高效照明光控制方法
【技术领域】
[0001] 本发明具体设及一种高效照明光控制方法。
【背景技术】
[0002] 近年来，在玻璃内部S维制作波导、光分歧器、方向性禪合器等的光集成电路的研 究盛行。作为运样的光集成电路的制作方法之一，有使用飞秒激光的方法。在该方法中，例 如，在飞秒激光的聚光点由双光子吸收等来诱发冲击，由此，能够进行使玻璃的折射率局部 变化的加工。另外，运样的激光向照射对象物的聚光照射，除了光集成电路的制作W外，还 广泛使用在各种的激光加工装置或者观察激光的散射、反射的激光显微镜等中，运里，在使 用从激光光源出射的一条激光束来进行复杂的=维构造的加工等的激光照射的情况下，存 在该加工工序中需要极长的时间的问题。作为该情况下的加工时间的缩短方法，考虑进行 利用多个聚光点的多点同时加工的方法。实现运样的方法的最简单的结构是使用从多个激 光光源提供的多条激光束的结构。然而，运样的结构，若考虑到准备多个激光光源的成本、 设置空间等，则是不现实的；所W亟需一种高效照明光控制方法W解决上述问题。
【发明内容】
[0003] 本发明的目的在于针对现有技术的不足，提供一种高效照明光控制方法，该高效 照明光控制方法可W很好地解决上述问题。
[0004] 为达到上述要求，本发明采取的技术方案是：提供一种高效照明光控制方法，该高 效照明光控制方法包括照射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于 激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率ni、W及位于比 第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率ri2作为 激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点 的个数St、W及关于St个聚光点S各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中， St是1W上的整数；像差条件导出步骤，其导出在激光从空间光调制器向聚光点S的传播 中，由折射率相互不同的第1传播介质化及第2传播介质产生的像差条件；化及调制图案设 计步骤，其考虑由像差条件导出步骤导出的像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制 图案；通过按下按键，输入数据；从按下按键时开始，计量规定时间；W及在背光点亮期间， 检测出按键按下时，使背光焰灭规定时间；；调制图案设计处理，在所述调制图案的所述像 素j的所述相位值的变更中，通过基于表示所述聚光点S的所述聚光状态的复振幅的相位 舉S:、考虑了所述像差条件的所述传播函数巧巧'、W及在所述像素j的变更前的相位值贿解 析求得的值，来变更所述相位值。 阳0化]与现有技术相比，该高效照明光控制方法可W很好地解决现有的光控制程序成本 过高及空间设计方面的问题。
【附图说明】
[0006] 此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，在运 些附图中使用相同的参考标号来表示相同或相似的部分，本申请的示意性实施例及其说明 用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0007] 图1是本发明的流程示意图。
【具体实施方式】
[0008] 为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，W下结合附图及具体实施例，对本 申请作进一步地详细说明。
[0009] 在W下描述中，对"一个实施例"、"实施例"、"一个示例"、"示例"等等的引用表明 如此描述的实施例或示例可W包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度，但并非每个实 施例或示例都必然包括特定特征、结构、特性、性质、元素或限度。另外，重复使用短语"根据 本申请的一个实施例"虽然有可能是指代相同实施例，但并非必然指代相同的实施例。
[0010] 为简单起见，W下描述中省略了本领域技术人员公知的某些技术特征。 W11] 根据本申请的一个实施例，提供一种高效照明光控制方法，如图1所示，包括照射 条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光 点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率ni、W及位于比第1传播介质更靠聚光点侧 处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率ri2作为激光的照射条件；聚光条件设 定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点的个数St、W及关于St个聚光 点S各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中，St是1W上的整数；像差条件导 出步骤，其导出在激光从空间光调制器向聚光点S的传播中，由折射率相互不同的第1传播 介质W及第2传播介质产生的像差条件；W及调制图案设计步骤，其考虑由像差条件导出 步骤导出的像差条件来设计空间光调制器中所呈现的调制图案；通过按下按键，输入数据； 从按下按键时开始，计量规定时间；W及在背光点亮期间，检测出按键按下时，使背光焰灭 规定时间；；调制图案设计处理，在所述调制图案的所述像素j的所述相位值的变更中，通 过基于表示所述聚光点S的所述聚光状态的复振幅的相位舉S、考虑了所述像差条件的所述 传播函数取/、W及在所述像素j的变更前的相位值帶解析求得的值，来变更所述相位值。
[0012] 根据本申请的一个实施例，提供一种高效照明光控制方法该高效照明光控制方法 的调制图案设计步骤通过假定在空间光调制器中二维排列的多个像素，着眼于多个像素中 所呈现的调制图案的1个像素的相位值的变更对聚光点的激光的聚光状态所造成的影响， W使该聚光状态接近于所期望的状态的方式变更相位值，并针对调制图案的全部像素进行 运样的相位值的变更操作，从而设计调制图案，并且在评价聚光点的聚光状态时，针对光从 空间光调制器的调制图案中的像素j向聚光点S的传播。
[0013] W上实施例仅表示本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能理 解为对本发明范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发 明构思的前提下，还可W做出若干变形和改进，运些都属于本发明保护范围。因此本发明的 保护范围应该W权利要求为准。
【主权项】
1. 一种高效照明光控制方法，其特征在于，包括：照射条件取得步骤，其取得激光向空 间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质 的第1折射率ni、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射 率不同的第2折射率1!2作为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空 间光调制器的激光的聚光点的个数St、以及关于^个聚光点s各个的聚光位置、聚光强度 作为激光的聚光条件，其中，^是1以上的整数；像差条件导出步骤，其导出在激光从空间 光调制器向聚光点s的传播中，由折射率相互不同的第1传播介质以及第2传播介质产生 的像差条件；以及调制图案设计步骤，其考虑由像差条件导出步骤导出的像差条件来设计 空间光调制器中所呈现的调制图案；通过按下按键，输入数据；从按下按键时开始，计量规 定时间；以及在背光点亮期间，检测出按键按下时，使背光熄灭规定时间；调制图案设计处 理，在所述调制图案的所述像素j的所述相位值的变更中，通过基于表示所述聚光点s的所 述聚光状态的复振幅的相位(|>S,考虑了所述像差条件的所述传播函数(py、以及在所述像 素j的变更前的相位值吶解析求得的值，来变更所述相位值。2. 如权利要求1的高效照明光控制方法，其特征在于：调制图案设计步骤通过假定在 空间光调制器中二维排列的多个像素，着眼于多个像素中所呈现的调制图案的1个像素的 相位值的变更对聚光点的激光的聚光状态所造成的影响，以使该聚光状态接近于所期望的 状态的方式变更相位值，并针对调制图案的全部像素进行这样的相位值的变更操作，从而 设计调制图案，并且在评价聚光点的聚光状态时，针对光从空间光调制器的调制图案中的 像素j向聚光点s的传播。
【专利摘要】本发明提供一种高效照明光控制方法，包括：照射条件取得步骤，其取得激光向空间光调制器的入射图案、位于激光从空间光调制器向聚光点的传播路径上的第1传播介质的第1折射率n1、以及位于比第1传播介质更靠聚光点侧处的第2传播介质的与第1折射率不同的第2折射率n2作为激光的照射条件；聚光条件设定步骤，其设定聚光照射来自空间光调制器的激光的聚光点的个数st、以及关于st个聚光点s各个的聚光位置、聚光强度作为激光的聚光条件，其中，st是1以上的整数。
【IPC分类】B23K26/064, B23K26/00
【公开号】CN105127588
【申请号】CN201510531127
【发明人】黄雷
【申请人】成都秋雷科技有限责任公司
【公开日】2015年12月9日
【申请日】2015年8月26日