本发明涉及超精密静压转台的，尤其涉及一种小孔液体节流式静压转台。
背景技术：
1、高精度的静压转台广泛应用于带有旋转轴的精密超精密四轴、五轴加工机床当中，是超精密机床中关键部件之一。
2、一些典型的方案中，常采用气体静压转台，通过高压空气作为支撑介质相较于传统滚动轴承支撑具有无摩擦，低发热的特点。但这类的气体静压转台刚度和承载能力较差，使得加工材料的种类受限。
3、另一些典型方案中，静压转台内部结构复杂，结构多为“工”形或双锥形，此类转台零部件制造精度要求高，装配难度大。
技术实现思路
1、本发明提供一种小孔液体节流式静压转台，用以解决现有技术中气体静压转台刚度和承载能力较差的缺陷。
2、本发明提供一种小孔液体节流式静压转台，包括：基座、壳体、驱动组件、液体静压轴承和台面；所述壳体固定设置于所述基座上，所述壳体具有安装空间；所述驱动组件设于所述安装空间内；所述液体静压轴承与所述驱动组件连接，以使所述液体静压轴承随所述驱动组件转动；所述台面与所述液体静压轴承连接，以通过所述液体静压轴承带动所述台面转动；其中，所述液体静压轴承包括：导流环、球座和轴球，所述导流环与所述壳体固定连接，所述导流环上设有进液口，所述进液口用于输入液压油；所述球座与所述导流环连接并与所述导流环的内壁面接触，所述球座底部的外壁面上开设有环形的导流通道，所述进液口与所述导流通道相连，且所述球座的顶面与所述台面接触，所述球座的底面与驱动组件接触；所述球座中部设有空心碗状结构的安装空腔，所述球座内部开设有液体流道，所述液体流道与所述导流通道连通，所述球座的顶面一圈设有多个第一油腔，所述第一油腔与所述台面形成有第一油膜，所述球座的底面一圈设有多个第二油腔，所述第二油腔与所述驱动组件形成有第二油膜，所述安装空腔的内壁面一圈设有多个第三油腔，每一所述第一油腔、每一所述第二油腔和每一所述第三油腔均与所述液体流道连通，每一所述第一油腔、每一所述第二油腔和每一所述第三油腔均设有节流器；所述轴球安装于所述安装空腔内，所述轴球的顶部与所述台面连接，所述轴球的底部与所述驱动组件连接，所述轴球的外壁面形成有球面部，所述球面部与所述安装空腔内壁接触配合，所述球面部与所述第三油腔之间形成有第三油膜。
3、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，还包括冷却组件，所述冷却组件设于所述安装空间内，并位于所述驱动组件与所述壳体之间。
4、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述冷却组件包括冷却套，所述冷却套固定设于所述基座上，并位于所述驱动组件的外部，所述冷却套的外壁面上设有用于冷却液流动的冷却通道，所述壳体上设有冷却液的接入口，所述接入口与所述冷却通道连通，所述接入口用于输入冷却液。
5、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述冷却通道具有多个，多个所述冷却通道在轴向上间隔设置，且位于两端的所述冷却通道的上方和下方均设有密封圈。
6、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述驱动组件包括定子部件、转子部件和连接套，所述定子部件固定套设于所述冷却套的内壁，所述转子部件位于所述定子部件的内并与所述连接套连接，所述连接套位于所述基座上并与所述轴球连接，所述连接套的顶面与所述球座的底面形成所述第二油膜。
7、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述驱动组件还包括连接轴和编码器，所述连接轴与所述连接套连接，所述编码器设于所述连接轴上。
8、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述基座中部具有上凸部位，以形成用于所述连接轴和所述编码器连接的装配空间。
9、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述轴球与所述连接套之间设有调整垫，所述调整垫位于所述安装空腔的底部。
10、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，多个所述第一油腔均匀间隔布置于所述球座顶面的一圈上，相邻的所述第一油腔之间具有第一回油槽，所述球座顶面靠近所述油腔位置的一圈设有环形的第一积液槽，所述第一积液槽的底部开设有回油通孔，所述第一回油槽与所述第一积液槽连通，以使所述第一回油槽内的液体进入到所述第一积液槽内；多个所述第二油腔均匀间隔布置于所述球座底面的一圈上，相邻的所述第二油腔之间具有第二回油槽，对应所述壳体内的上部设有第二积液槽，所述第二回油槽与所述第二积液槽连通，所述第一积液槽通过所述回油通孔连通，所述壳体的外壁面上设有回油输出口。
11、根据本发明提供的小孔液体节流式静压转台，所述球座顶部边缘一圈设有挡圈结构。
12、本发明提供的一种小孔液体节流式静压转台，通过第一油腔、第二油腔和第三油腔的设置，使得在液体静压轴承的轴向和径向均形成了油膜，从而提升了承载能力和刚度，且轴球整体为半球状结构，这使得在动作过程中能够实现自定心功能，从而能够提高动作过程中的稳定性。进一步地，相较于“工”形或双锥形的静压转台，通过将静压轴承设置为半球形的轴球和球座结构，降低了轴承的制造难度和转台的装配难度。
1.一种小孔液体节流式静压转台，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，还包括冷却组件，所述冷却组件设于所述安装空间内，并位于所述驱动组件与所述壳体之间。
3.根据权利要求2所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述冷却组件包括冷却套，所述冷却套固定设于所述基座上，并位于所述驱动组件的外部，所述冷却套的外壁面上设有用于冷却液流动的冷却通道，所述壳体上设有冷却液的接入口，所述接入口与所述冷却通道连通，所述接入口用于输入冷却液。
4.根据权利要求3所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述冷却通道具有多个，多个所述冷却通道在轴向上间隔设置，且位于两端的所述冷却通道的上方和下方均设有密封圈。
5.根据权利要求3所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述驱动组件包括定子部件、转子部件和连接套，所述定子部件固定套设于所述冷却套的内壁，所述转子部件位于所述定子部件的内并与所述连接套连接，所述连接套位于所述基座上并与所述轴球连接，所述连接套的顶面与所述球座的底面形成所述第二油膜。
6.根据权利要求5所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述驱动组件还包括连接轴和编码器，所述连接轴与所述连接套连接，所述编码器设于所述连接轴上。
7.根据权利要求6所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述基座中部具有上凸部位，以形成用于所述连接轴和所述编码器连接的装配空间。
8.根据权利要求5所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述轴球与所述连接套之间设有调整垫，所述调整垫位于所述安装空腔的底部。
9.根据权利要求1所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，多个所述第一油腔均匀间隔布置于所述球座顶面的一圈上，相邻的所述第一油腔之间具有第一回油槽，所述球座顶面靠近所述油腔位置的一圈设有环形的第一积液槽，所述第一积液槽的底部开设有回油通孔，所述第一回油槽与所述第一积液槽连通，以使所述第一回油槽内的液体进入到所述第一积液槽内；
10.根据权利要求9所述的小孔液体节流式静压转台，其特征在于，所述球座顶部边缘一圈设有挡圈结构。