专利名称：带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。
背景技术：
现有的全玻璃真空集热管，包括热管与内玻璃管一体化制作的热管集热管，具有极高的吸收率和极低的发射率，在得到令人满意的集热性能和集热温度的同时，也使空晒温度达到230°C以上。这样高的空晒温度有时带来一体化制作的热管エ质蒸汽压过高并造成炸管事故等问题。 发明内容本实用新型的目的是要提供带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。本实用新型解决其技术问题所采取的技术方案用靶座、内玻璃管エ装夹具、控制和传动设备、电源及壳体，组成一台带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。所述镀膜设备含有ー个可正反转、呈行星状布置的内玻璃管エ装夹具。本实用新型的有益效果令镀膜设备的内玻璃管エ装夹具，各自绕自身轴心线转正反转一定圆周角，譬如220度圆周角，可在内玻璃管外表面形成约140度圆周角的无镀膜区域。这样就可以利用高硼硅玻璃本身92%的发射率，大幅度降低集热元件的空晒温度。当用水作热管エ质，空晒温度为160°C吋，蒸汽压为6个大气压，比原本空晒温度230°C的将近29个大气压减少近五分之四，对于内径小于34毫米、壁厚大于I. 6毫米的硼硅3. 3内玻璃管，所制作的一体式热管集热管可以实现抗空晒。
以下结合附图
和实施例对本实用新型进ー步说明。图I是ー个带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备复合结构示意图。图中I.靶座；2.内玻璃管エ装夹具；3.壳体。
具体实施方式
图I给出本实用新型的一个实施例。图I中，用靶座I、内玻璃管エ装夹具2、控制和传动设备、电源及壳体3，组成一台带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。内玻璃管エ装夹具2作绕镀膜机轴心线的均匀行心状布置。内玻璃管エ装夹具2在围绕镀膜机轴心线公转的同时还作绕自身轴心线的转动即自转。内玻璃管エ装夹具2的自转包括正转和反转，并且所述正反转的角度可调节。
权利要求1.带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备，由靶座、内玻璃管工装夹具、控制和传动设备、电源及壳体组成，其特征在于所述镀膜设备含有一个可正反转、呈行星状布置的内玻璃管工装夹具。
专利摘要用靶座1、内玻璃管工装夹具2、控制和传动设备、电源及壳体3，组成一台带正反转内玻璃管夹具的真空溅射镀膜设备。内玻璃管工装夹具2作绕镀膜机轴心线的均匀行心状布置。内玻璃管工装夹具2在围绕镀膜机轴心线公转的同时还作绕自身轴心线的转动即自转。内玻璃管工装夹具2的自转包括正转和反转，并且所述正反转的角度可调节。
文档编号C23C14/34GK202576551SQ201220232198
公开日2012年12月5日 申请日期2012年5月18日 优先权日2012年5月18日
发明者施国樑 申请人:海宁伊满阁太阳能科技有限公司