专利名称：磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法
技术领域：
本发明涉及磨石座、拆卸夹具、磨床及磨石座的拆卸方法。
背景技术：
目前，作为对半导体晶片(以下称作“エ件”)进行磨削的方法之一，广泛公知的是通过使エ件和磨石座两者均旋转，并利用磨石连续地切削エ件的磨削面的横向磨削法(例如參照专利文献I)。需要说明的是，磨石座由台座和磨石构成。台座具有与エ件相対的第一面和设于第一面的相反侧的第二面，磨石在台座的第一面上环状地形成。专利文献I :(日本)特开2007-125678号公报
在专利文献I所记载的磨床中，磨石座通过固定螺栓固定在以规定轴为中心旋转的安装部的安装面上。在这种磨床中，以提高工件的磨削精度为目的，安装部的安装面和台座的第二面各自的表面粗糙度极低。因此，磨石座和安装部彼此密接，所以在更换磨石座吋，需要在拆下固定螺栓后将磨石座从安装部分开。因此，考虑到如下方法将比固定螺栓长的螺栓拧入形成于磨石座的固定螺栓用螺栓孔，由长的螺栓的前端按压安装面，由此从安装部将磨石座分开。但是，在该方法中，因长的螺栓的前端的按压而在安装面上形成凹凸，因此难以維持磨石座和安装部的密接性。因此，该方法不适合用于上述专利文献I记载的磨床上。另ー方面，在感应加热辊装置中提出了如下方法在从辊壳拆下通过固定螺栓固定于辊売上的轴颈的情况下，代替固定螺栓利用拧入轴颈的按压螺栓将辊壳从轴颈压出(日本特开2001-210449号公报)。但是，在该方法中，在使固定螺栓的轴部插入的插孔的内周面，形成有与按压螺栓的外螺纹部啮合的内螺纹部，因此，形成于插孔的内周面的内螺纹部可能因与固定螺栓的轴部的干涉而受损。所以，该方法也不适合用于上述专利文献I中记载的磨床上。
发明内容
本发明是鉴于上述状况而提出的，其目的在于，提供可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床、用于从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。第一方面提供的ー种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，包括台座，其具有第一面、设于第一面的相反侧的第二面和从第一面贯通至第二面的贯通孔；磨石，其在台座的第一面上形成为环状。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开ロ且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。第二方面的磨石座在第一方面的磨石座的基础上，包括分别具有与贯通孔相同构成的多个贯通孔。多个贯通孔配置为在第一面的俯视图中以台座的旋转中心为基准呈点对称。第三方面提供的ー种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在安装部上的磨石座，具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比为了使固定螺栓的轴部插入而设于磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容固定螺栓的头部而设于磨石座。第四方面提供的ー种磨床，具有磨石座和安装部。磨石座具有台座和在台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括第一面、设于第一面的相反侧的第二面、从第一面贯通至第二面的贯通孔。安装部具有与第二面抵接的安装面和在第二面开ロ且与贯通孔相连的螺孔。贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在第一面开ロ且具有第一内径，该插孔与沉孔相连且具有比第一内径小的第二内径。沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。第五方面的磨床还具备夹具，该夹具具有支撑部件和凸台部件。支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部。凸台部件包括具有与沉孔的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔。 第六方面提供的一种拆卸方法，用于从安装部拆下通过固定螺栓固定于安装部的磨石座，包括拔出固定螺栓的エ序，该固定螺栓插入设于磨石座的插孔并且拧入安装部的螺孔；准备支撑部件的エ序，该支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与支撑轴部相连且比插孔长的圆柱状的插入部、从插入部的端面突出的圆柱状的轴部；在使支撑轴部插入磨石座的插孔后，向安装部的螺孔拧入支撑轴部的エ序；准备凸台部件的エ序，该凸台部件包括具有与形成在设于磨石座的沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部，和沿凸台轴部的轴心形成的轴孔；向凸台部件的轴孔插入支撑部件的轴部的エ序；向沉孔的内螺纹部拧入凸台轴部的外螺纹部的エ序。根据本发明，能够提供可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床、用于从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。
图I是表示磨床100的结构的侧视图；图2是从エ件支撑装置20侧观察安装部37和磨石座38的平面图；图3是图2的折线III-III的剖面图；图4是从图3省略的固定螺栓39的图；图5是表示夹具200的结构的剖面图；图6是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图7是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图8是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图9是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图10是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图；图11是表示夹具200的支撑部件210的结构的剖面图。附图标记说明
100磨床、10机座、20エ件支撑装置、21エ件台、22主轴、23驱动马达、24卡盘、30磨削加工装置、31固定座、32进给台、33进给驱动部、34支撑台、35主轴、36驱动马达、37安装部、37S安装面、37T凸部、38磨石座、381台座、SI第一面、S2第二面、382磨石、39固定螺栓、39a轴部、39b头部、40螺孔、50第一贯通孔、50a沉孔、50F内螺纹部、50b插孔、60第二贯通孔、200夹具、210支撑部件、211支撑轴部、212插入部、213轴部、220凸台部件、221凸台轴部、221M外螺纹部、222凸台头部、223轴孔、Wエ件、35A磨石旋转中心。
具体实施例方式下面，使用附图对本发明的实施方式进行说明。在以下附图的记载中，对同一或类似的部分标注同一或类似的符号。需要说明的是，附图是为了示意而给出的，各尺寸的比例等有时与实际的尺寸不一样。因此，具体的尺寸等应參照以下说明进行判断。另外，附图彼 此之间也包含彼此的尺寸关系或比例不同的部分。(磨床100的整体结构)參照附图对实施方式的磨床100的结构进行说明。图I是表示实施方式的磨床100的结构的侧视图。磨床100包括机座10、エ件支撑装置20、磨削加工装置30。机座10是支撑エ件支撑装置20和磨削加工装置30的工作台。エ件支撑装置20具有エ件台21、主轴22、驱动马达23、卡盘24。エ件台21固定在机座10上。主轴22以エ件旋转中心22A为中心可旋转地支撑在エ件台21上。驱动马达23以エ件旋转中心22A为中心使主轴22旋转。卡盘24保持エ件W(例如半导体晶片等)。卡盘24固定在主轴22上，与主轴22 —同以エ件旋转中心22A为中心进行旋转。磨削加工装置30具有固定座31、进给台32、进给驱动部33、支撑台34、主轴35、驱动马达36、安装部37、磨石座38。固定座31固定在机座10上。进给台32被支撑为在固定座31上沿进给方向X可移动。进给驱动部33沿进给方向X使进给台32移动。支撑台34固定在进给台32上。主轴35以磨石旋转中心35A为中心可旋转地支撑在支撑台34上。驱动马达36以磨石旋转中心35A为中心使主轴35旋转。安装部37保持磨石座38。安装部37固定在主轴35上，与主轴35 —同以磨石旋转中心35A为中心进行旋转。磨石座38安装在安装部37上。磨石座38与主轴35及安装部37 —同以磨石旋转中心35A为中心进行旋转。通过将旋转的磨石座38 (具体为后述的磨石382)压向エ件W，对エ件W进行磨削。(安装部37和磨石座38的结构)接着，參照
安装部37和磨石座38的结构。图2是从エ件支撑装置20侧观察安装部37和磨石座38的平面图。图3是图2的折线III-III的剖面图。如图2和图3所示，磨石座38通过六个固定螺栓39固定在安装部37上。六个固定螺栓39由轴部39a和头部39b构成。轴部39a包含形成在外周面上的外螺纹部，具有外径el。头部39b与轴部39a的端部连接，具有比外径el大的外径e2。I 安装部 37
安装部37具有安装面37S、凸部37T、六个螺孔40。安装面37S形成为以磨石旋转中心35A为中心的圆环状，支撑磨石座38。安装面37S具有极低的表面粗糙度。凸部37T形成为以磨石旋转中心35A为中心的圆板状。六个螺孔40形成在安装面37S上。虽未图示，但在安装面37S的俯视图中六个螺孔40以磨石旋转中心35A为基准呈点对称地配置。在各螺孔40内拧入固定螺栓39的轴部39a的前端。关于螺孔40的结构，将在后面叙述。2.磨石座 38 磨石座38具有台座381和磨石382。台座381配置在安装部37的安装面37S上。台座381是形成为以磨石旋转中心35A为中心的圆环状的板状部件。台座381嵌入安装部37的凸部37T的外周。台座381具有第一面SI、第二面S2、两个第一贯通孔50( “多个贯通孔”之一例)和四个第二贯通孔60。第一面SI与エ件W(參照图I)相向。第二面S2设于第一面SI的相反侧，与安装部37的安装面37S抵接。第二面S2与安装面37S同样具有极低的表面粗糙度，因此，通过利用固定螺栓39被按压在安装部37上而与安装面37S密接。因此，即使拔出固定螺栓39，也不容易使磨石座38从安装部37分离。关于将用于从安装部37拆下磨石座38的夹具以及从安装部37拆下磨石座38的方法，将在后面叙述。两个第一贯通孔50均将台座381从第一面SI贯通至第二面S2。如图2所示，两个第一贯通孔50在第一面SI的俯视图中以磨石旋转中心35A为基准呈点对称，并且配置在通过磨石旋转中心35A的一条直线上。四个第二贯通孔60均将台座381从第一面SI贯通至第二面S2。如图2所示，四个第二贯通孔60在第一面SI的俯视图中以磨石旋转中心35A为基准呈点对称地配置。关于第一贯通孔50和第二贯通孔60的结构，将在后面叙述。磨石382配置在台座381的第一面SI上。磨石382形成为以磨石旋转中心35A为中心的环状。如图2所示,磨石382配置在第一面SI的外边缘和两个第一贯通孔50及四个第二贯通孔60之间。磨石382的尺寸可适宜地设定，但是例如可以设定为高度约5_、览度约3mm程度。(螺孔40、第一贯通孔50和第二贯通孔60的结构)接着，參照附图对第一贯通孔50、第二贯通孔60及螺孔40的详细结构进行说明。图4是从图3中省略了固定螺栓39的图。I.螺孔 40如图4所示，螺孔40是为了使固定螺栓39的轴部39a拧入而开设在安装面37S上的孔。在螺孔40的内周面形成有与轴部39a的外螺纹部啮合的内螺纹部40F。螺孔40具有与轴部39a的外径el大致相等的螺纹谷径fl。需要说明的是，六个螺孔40中的四个螺孔40均与第二贯通孔60相连，六个螺孔40中的两个螺孔均与第一贯通孔50相连。2.第一贯通孔50如图4所示，第一贯通孔50由沉孔50a和与沉孔50a相连的插孔50b构成。沉孔50a是为了收容固定螺栓39的头部39b而开设在第一面SI上的凹部。因此，沉孔50a具有比固定螺栓39的头部39b的外径e2大的内径f2。另外，在本实施方式中，在沉孔50a的内周面形成有与后述的凸台部件啮合的内螺纹部50F。沉孔50a具有比内径f2大的螺纹谷径f3。而且，沉孔50a沿磨石旋转中心35A延伸，具有长度dl。需要说明的是，内螺纹部50F在与固定螺栓39的关系中不发挥任何功能。插孔50b是为了使固定螺栓39的轴部39a插入而从沉孔50a形成至第二面S2的孔。因此，插孔50b在第二面S2开ロ，具有比固定螺栓39的轴部39a的外径el大的内径f4。而且，插孔50b沿磨石旋转中心35A延伸，具有长度hi。需要说明的是，在插孔50b的内周面未形成内螺纹部。
3.第二贯通孔60如图4所示，第二贯通孔60由沉孔60a和与沉孔60a相连的插孔60b构成。除内周面未形成内螺纹部这一点以外，沉孔60a具有与第一贯通孔50的沉孔50a相同的结构。另外，插孔60b具有与插孔50b相同的结构。(夹具200的结构)接着，參照
用于将磨石座38从安装部37拆下的夹具200的结构。图5是表示夹具200的结构的剖面图。如图5所示，夹具200具有支撑部件210和凸台部件220。I.支撑部件210支撑部件210具有支撑轴部211、插入部212和轴部213。支撑轴部211是拧入安装部37的螺孔40的圆柱状的部件。在支撑轴部211的外周面形成有与螺孔40的内螺纹部40F啮合的外螺纹部211M。支撑轴部211具有与固定螺栓39的轴部39a的外径el大致相等的外径gl。插入部212是与支撑轴部211连接的圆柱状的部件。插入部212插入磨石座38的第一贯通孔50中的插孔50b。插入部212具有比插孔50b的内径f4小且比螺孔40的螺纹谷径fl大的外径g2。而且，插入部212沿夹具200的中心轴200A延伸，具有比插孔50b的长度hi大的长度h2。此外，插入部212具有与凸台部件220抵接的端面212S。轴部213是从插入部212的端面212S突出形成的圆柱状的部件。轴部213具有比插入部212的外径g2小的外径g3。轴部213立设在插入部212的端面212S的中心。在轴部213的端部形成有例如用于啮合一字头螺丝刀等的槽213a。2.凸台部件220凸台部件220具有凸台轴部221、凸台头部222和轴孔223。凸台轴部221是拧入磨石座38的沉孔50a的圆柱状的部件。在凸台轴部221的外周面形成有与沉孔50a的内螺纹部50F啮合的外螺纹部221M。凸台轴部221具有与沉孔50a的螺纹谷径f3大致相等的外径g4。而且，凸台轴部221沿夹具200的中心轴200A延イ申，具有与沉孔50a的长度dl大致相等的长度d2。此外，凸台轴部221具有与插入部212的端面212S相向的相对面221S。在相对面221S上形成有轴孔223。需要说明的是，凸台轴部221的轴心与夹具200的中心轴200A —致。凸台头部222与凸台轴部221—体地形成。在使用工具使凸台部件220旋转时，凸台头部222与工具嵌合。因此，凸台头部222只要具有与所使用的工具相对应的形状即可。轴孔223是用于插入支撑部件210的轴部213的孔。轴孔223在凸台轴部221的相对面221S开ロ。轴孔223沿凸台轴部221的轴心形成。轴孔223具有比插入部212的外径g2小且比轴部213的外径g3大的外径g5。(从安装部37拆下磨石座38的方法)接着，參照
从安装部37拆下磨石座38的方法。图6至图10是用于说明从安装部37拆下磨石座38的方法的剖面图。首先，如图6所示，拔出在设于磨石座38的插孔50b中插入并且拧入安装部37的螺孔40的固定螺栓39。 其次，如图7所示，准备上述的支撑部件210，在磨石座38的插孔50b插入支撑轴部211后，在安装部37的螺孔40拧入支撑轴部211。具体而言，例如使一字头螺丝刀与轴部213的槽213a啮合，使轴部213绕夹具200的中心轴200A旋转，由此使支撑轴部211的外螺纹部211M与螺孔40的内螺纹部40F啮合。该情况下，由于插入部212的长度h2比插孔50b的长度hi大，所以插入部212的肩部212a从插孔50b向沉孔50a内伸出。因此，插入部212的端面212S从沉孔50a的底面向第一面SI侧突出。而且，由于插入部212的外径g2比插孔50b的内径f4小，所以插入部212与插孔50b的内周面分开。接着，如图8所示，准备上述的凸台部件220，在凸台部件220的轴孔223中插入支撑部件210的轴部213。接着，如图9所示，在沉孔50a拧入凸台部件220。具体而言，使工具(未图示)与凸台头部222的外周嵌合，使凸台头部222绕夹具200的中心轴200A旋转，由此使凸台轴部221的外螺纹部221M与沉孔50a的内螺纹部50F啮合。该情况下，在使凸台头部222继续旋转的过程中凸台轴部221与插入部212的肩部212a抵接。即，凸台轴部221的相对面221S与插入部212的端面212S接触。然后，在使凸台轴部221与插入部212的肩部212a抵接的状态(即，将凸台部件200相对于安装部37的位置固定的状态)下，使凸台头部222进ー步旋转，则伴随凸台头部222的旋转，磨石座38被凸台部件220拉开。其结果如图10所示，磨石座38从安装部37拉开。需要说明的是，在本实施方式中，由于插入部212的长度h2比插孔50b的长度hi大，并且凸台轴部221的长度d2与沉孔50a的长度dl大致相等，因此，凸台轴部221不会完全嵌入沉孔50a内。(作用及效果)在实施方式的磨床100中，在磨石座38的沉孔50a的内周面形成有内螺纹部50F。而且，在夹具200中，插入部212的长度比磨石座38的插孔50b的长度大，并且在凸台轴部221的外周面形成有与沉孔50a的内螺纹部50F啮合的外螺纹部221M。因此，通过在使凸台轴部221与插入部212抵接的状态下使沉孔50a的内螺纹部50F与凸台轴部221的外螺纹部221M啮合，能够将磨石座38从安装部37分开。因此，能够将磨石座38从安装部37简便地拆下。另外，在支撑部件210中，支撑轴部211通过拧入安装部37的螺孔40而被安装部37支撑。因此，能够抑制因支撑部件210与安装部37的安装面37S摩擦而安装面37S损伤。而且，由于在插孔50b的内周面未形成内螺纹部，因此，能够抑制因固定螺栓39与插孔50b的内周面摩擦而插孔50b的内周面损伤。(其它实施方式)
上述实施方式记载了本发明，但不应理解为构成本公开的一部分的论述及附图限定本发明。本领域技术人员根据该公开能够明确各种代替实施方式、实施例及运用技木。(A)在上述实施方式中，在夹具200的支撑部件210中，插入部212具有比支撑轴部211的外径gl大的外径g2，但不限于此。如图11所示，插入部212的外径g2也可以与支撑轴部211的外径gl大致相等。(B)在上述实施方式中，磨石座38的台座381具有两个第一贯通孔50和四个第ニ贯通孔60，但不限于此。台座381也可以具有ー个或三个以上的第一贯通孔50。另外，台座381也可以代替第二贯通孔60具有第一贯通孔50。由此，在台座381具有多个第一贯通孔50的情况下，通过使用多个夹具200，能够平衡地拆下磨石座38。而且，第一贯通孔50的数量越少，越能够提高拆卸磨石座38时的作业性。(C)在上述实施方式中，除没有内螺纹部50F这一点以外，第二贯通孔60具有与第 一贯通孔50相同的结构，但不限于此。第二贯通孔60也可以具有与第一贯通孔50完全不同的结构。该情况下，也可以在第二贯通孔60安装与固定螺栓39不同的固定件。(D)在上述实施方式中，对各部件的尺寸进行了说明，但只要满足以下大小关系，就也可以变更各部件的尺寸。(i)螺孔40的螺纹谷径fl &轴部39a的外径el ^支撑轴部211的外径gl(ii)沉孔50a的内径f2 >头部39b的外径e2(iii)沉孔50a的螺纹谷径f3 ^凸台轴部221的外径g4(iv)插孔50b的内径f4 >插入部212的外径g2如上所述，本发明包含在此未记载的各种实施方式等是不言而喻的。因此，本发明的技术范围根据上述的说明由妥当的权利要求书所涉及的发明特定事项来确定。
权利要求
1.一种磨石座，其通过固定螺栓固定在安装部上，其特征在于，包括 台座，其具有第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面和从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔； 磨石，其在所述台座的所述第一面上形成为环状； 所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径； 所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。
2.如权利要求I所述的磨石座，其特征在于， 包括分别具有与所述贯通孔相同构成的多个贯通孔， 多个所述贯通孔配置为，在所述第一面的俯视图中以所述台座的旋转中心为基准呈点对称。
3.一种夹具，其用于从安装部拆下通过固定螺栓固定在所述安装部上的磨石座，其特征在于，具有 支撑部件，其包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与所述支撑轴部相连且比为了使所述固定螺栓的轴部插入而设于所述磨石座的插孔长的圆柱状的插入部、从所述插入部的端面突出的圆柱状的轴部； 凸台部件，其包括具有与形成在沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿所述凸台轴部的轴心形成的轴孔，该沉孔为了收容所述固定螺栓的头部而设于所述磨石座。
4.一种磨床，其特征在于，具有 磨石座，其具有台座和在所述台座的第一面上形成为环状的磨石，该台座包括所述第一面、设于所述第一面的相反侧的第二面、从所述第一面贯通至所述第二面的贯通孔； 安装部，其具有与所述第二面抵接的安装面和在所述第二面开口且与所述贯通孔相连的螺孔； 所述贯通孔具有沉孔和插孔，该沉孔在所述第一面开口且具有第一内径，该插孔与所述沉孔相连且具有比所述第一内径小的第二内径； 所述沉孔具有在内周面形成的内螺纹部。
5.如权利要求4所述的磨床，其特征在于，还具备夹具，该夹具具有 支撑部件，其包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与所述支撑轴部相连且比所述插孔长的圆柱状的插入部、从所述插入部的端面突出的圆柱状的轴部； 凸台部件，其包括具有与所述沉孔的所述内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部和沿所述凸台轴部的轴心形成的轴孔。
6.一种拆卸方法，用于从安装部拆下通过固定螺栓固定于所述安装部的磨石座，其特征在于，包括 拔出所述固定螺栓的工序，该固定螺栓插入设于所述磨石座的插孔并且拧入所述安装部的螺孔； 准备支撑部件的工序，该支撑部件包括具有外螺纹部的圆柱状的支撑轴部、与所述支撑轴部相连且比所述插孔长的圆柱状的插入部、从所述插入部的端面突出的圆柱状的轴部;在使所述支撑轴部插入所述磨石座的所述插孔后，向所述安装部的螺孔拧入所述支撑轴部的工序； 准备凸台部件的工序，该凸台部件包括具有与形成在设于所述磨石座的沉孔的内周面的内螺纹部对应的外螺纹部的凸台轴部，和沿所述凸台轴部的轴心形成的轴孔； 向所述凸台部件的所述轴孔插入所述支撑部件的所述轴部的工序； 向所述沉孔的所述内螺纹部拧入所述凸台轴部的所述外螺纹部的工序。
全文摘要
本发明公开了可从安装部简便地拆卸的磨石座、可从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸夹具、具有可从安装部简便地拆卸的磨石座的磨床以及从安装部简便地拆卸磨石座的拆卸方法。在磨床(100)中，在磨石座(38)的沉孔(50a)的内周面形成有内螺纹部(50F)。另外，在夹具(200)中，插入部(212)的长度比磨石座(38)的插孔(50b)长，并且在凸台轴部(221)的外周面形成有与沉孔(50a)的内螺纹部(50F)啮合的外螺纹部(221M)。
文档编号B24B41/06GK102729109SQ20121008885
公开日2012年10月17日 申请日期2012年3月29日 优先权日2011年3月29日
发明者武田英俊 申请人:小松Ntc株式会社