

9、作为本发明进一步的方案：所述导向架为n型结构，在所述导向架的内部设置有第一丝杆，所述第一丝杆上通过螺纹连接有第一螺母座，在所述导向架的底面上开设有导向槽，所述导向槽的内部滑动连接有导向基座；

10、所述导向基座的底面固定设置在第一螺母座的顶面上，所述多维度吹气机构转动设置在导向基座上。

11、作为本发明进一步的方案：所述第一丝杆的一端贯穿导向架连接有导向电机。

12、作为本发明进一步的方案：所述多维度吹气机构包括驱动腔；

13、所述驱动腔的内部竖直设置有第一转轴，第一转轴的底端连接有转盘，转盘的底端转动连接导向架上，在第一转轴的中部位置设置有第一齿轮，在驱动腔的外部固定设置有第一电机，第一电机输出端的第二齿轮与第一齿轮啮合连接。

14、作为本发明进一步的方案：所述驱动腔的另一侧面上设置有第二电机，第二电机的输出端连接有第三齿轮；

15、所述驱动腔的内部设置有连接轴，连接轴的两端设置有摇臂，在连接轴的中部位置设置有第四齿轮，第四齿轮与第三齿轮啮合连接。

16、作为本发明进一步的方案：在两个所述摇臂的顶部转动连接有固定腔，在两个摇臂的中间位置还设置有曲柄连杆机构，曲柄连杆机构作用于固定腔实现固定腔在两个摇臂上的转动；

17、所述固定腔的一端设置有第一气缸，第一气缸的活塞杆端部穿过固定腔设置有连接板，两件连接板之间转动连接有气缸安装机台，且在其中一块连接板的外侧固定设置有第三电机，第三电机的输出轴与气缸安装机台的侧面固定连接。

18、作为本发明进一步的方案：所述气缸安装机台的底面上固定设置有第二气缸，第二气缸的活塞杆端面与管道承接板固定连接。

19、本发明的有益效果：本发明通过导向架和多维度吹气机构的协同作用，带动出气管在加工台的键合腔内多维度进行调整，包括出气管在键合腔内的x向、y向及z向的移动和转动，从而实现出气管对键合腔内键合点位的精准调控；

20、同时，在出气管上设置有第一吹气口和吹气防护套，第一吹气口针对点为铜线键合点进行防护，吹气防护套对铜线键合点四周进行防护，从而使铜线键合工序中的被氧化的概率更低，有效保障吹气机构的保护效果。

技术特征：

1.一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构，其特征在于，包括:

2.根据权利要求1所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述储气腔(102)的输出端上连接有输气软管(104)，所述输气软管(104)的另一端设置在管道承接板(105)上，所述吹气管(106)通过管道承接板(105)与所述输气软管(104)连接。

3.根据权利要求2所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述吹气管(106)远离管道承接板(105)的一端连接有锥形结构的第一吹气口(107)。

4.根据权利要求1所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述吹气管(106)的中段位置上固定设置有吹气防护套(108)，所述吹气管(106)位于所述吹气防护套(108)内侧的安装区域内上开设有若干个出风口(109)，所述吹气防护套(108)底部喇叭状的出气套内开设有若干条导风槽(110)。

5.根据权利要求1所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述导向架(2)为n型结构，在所述导向架(2)的内部设置有第一丝杆(201)，所述第一丝杆(201)上通过螺纹连接有第一螺母座(202)，在所述导向架(2)的底面上开设有导向槽(203)，所述导向槽(203)的内部滑动连接有导向基座(205)；

6.根据权利要求5所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述第一丝杆(201)的一端贯穿导向架(2)连接有导向电机(204)。

7.根据权利要求1所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述多维度吹气机构(3)包括驱动腔(301)；

8.根据权利要求(7)所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述驱动腔(301)的另一侧面上设置有第二电机(307)，第二电机(307)的输出端连接有第三齿轮(308)；

9.根据权利要求(8)所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，在两个所述摇臂(310)的顶部转动连接有固定腔(312)，在两个摇臂(310)的中间位置还设置有曲柄连杆机构(311)，曲柄连杆机构(311)作用于固定腔(312)实现固定腔(312)在两个摇臂(310)上的转动；

10.根据权利要求(9)所述的一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构,其特征在于，所述气缸安装机台(315)的底面上固定设置有第二气缸(317)，第二气缸(317)的活塞杆端面与管道承接板(105)固定连接。

技术总结
本发明公开了一种在铜线键合工序中的防氧化吹气保护机构，所述加工台上设置有用于铜线键合加工的键合腔；所述储气腔设置在所述键合腔的台面上，所述储气腔上设置有吹气管，通过所述吹气管对铜线键合过程中进行吹气保护；所述导向架上设置有多维度吹气机构，所述多维度吹气机构用于对吹气管的吹气角度进行调整；本发明通过导向架和多维度吹气机构的协同作用，带动出气管在加工台的键合腔内多维度进行调整，包括出气管在键合腔内的X向、Y向及Z向的移动和转动，从而实现出气管对键合腔内键合点位的精准调控；同时，在出气管上设置有第一吹气口和吹气防护套，第一吹气口针对点为铜线键合点进行防护，吹气防护套对铜线键合点四周进行防护。

技术研发人员：陈思远,葛晓冬,张梦云
受保护的技术使用者：合肥大网格技术合伙企业（有限合伙）
技术研发日：
技术公布日：2024/1/16