搬运装置及搬运装置的控制方法与流程

本发明涉及真空蒸镀技术领域，特别涉及一种搬运装置及搬运装置的控制方法。

背景技术：

oled(organiclightemittingdiode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，已经逐渐成为显示领域的主流。oled显示面板的子像素单元包括阳极、发光层和阴极。其中，发光层采用有机电致发光材料形成，目前主要采用掩膜板(mask)并通过蒸镀工艺制作在各子像素单元中。

在进行上述的蒸镀工艺时，需要将装有多个掩模板的卡匣运送至蒸镀装置的腔体内。首先，将含有卡匣的搬运小车行进至蒸镀装置。然后，工作人员将卡匣放置在蒸镀装置的腔体内部。卡匣中的掩膜板供蒸镀材料使用。

但是，在将卡匣运送至蒸镀装置内的过程中，搬运小车与蒸镀装置的对位过程完全靠手动进行，对位耗时耗力，且对位存在偏差，对位的成功率不高。

技术实现要素：

基于此，有必要针对上述搬运小车与蒸镀装置的对位过程耗时耗力，且对位成功率不高的问题，提供一种搬运装置及搬运装置的控制方法。

一种搬运装置，用于将掩模板搬运至蒸镀装置中。所述搬运装置包括：车箱、第一对位设备和控制电机。所述第一对位设备设置于所述车箱与所述蒸镀装置对接的一侧，所述第一对位设备包括第一对位元件，所述第一对位元件用于感应所述蒸镀装置上预设的第一对位标识并生成第一感应信息；所述控制电机设置于所述车箱内，所述控制电机与所述第一对位设备连接，所述控制电机用于根据所述第一感应信息调整所述车箱相对于所述蒸镀装置的方位。

在其中一个实施中，所述第一对位设备还包括第二对位元件，所述第二对位元件用于感应所述车箱与所述蒸镀装置的距离。

在其中一个实施中，所述第一对位元件包括视觉感应元件，所述第二对位元件包括距离感应元件。

在其中一个实施中，所述搬运装置还包括传动机构、卡匣和第二对位设备，所述传动机构设置于所述车箱内，所述传动机构与所述控制电机连接；所述卡匣位于所述车箱内，且所述卡匣与所述传动机构连接，所述卡匣用于存放所述掩模板；所述第二对位设备设置于所述车箱上与所述蒸镀装置对接的一侧或所述卡匣朝向所述蒸镀装置的一侧，所述第二对位设备与所述控制电机连接，所述第二对位设备用于感应所述蒸镀装置内的卡匣平台并相应生成第二感应信息；所述控制电机根据所述第二感应信息控制所述传动机构将所述卡匣传送至所述卡匣平台上。

在其中一个实施中，所述搬运装置还包括第三对位设备，所述第三对位设备设置于所述车箱的底部，所述第三对位设备用于感应所述车箱与所述蒸镀设备对接路径上预设的第二对位标识，且所述控制电机与所述第三对位设备连接。

上述搬运装置在行进至蒸镀装置的过程中，第一对位元件感应蒸镀装置上预设的第一对位标识，并且将第一感应信息传送至控制电机。第一感应信息表明第一对位元件是否感应到第一对位标识，并且可以反映出第一对位元件是否对准第一对位标识。控制电机根据第一感应信息控制车箱移动，直至车箱与蒸镀装置对准。这样，搬运装置与蒸镀装置通过第一对位元件自动对位，对位省时省力，且对位准确，成功率高。

一种搬运装置的控制方法，用于控制所述搬运装置相对于蒸镀装置的方位，包括：

感应预设的第一对位标识，输出第一感应信息；

判断所述第一感应信息是否符合预设的第一对位标识的信息；

如果所述第一感应信息不符合所述第一对位标识的信息，则调整所述搬运装置相对于所述蒸镀装置的方位，继续感应所述第一对位标识。

在其中一个实施中，所述判断所述第一感应信息是否符合预设的第一对位标识的信息的步骤之后还包括：

如果所述第一感应信息符合所述第一对位标识的信息，则感应所述搬运装置与所述蒸镀装置的距离，输出距离值；

判断所述距离值是否符合预设的目标值，如果所述距离值符合所述目标值，则将所述搬运装置锁紧连接至所述蒸镀装置上，如果所述距离值不符合所述目标值，则调整所述搬运装置相对于所述蒸镀装置的距离，继续感应所述搬运装置与所述蒸镀装置的距离。

在其中一个实施中，所述将所述搬运装置锁紧连接至所述蒸镀装置上的步骤之后还包括：

感应所述蒸镀装置中的卡匣平台，输出第二感应信息；

根据所述第二感应信息判断是否感应到卡匣平台，如果感应到卡匣平台，则将所述搬运装置中的卡匣运送至所述卡匣平台上。

在其中一个实施中，所述第一对位标识包括二维码。

在其中一个实施中，所述第一对位标识包括图形。

上述蒸镀装置的控制方法，搬运装置在行进至蒸镀装置的过程中，第一感应信息表明搬运装置上的感应设备是否感应到第一对位标识，并且可以反映出感应设备是否对准第一对位标识，当感应设备感应到且对准第一对位标识，表明搬运装置对准了蒸镀装置。根据第一感应信息，控制电机可以控制搬运装置移动，直至搬运装置与蒸镀装置对准。这样，搬运装置通过感应第一对位标识与蒸镀装置自动对位，对位省时省力，且对位准确，成功率高。

附图说明

图1为一实施例中蒸镀装置的示意图；

图2为本发明一实施例的搬运装置与图1所示的蒸镀装置的对接示意图；

图3为本发明应用于图2所示实施例的搬运装置的控制方法的流程示意图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。

蒸镀装置100，用于将材料加热并将材料蒸镀到基片上。进一步地，蒸镀装置100是将待成膜的材料借助于掩模板蒸镀到基片上。如图1所示，图1为实施例中蒸镀装置100的示意图。蒸镀装置100一般为真空设备，蒸镀装置100中设有真空腔室，蒸镀装置100的一侧设置有第一对位接口(未示出)。蒸镀装置100中还设置有卡匣平台110。此外，蒸镀装置100上在第一对位接口所在的一侧设置有第一对位标识(未示出)。

需要说明的是，本实施方式中的方位词“左”、“右”、“前”、“后”只表示相对的位置关系，对本发明的内容不构成限制。

如图2所示，图2为本实施例的搬运装置200与图1所示的蒸镀装置100的对接示意图。一种搬运装置200，用于将掩模板300搬运至蒸镀装置100中。该搬运装置200包括车箱210、第一对位设备220和控制电机(未示出)。第一对位设备220设置于车箱210与蒸镀装置100对接的一侧，第一对位设备220包括第一对位元件(未示出)，第一对位元件用于感应蒸镀装置100上预设的第一对位标识并生成第一感应信息。控制电机设置于车箱210内，控制电机与第一对位设备220连接，控制电机用于根据第一感应信息调整车箱210相对于蒸镀装置100的方位。

上述搬运装置200在行进至蒸镀装置100的过程中，第一对位元件感应蒸镀装置100上预设的第一对位标识，并且将第一感应信息传送至控制电机。第一感应信息表明第一对位元件是否感应到第一对位标识，并且可以反映出第一对位元件是否对准第一对位标识。如果第一对位元件感应到且对准了第一对位标识，则意味着搬运装置200的车箱210对准了蒸镀装置100。如果第一对位元件没有感应到第一对位标识，或者第一对位元件感应到第一对位标识但没有对准第一对位标识，控制电机根据第一感应信息控制车箱210相应移动至车箱210与蒸镀装置100对准。这样，搬运装置200与蒸镀装置100通过第一对位元件自动对位，对位省时省力，且对位准确，成功率高。

车箱210上的一侧设置有与蒸镀装置100的第一对位接口对接的第二对位接口(未示出)，第二对位接口与第一对位接口相匹配。搬运装置200与蒸镀装置100对位成功后，第二对位接口与第一对位接口对准。保证能够将掩模板300顺利地从搬运装置200运送至蒸镀装置100，且掩模板300依次经过第二对位接口和第一对位接口进入蒸镀装置100。

如图2所示，搬运装置200还包括传动机构240和卡匣250，传动机构240设置于车箱210内，传动机构240与控制电机连接。卡匣250位于车箱210内，且卡匣250与传动机构240连接，卡匣250用于存放掩模板300。搬运装置200与蒸镀装置100对位后，控制电机控制传动机构240工作，传动机构240可以将卡匣250从搬运装置200的车箱210内传送至蒸镀装置100的卡匣平台110上。由于掩膜板存放于卡匣250内，因此掩膜板不仅可以随着卡匣250移动，同时卡匣250还可以保证掩膜板的安全性。

本实施例中，第一对位设备220还包括第二对位元件(未示出)，第二对位元件用于感应车箱210与蒸镀装置100的距离并输出感应距离值。控制电机根据第二对位元件的感应距离值控制车箱210相对于蒸镀装置100的前后移动，以调整车箱210与蒸镀装置100的距离，使车箱210与蒸镀装置100的实际距离与预设距离值相等。这样，在第一对位元件感应并对准第一对位标识后，再应用第二对位元件使车箱210与蒸镀装置100的实际距离达到预设距离，能够进一步使得搬运装置200与蒸镀装置100对位准确。

进一步地，第一对位元件的数量可以为两个以上，两个以上的第一对位元件位于车厢上的不同位置。这样两个以上第一对位元件相配合可以确保搬运装置200与蒸镀装置100对准。类似地，第二对位元件的数量也可以为两个以上，两个以上第二对位元件的位置不同。这样，两个以上第二对位元件同时感应车箱210与蒸镀装置100的距离，可以确保搬运装置200与蒸镀装置100对位成功，对位更精确。

第一对位元件包括视觉感应元件，第二对位元件包括距离感应元件。视觉感应元件可以是图像传感器，如ccd图像传感器。这样第一对位元件不仅可以感应上述的第一对位标识，当第一对位元件朝向第一对位标识时，并且第一感应信息可以反映第一对位元件相对于第一对位标识的左右方向。当第一对位元件处于第一对位标识的左边时，控制电机控制箱体向右运动。当第一对位元件处于第一对位标识的右边时，控制电机控制箱体向左运动。

距离感应元件可以是激光传感器，实现车箱210与蒸镀装置100的无接触远距离测量，这样可以精确地感应车箱210与蒸镀装置100的距离。因此，通过视觉感应元件和距离感应元件的感应信息，控制电机可以精确、快速地调整车箱210相对于蒸镀装置100的位置，以使搬运装置200与蒸镀装置100的精确对位。

如图2所示，搬运装置200还包括第二对位设备260，第二对位设备260设置于车箱210上与蒸镀装置100对接的一侧或卡匣250朝向蒸镀装置100的一侧。第二对位设备260与控制电机连接，第二对位设备260用于感应蒸镀装置100内的卡匣平台110并相应生成第二感应信息。控制电机根据第二感应信息控制传动机构240将卡匣250传送至卡匣平台110上。第二对位接口与第一对位接口对准后，第二对位设备260负责与卡匣平台110对位，当第二对位设备260感应到且对准所述卡匣平台110，控制电机控制传动机构240传动卡匣250，使卡匣250相继通过第二对位接口和第一对位接口，最终将卡匣250传送至卡匣平台110上。这样，第二对位设备260与卡匣平台110的对位为自动对位，且对位准确，控制电机可以控制传动机构240精确地将卡匣250传送至卡匣平台110上。进一步地，本实施例中，第二对位设备260设置在卡匣250朝向蒸镀装置100的一侧，这样卡匣250与卡匣平台110的对位更精确。

在其中一个实施中，在搬运装置200朝向蒸镀装置100行进的路径上设置有第二对位标识。搬运装置200还包括第三对位设备，第三对位设备设置于车箱210的底部，第三对位设备用于感应车箱210与蒸镀设备对接路径上预设的第二对位标识并生成第三感应信息，且控制电机与第三对位设备连接。具体地，第三对位设备与第二对位标识对准意味着搬运装置200的车箱210与蒸镀装置100对准了。第三对位设备感应到第二对位标识，控制电机根据第三感应信息调整车箱210相对于第二对位标识的位置，最终使得第三对位设备对准第二对位标识。这样，第三对位设备可以作为搬运装置200的备用对位设备，以防不时之需。搬运装置200也可以在启用第一对位设备220的同时启用第三对位设备，第三对位设备与第一对位设备220相配合，共同感应且对准相应的对位标识，使得搬运装置200的车箱210与蒸镀装置100对位更精确。

一种搬运装置200的控制方法，用于控制搬运装置200相对于蒸镀装置100的方位。蒸镀装置100上与搬运装置200对接的一侧预设有第一对位标识，且第一对位标识为搬运装置200与蒸镀装置100的对位过程所用。

如图3所示，图3为本发明应用于图2所示实施例的搬运装置200的控制方法的流程示意图。上述控制方法包括：步骤s110，感应预设的第一对位标识，输出第一感应信息。

具体地，搬运装置200在行进至蒸镀装置100的过程中，第一对位设备220上的第一对位元件感应预设的第一对位标识，输出第一感应信息，并且将感应信息传送至控制电机。本实施例中，第一对位标识包括图形，比如十字对位标记等。这样，第一对位元件仅感应图形，感应图形精确，根据感应信息就可以得出第一对位元件相对于第一对位标识的左右方向。

需要说明的是，第一对位标识的形式不局限于图形，也可以为其它形式。在其中一个实施例中，第一对位标识包括二维码，由第一对位元件扫描到该二维码的信息，并且对准该二维码图形，实现第一对位元件的智能感应。

步骤s120，判断第一感应信息是否符合预设的第一对位标识的信息。

具体地，控制电机判断第一感应信息是否符合第一对位标识。第一感应信息表明第一对位元件是否感应到第一对位标识，并且可以反映出第一对位元件是否对准第一对位标识，即可以反映出第一对位元件相对于第一对位标识的左右方向。

步骤s130，如果第一感应信息不符合第一对位标识的信息，则调整搬运装置200相对于蒸镀装置100的方位，继续感应第一对位标识。

具体地，如果第一对位元件没有感应到第一对位标识，或者第一对位元件感应到第一对位标识但没有对准第一对位标识，则意味着搬运装置200没有对准蒸镀装置100。这时，控制电机控制车箱210相应移动，调整搬运装置200相对于蒸镀装置100的左右方向。搬运装置200相对于蒸镀装置100的方位调整之后，第一对位元件继续感应第一对位标识。直至搬运装置200对准蒸镀装置100。

上述控制方法，搬运装置200在行进至蒸镀装置100的过程中，第一感应信息表明第一对位设备220是否感应到第一对位标识，还可以反映出第一对位设备220是否对准第一对位标识，从而反映搬运装置200相对于蒸镀装置100的左右方向。如果搬运装置200没有对准蒸镀装置100，控制电机控制搬运装置200移动，直至搬运装置200与蒸镀装置100对准。这样，搬运装置200通过第一对位元件感应第一对位标识与蒸镀装置100自动对位，对位省时省力，且对位准确，成功率高。

本实施例中，步骤s120，即判断第一感应信息是否符合预设的第一对位标识的信息的步骤之后还包括：

步骤s140，如果第一感应信息符合第一对位标识的信息，则感应搬运装置200与蒸镀装置100的距离，输出距离值。

步骤s150，判断距离值是否符合预设的目标值。如果距离值符合目标值，则将搬运装置200锁紧连接至蒸镀装置100上，如果距离值不符合目标值，则调整搬运装置200相对于蒸镀装置100的距离，继续感应搬运装置200与蒸镀装置100的距离。

具体地，如果第一对位元件感应到且对准了第一对位标识，则意味着搬运装置200的车箱210对准了蒸镀装置100。搬运装置200对准蒸镀装置100后，搬运装置200中的第二对位元件感应搬运装置200与蒸镀装置100的距离，并将距离值传输至控制电机。

控制电机根据第二对位元件输出的距离信息，判断距离值是否符合目标值。如果距离值符合目标值，说明搬运装置200与蒸镀装置100对准了。反之，说明搬运装置200与蒸镀装置100没有对准。进一步地，如果距离值符合目标值，则工作人员将搬运装置200锁紧连接至蒸镀装置100上，保证搬运装置200相对于蒸镀装置100的稳定性。如果距离值不符合目标值，则控制装置控制搬运装置200相对蒸镀装置100前后移动，第二对位元件继续感应二者之间的距离，如此反复，直至控制装置与蒸镀装置100的距离值符合目标值。

这样，在第一对位元件感应并对准第一对位标识后，再应用第二对位元件使车箱210与蒸镀装置100的实际距离达到预设距离，能够进一步使得搬运装置200与蒸镀装置100对位准确。

本实施中，将搬运装置200锁紧连接至蒸镀装置100上的步骤之后还包括：

步骤s160，感应蒸镀装置100中的卡匣平台110，输出第二感应信息。

步骤s170，根据第二感应信息判断是否感应到卡匣平台110，如果感应到卡匣平台110，则将搬运装置200中的卡匣250运送至卡匣平台110上。

具体地，由搬运装置200上的第二对位设备260感应卡匣平台110，并将第二感应信息传送至控制电机。控制电机根据第二感应信息控制传动机构240将卡匣250传送至卡匣平台110上。第二对位接口与第一对位接口对准后，第二对位设备260负责与卡匣平台110对位，当第二对位设备260感应到且对准所述卡匣平台110，控制电机控制传动机构240传动卡匣250，最终将卡匣250传送至卡匣平台110上。这样，第二对位设备260与卡匣平台110的对位为自动对位，且对位准确，控制电机可以控制传动机构240精确地将卡匣250传送至卡匣平台110上。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。