一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置的制作方法

本技术涉及泛半导体大型铝合金真空腔体表面精修处理，具体来说，涉及一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置。

背景技术：

1、铝合金是以纯铝加入一些合金元素制作成的以铝为基的合金的总称，铝合金保持了铝的质轻的特点，同时添加入一些合金元素使得铝合金拥有较好的强度及塑性，更兼具优良的导电性、导热性和抗腐蚀性，所以铝合金广泛应用于泛半导体大型真空腔体领域；而铝合金真空腔体工件在生产成型后，需要通过表面处理装置对铝合金工件的腔体内壁进行表面精修处理，保证真空腔体内壁的光洁度及表面质量。

2、目前现有对泛半导体大型铝合金真空腔体表面精修处理方式大都采用人工处理方式进行，但由于真空腔体较大，内部距离较远不易进行精修处理，一些特殊位置人工不便操作，且由于处理时用力不均容易造成表面精修处理状态不一的问题。

3、针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

1、针对相关技术中的问题，本实用新型提出一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，以克服现有相关技术所存在的上述技术问题。

2、为此，本实用新型采用的具体技术方案如下：

3、一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，包括工作平台，工作平台的两侧对称设置有基座，两个基座的顶部均设置有横梁传动装置，横梁传动装置的一端顶部均设置有支撑立柱，两个支撑立柱的顶端之间通过横梁相连，横梁的顶部设置有底座传动装置，底座传动装置的顶部设置有关节臂底座，关节臂底座的顶部一侧设置有多自由度关节臂，多自由度关节臂的端部设置有智能控制表面处理装置。

4、进一步的，为了在纵向可伸缩防护装置及纵向可伸缩防护装置的作用下，使得可以防止异物在支撑立柱及横梁上沿基座方向运动时损坏横梁传动装置，从而可以对横梁传动装置起到更好的保护，基座的底部一端设置有纵向可伸缩防护装置，基座的底端且位于纵向可伸缩防护装置的一端设置有纵向固定防护装置。

5、进一步的，为了在横向可伸缩防护装置及横向固定防护装置的作用下，使得可以防止异物在关节臂底座沿横梁方向运动时损坏底座传动装置，从而可以对底座传动装置起到更好的保护，横梁顶端两侧设置有与底座传动装置相配合的横向可伸缩防护装置，横梁的两端设置有与横向可伸缩防护装置相配合的横向固定防护装置。

6、进一步的，为了在横梁传动装置与底座传动装置之间呈十字交叉的配合作用下，使得可大幅度增加工作空间，使得设备可以对大型铝合金真空腔体进行表面精修处理，横梁传动装置与底座传动装置之间呈十字交叉状态。

7、进一步的，为了在调节装置的作用下，使得可以对支撑立柱与横梁的相对位置进行调节，从而可以实现支撑立柱与横梁在上下方向和左右方向相对位置的调节，并且支撑立柱与横梁下方空间可允许大型铝合金真空腔体通过，从而实现在横梁沿基座方向运动时工件不会影响设备的运行，且能保证工件不会发生碰撞及损伤，支撑立柱与横梁之间设置有调节装置。

8、进一步的，为了在各个装置与外接控制面板之间电连接的作用下，使得可以实现设备之间的实时通信和数据共享，从而提高生产效率的同时，还能使得各个装置之间可以相互协调，实现更复杂的动作和功能，进而提高设备的灵活性和适应性，横梁传动装置、底座传动装置、多自由度关节臂、智能控制表面处理装置、纵向可伸缩防护装置、纵向固定防护装置、横向可伸缩防护装置、横向固定防护装置及调节装置之间均与外接控制面板之间电连接。

9、本实用新型的有益效果为：

10、1、本实用新型结构合理可靠，操作简单，使得可以对支撑立柱与横梁的相对位置进行调节，从而可以实现支撑立柱与横梁在上下方向和左右方向相对位置的调节，并且支撑立柱与横梁下方空间可允许大型铝合金真空腔体通过的同时，还能防止异物在关节臂底座沿横梁方向运动时损坏底座传动装置以及防止异物在支撑立柱及横梁上沿基座方向运动时损坏横梁传动装置，从而可以对底座传动装置起到更好的保护，从而实现在横梁沿基座方向运动时工件不会影响设备的运行，且能保证工件不会发生碰撞及损伤，进而使得本装置能过获得较大的工作范围进而提高对大型铝合金真空腔体表面精修处理的均匀性以及提高对大型铝合金真空腔体表面精修处理的效率。

11、2、通过设置基座和横梁，使得通过设置横梁传动装置和底座传动装置呈十字交叉状态，从而使得本装置能过获得较大的工作范围，以此来满足大型铝合金真空腔体对精修装置所需的运动空间的要求，并且支撑立柱与横梁下方可允许大型铝合金真空腔体通过，且多自由度关节臂均可以到达横梁下方所属工作空间，以此来实现在装置整个工作空间上都可以进行表面精修处理，提高精修的工作范围，同时各运动方向由智能控制进行控制，可以实现其智能化。

12、3、通过在多自由度关节臂带动下智能控制表面处理装置可以实现小范围多姿态的运动轨迹，从而实现对大型铝合金复杂真空腔体的智能表面精修处理，从而解决真空腔体较大，内部距离较远不易进行精修处理，一些特殊位置人工不便操作，且由于处理时用力不均容易造成表面精修处理状态不一的问题。

技术特征：

1.一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，包括工作平台(1)，其特征在于，所述工作平台(1)的两侧对称设置有基座(2)，两个所述基座(2)的顶部均设置有横梁传动装置(3)，所述横梁传动装置(3)的一端顶部均设置有支撑立柱(4)；

2.根据权利要求1所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，其特征在于，所述基座(2)的底部一端设置有纵向可伸缩防护装置(10)，所述基座(2)的底端且位于所述纵向可伸缩防护装置(10)的一端设置有纵向固定防护装置(12)。

3.根据权利要求2所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，其特征在于，所述横梁(5)顶端两侧设置有与所述底座传动装置(6)相配合的横向可伸缩防护装置(13)，所述横梁(5)的两端设置有与所述横向可伸缩防护装置(13)相配合的横向固定防护装置(14)。

4.根据权利要求3所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，其特征在于，所述横梁传动装置(3)与所述底座传动装置(6)之间呈十字交叉状态。

5.根据权利要求4所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，其特征在于，所述支撑立柱(4)与所述横梁(5)之间设置有调节装置(11)。

6.根据权利要求5所述的一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，其特征在于，所述横梁传动装置(3)、所述底座传动装置(6)、所述多自由度关节臂(8)、所述智能控制表面处理装置(9)、所述纵向可伸缩防护装置(10)、所述纵向固定防护装置(12)、所述横向可伸缩防护装置(13)、所述横向固定防护装置(14)及所述调节装置(11)之间均与外接控制面板之间电连接。

技术总结
本技术公开了一种泛半导体大型铝合金真空腔体的智能表面精修装置，包括工作平台，工作平台的两侧对称设置有基座，两个基座的顶部均设置有横梁传动装置，横梁传动装置的一端顶部均设置有支撑立柱，两个支撑立柱的顶端之间通过横梁相连，横梁的顶部设置有底座传动装置，底座传动装置的顶部设置有关节臂底座。本技术结构合理可靠，操作简单，使得可以对底座传动装置起到更好的保护，从而实现在横梁沿基座方向运动时工件不会影响设备的运行，且能保证工件不会发生碰撞及损伤，进而使得本装置能过获得较大的工作范围进而提高对大型铝合金真空腔体表面精修处理的均匀性以及提高对大型铝合金真空腔体表面精修处理的效率。

技术研发人员：张哲,吉华,路卫卫,吴金鹏,王天宇,唐文辉,刘捷
受保护的技术使用者：上海同芯构技术有限公司
技术研发日：20230625
技术公布日：2024/1/15