铜线表面处理装置制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种铜线表面处理装置，它包括石英管体，所述石英管体具有进线端和出线端，在所述石英管体进线端的上部设有与所述石英管体内部腔体相连通的混合气体进气口，所述混合气体进气口通过管道与二级减压阀相连通，所述二级减压阀通过管道与气动阀相连通，所述气动阀通过管道与一混气间相连通；在所述石英管体的右端下部设有与所述石英管体内部腔体相连通的混合气体出气口，所述混合气体出气口通过管道与一真空发生器相连通，在所述真空发生器的右端设有排气口，在所述真空发生器的左端设有压缩空气进口，所述压缩空气进口通过管道与第二电动阀连接，所述第二电动阀通过管道与一调压器相连通，采用上述结构，实现了氮氢混合气充满度好，纯度高，流速恒定，气流可调可控，可靠性好，寿命长，效率高，且能够提高产品质量的效果。
【专利说明】铜线表面处理装置
【技术领域】
[0001 ] 本实用新型涉及一种铜线表面处理装置。
【背景技术】
[0002]铜线在线退火时，用含5%氢气的氮氢混合气对铜线在退火炉内进行表面保护时，氮氢混合气以0.2L/min的流量从一端流过,经过长600mm的退火炉，由于氮氢混合气流过的距离长，压力不稳定，在退火炉内氮氢混合气的充满程度不一致，流速不恒定，且有一部分气体会从端口流失，造成含氧量不稳定，影响产品质量。
【发明内容】
[0003]本实用新型的目的是提供一种氮氢混合气充满度好，纯度高，流速恒定，气流可调可控，可靠性好，寿命长，效率高，且能够提高产品质量的铜线表面处理装置。
[0004]本实用新型的技术方案是一种铜线表面处理装置，它包括石英管体1，其特征在于:所述石英管体I的左端和右端分别设有进线端2和出线端3，在邻近所述进线端2和出线端3的端部分别设有直径小于所述石英管体I内部腔体的瓶颈20，工作时所述石英管体I内部腔体内贯穿有铜线4，在所述石英管体I进线端2的瓶颈20处的上部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体进气口 5，所述混合气体进气口 5通过管道与二级减压阀6相连通，所述二级减压阀6通过管道与气动阀7相连通，所述气动阀7通过第一电动阀8控制，所述气动阀7通过管道与一混气间9相连通；在所述石英管体I的右端下部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体出气口 11，所述混合气体出气口 11通过管道与一真空发生器12相连通，在所述真空发生器12的右端设有排气口 14，在所述真空发生器12的左端设有压缩空气进口 13，所述压缩空气进口 13通过管道与第二电动阀16连接，所述第二电动阀16通过管道与一调压器17相连通，所述调压器17通过管道与带有干燥机的空气压缩机18相连通。
[0005]本实用新型的技术方案还可以是在所述混气间9内的管道上安装有气体泄漏报警装置10。
[0006]本实用新型的技术方案还可以是在所述石英管体I的出线端3设有含氧检测触头19，所述含氧检测触头19通过导线与含氧量测试仪15连接。
[0007]本实用新型的有益效果是通过所述石英管体I的左端和右端分别设有进线端2和出线端3，在邻近所述进线端2和出线端3的端部分别设有直径小于所述石英管体I内部腔体的瓶颈20，工作时所述石英管体I内部腔体内贯穿有铜线4，在所述石英管体I进线端2的瓶颈20处的上部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体进气口 5，所述混合气体进气口 5通过管道与二级减压阀6相连通，所述二级减压阀6通过管道与气动阀7相连通，所述气动阀7通过第一电动阀8控制，所述气动阀7通过管道与一混气间9相连通；在所述石英管体I的右端下部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体出气口 11，所述混合气体出气口 11通过管道与一真空发生器12相连通，在所述真空发生器12的右端设有排气口 14，在所述真空发生器12的左端设有压缩空气进口 13，所述压缩空气进口 13通过管道与第二电动阀16连接，所述第二电动阀16通过管道与一调压器17相连通，所述调压器17通过管道与带有干燥机的空气压缩机18相连通；使用时，按下启动按钮，第二电动阀16通电，空气压缩机18产生的压缩空气通过管道进入真空发生器12的左端，与此同时，第一电动阀8通电,驱动气动阀7打开,混气间9中含5%氢气的氮氢混合气进入石英管体I的混合气体进气口 5，并经过石英管体I内部腔体后从混合气体出气口 11进入真空发生器12中，真空发生器12产生负压(吸力)，当压力超出一定范围时气体从排气口 14排出进行泄压，通过调节二级减压阀6控制氮氢混合气气流的通断，通过调压器17可以调节进气压力大小，使氮氢混合气流速恒定，打开设置在石英管体I出线端3的含氧量测试仪15在线进行检测，使含氧量达到预设范围，当含氧量合格后，启动退火工作；若不合格，调节压缩空气调压器17和氮氢混合气二级减压阀，直到合格，这样实现了氮氢混合气充满度好，纯度高，流速恒定，气流可调可控，可靠性好，寿命长，效率高，且能够提高产品质量的效果。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是本实用新型的结构示意图
[0009]图1中1、石英管体，2、进线端，3、出线端，4、铜线，5、混合气体进气口，6、二级减压阀，7、气动阀，8、第一电动阀，9、混气间，IO、气体泄漏报警装置，11、混合气体出气口，12、真空发生器，13、压缩空气进口，14、排气口，15、含氧量测试仪，16、第二电动阀，17、调压器，18、空气压缩机，19、含氧检测触头，20、瓶颈。
【具体实施方式】
[0010]根据图1所示，本实用新型涉及一种铜线表面处理装置，它包括石英管体1，所述石英管体I的左端和右端分别设有进线端2和出线端3，在所述石英管体I的出线端3设有含氧检测触头19，所述含氧检测触头19通过导线与含氧量测试仪15连接，在邻近所述进线端2和出线端3的端部分别设有直径小于所述石英管体I内部腔体的瓶颈20，工作时所述石英管体I内部腔体内贯穿有铜线4，在所述石英管体I进线端2的瓶颈20处的上部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体进气口 5，所述混合气体进气口 5通过管道与二级减压阀6相连通，所述二级减压阀6通过管道与气动阀7相连通，所述气动阀7通过第一电动阀8控制，所述气动阀7通过管道与一混气间9相连通；在所述混气间9内的管道上安装有气体泄漏报警装置10，当泄露报警传感器检测到泄露气体时，给泄露报警器信号，泄露报警器输出声光报警，同时混气间9内防爆风机启动,排出泄露气体；在所述石英管体I的右端下部设有与所述石英管体I内部腔体相连通的混合气体出气口 11，所述混合气体出气口 11通过管道与一真空发生器12相连通，在所述真空发生器12的右端设有排气口 14，在所述真空发生器12的左端设有压缩空气进口 13，所述压缩空气进口 13通过管道与第二电动阀16连接，所述第二电动阀16通过管道与一调压器17相连通，所述调压器17通过管道与带有干燥机的空气压缩机18相连通；使用时，按下启动按钮，第二电动阀16通电，空气压缩机18产生的压缩空气通过管道进入真空发生器12的左端，与此同时，第一电动阀8通电，驱动气动阀7打开，混气间9中含5%氢气的氮氢混合气进入石英管体I的混合气体进气口 5，氮氢混合气经过石英管体I内部腔体后从混合气体出气口 11进入真空发生器12中，真空发生器12产生负压(吸力)，当压力超出一定范围时气体从排气口 14排出进行泄压，通过调节二级减压阀6控制氮氢混合气气流的通断，通过调压器17可以调节进气压力大小，使氮氢混合气流速恒定，打开设置在石英管体I出线端3的含氧量测试仪15在线进行检测，使含氧量达到预设范围，当含氧量合格后，启动退火工作，使用含5%氢气的氮氢混合气退火是在温度高于500度的条件下将铜线表面氧化层还原，使得铜线表面光亮基本无氧化，大大增强键合时的结合力；若不合格，调节压缩空气调压器17和氮氢混合气二级减压阀，直到合格，这样实现了氮氢混合气充满度好，纯度高，流速恒定，气流可调可控，可靠性好，寿命长，效率高，且能够提高产品质量的效果。
【权利要求】
1.一种铜线表面处理装置，它包括石英管体(I)，其特征在于:所述石英管体(I)的左端和右端分别设有进线端(2)和出线端(3)，在邻近所述进线端(2)和出线端(3)的端部分别设有直径小于所述石英管体(I)内部腔体的瓶颈(20)，工作时所述石英管体(I)内部腔体内贯穿有铜线(4)，在所述石英管体(I)进线端(2)的瓶颈(20)处的上部设有与所述石英管体(I)内部腔体相连通的混合气体进气口(5)，所述混合气体进气口(5)通过管道与二级减压阀(6)相连通，所述二级减压阀(6)通过管道与气动阀(7)相连通，所述气动阀(7)通过第一电动阀(8)控制，所述气动阀(7)通过管道与一混气间(9)相连通；在所述石英管体(O的右端下部设有与所述石英管体(I)内部腔体相连通的混合气体出气口(11)，所述混合气体出气口( 11)通过管道与一真空发生器(12)相连通，在所述真空发生器(12)的右端设有排气口( 14)，在所述真空发生器(12)的左端设有压缩空气进口( 13)，所述压缩空气进口(13)通过管道与第二电动阀(16)连接，所述第二电动阀(16)通过管道与一调压器(17)相连通，所述调压器(17)通过管道与带有干燥机的空气压缩机(18)相连通。
2.根据权利要求1所述的铜线表面处理装置，其特征在于:在所述混气间(9)内的管道上安装有气体泄漏报警装置(10)。
3.根据权利要求1或2所述的铜线表面处理装置，其特征在于:在所述石英管体(I)的出线端(3)设有含氧检测触头(19)，所述含氧检测触头(19)通过导线与含氧量测试仪(15)连接。
【文档编号】C21D1/74GK203625445SQ201320853295
【公开日】2014年6月4日 申请日期:2013年12月23日 优先权日:2013年12月23日
【发明者】王乾 申请人:山东科大鼎新电子科技有限公司