一种银饰批量处理设备的制作方法

本实用新型涉及银饰批量处理技术，尤其涉及一种银饰批量处理设备。

背景技术：

现有技术在对银饰进行批量生产时，需要对银饰进行保护膜添加处理。现有技术往往采用原子层沉积技术进行镀膜，该技术能在复杂形貌衬底上形成高质量的薄膜，具有精确的膜层组份控制能力和较好的台阶覆盖率。

但采用原子层沉积技术后，由于保护膜均匀性较差，导致银饰与空气接触一段时间后，其表面就会变得黯淡甚至发黑，严重影响了工艺饰品的表面质量。

技术实现要素：

本实用新型提供一种银饰批量处理设备，用于提高保护膜层厚度的均匀性。

本实用新型的第一个方面提供一种银饰批量处理设备，包括：气体注入设备、真空腔、反应腔、匀气装置和测试装置；

所述反应腔设置于所述真空腔内，并且所述反应腔设置有至少一个进气孔和至少一个出气孔；所述匀气装置分别设置于所述进气孔和所述出气孔处；所述气体注入设备通过导管与所述进气孔连接；

其中，测试装置包含：样本承载架、移动轨道、腐蚀测试仪和光谱测试仪；

所述样本承载架设置于所述反应腔内，所述反应腔与所述真空腔之间设置有第一密封接口，所述移动轨道与所述样本承载架连接；所述移动轨道穿过所述第一密封接口，分别与所述腐蚀测试仪和所述光谱测试仪连接。

较佳地，所述腐蚀测试仪和所述光谱测试仪分别设有柜门。

较佳地，所述腐蚀测试仪包含：第一测试腔体、腐蚀溶液存储罐和腐蚀溶液注入器；

其中，所述第一测试腔体与所述移动轨道连接，用于容置所述样本承载架；所述腐蚀溶液注入器与所述腐蚀溶液存储罐；所述腐蚀溶液注入器对准所述样本承载架上的样本；

所述光谱测试仪包含：第二测试腔体、紫外可见近红外分光光度计和处理器；

所述第二测试腔体所述移动轨道连接，用于容置所述样本承载架；所述紫外可见近红外分光光度计对准所述样本承载架上的样本；所述处理器与所述紫外可见近红外分光光度计电连接。

较佳地，所述样本承载架设置有多个托盘，所述托盘用于放置所述样本。

较佳地，所述腐蚀溶液注入器设置有多个端口，每个所述端口与一个所述托盘对应。

较佳地，所述匀气装置，包括：带通孔的圆盘和至少一个带通孔的圆环；

所述至少一个带通孔的圆环围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述匀气装置，包括：所述带通孔的圆盘、带通孔的第一圆环、带通孔的第二圆环、带通孔的第三圆环、带通孔的第四圆环和一个带通孔的子圆盘；

其中，所述带通孔的第二圆环嵌套在所述带通孔的第一圆环内，所述带通孔的第三圆环嵌套在所述带通孔的第二圆环内，所述带通孔的第四圆环嵌套在所述带通孔的第三圆环内，所述带通孔的子圆盘嵌套在所述带通孔的第四圆环内；

所述带通孔的第一圆环、所述带通孔的第二圆环、所述带通孔的第三圆环和所述带通孔的第四圆环围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述带通孔的圆盘设置有第一固定孔位；所述带通孔的第一圆环设置有与所述第一固定孔位匹配的第一转动槽；

所述带通孔的第一圆环具有固定螺栓穿过所述第一转动槽与所述第一固定孔位固接；所述带通孔的第一圆环能够沿着所述第一转动槽围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述带通孔的圆盘设置有第二固定孔位；所述带通孔的第二圆环设置有与所述第二固定孔位匹配的第二转动槽；

所述带通孔的第二圆环具有固定螺栓穿过所述第二转动槽与所述第二固定孔位固接；所述带通孔的第二圆环能够沿着所述第二转动槽围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述带通孔的圆盘设置有第三固定孔位；所述带通孔的第三圆环设置有与所述第三固定孔位匹配的第三转动槽；

所述带通孔的第三圆环具有固定螺栓穿过所述第三转动槽与所述第三固定孔位固接；所述带通孔的第三圆环能够沿着所述第三转动槽围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述带通孔的圆盘设置有第四固定孔位；所述带通孔的第四圆环设置有与所述第四固定孔位匹配的第四转动槽；

所述带通孔的第四圆环具有固定螺栓穿过所述第四转动槽与所述第四固定孔位固接；所述带通孔的第四圆环能够沿着所述第四转动槽围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述带通孔的圆盘的圆心设置有第五固定孔位；所述带通孔的子圆盘设置有与所述第五固定孔位匹配的第五转动孔；

所述带通孔的子圆盘具有固定螺栓穿过所述第五转动孔与所述第五固定孔位固接；所述带通孔的子圆盘能够以所述第五转动孔方向为轴心围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

较佳地，所述腐蚀测试仪包含：第一测试腔体、腐蚀溶液存储罐和腐蚀溶液注入器；

其中，所述第一测试腔体与所述移动轨道连接，用于容置所述样本承载架；所述腐蚀溶液注入器与所述腐蚀溶液存储罐；所述腐蚀溶液注入器对准所述样本承载架上的样本；

所述光谱测试仪包含：第二测试腔体、紫外可见近红外分光光度计和处理器；

所述第二测试腔体所述移动轨道连接，用于容置所述样本承载架；所述紫外可见近红外分光光度计对准所述样本承载架上的样本；所述处理器与所述紫外可见近红外分光光度计电连接。

本实用新型提供的银饰批量处理设备，通过增设匀气装置，来对采用化学气相沉积技术对银饰进行处理过程中，实现匀气处理。从而使得保护膜层厚度更加均匀，从而使得银饰的外观及抗变色能力增强。

附图说明

图1为本实用新型实施例提供的一种银饰批量处理设备的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的一种匀气装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的另一种银饰批量处理设备的结构示意图。

具体实施方式

图1为本实用新型实施例提供的一种银饰批量处理设备的结构示意图，参照图1，该设备包括：气体注入设备10、真空腔11、反应腔12、匀气装置13和测试装置；

所述反应腔12设置于所述真空腔11内，并且所述反应腔12设置有至少一个进气孔121和至少一个出气孔122；所述匀气装置13分别设置于所述进气孔121和所述出气孔处122；所述气体注入设备10通过导管101与所述进气孔121连接。

其中，测试装置包含：样本承载架140、移动轨道141、腐蚀测试仪142和光谱测试仪143；

所述样本承载架140设置于所述反应腔12内，所述反应腔12与所述真空腔11之间设置有第一密封接口15，所述移动轨道141与所述样本承载架140连接；所述移动轨道141穿过所述第一密封接口15，分别与所述腐蚀测试仪142和所述光谱测试仪143连接。

本实用新型提供的银饰批量处理设备，通过增设匀气装置，来对采用化学气相沉积技术对银饰进行处理过程中，实现匀气处理。从而使得保护膜层厚度更加均匀，从而使得银饰的外观及抗变色能力增强，通过增加测试装置，从而在银饰批量处理过程中，对银饰的处理效果进行实时监测，提高处理质量。

可选的，在腐蚀测试仪142和光谱测试仪143分别设置有柜门144，参照图1，柜门144用于设置移动轨道141通过，从而使得所述样本承载架140穿过所述柜门144进入腐蚀测试仪142；在完成腐蚀测试后，所述样本承载架140再通过所述样本承载架140进入光谱测试仪143。

可选的，第一密封接口15设置有密封挡板，在关闭状态中实现真空腔11的密封，密封挡板打开时，则可以将样本承载架140通过移动轨道141移动至腐蚀测试仪142。类似的，柜门144也具备密封功能，可选的，还可以配合现有的其他密封机构来达到密封效果。

可选的，所述样本承载架设置有多个托盘，所述托盘用于放置所述样本。所述腐蚀溶液注入器设置有多个端口，每个所述端口与一个所述托盘对应。

进一步地，与匀气装置临近的区域，尤其是靠近进气孔位置的膜层厚度比其他位置的膜层厚度厚，膜层厚度均匀性很差，即便调整镀膜治具的高度，改进工艺参数，膜层厚度均匀性改善的效果并不明显，膜层厚度均匀性始终大于8％。为了解决这一问题，对该匀气装置进行如下改进：所述匀气装置具体包括：带通孔的圆盘和至少一个带通孔的圆环；并且所述至少一个带通孔的圆环围绕所述带通孔的圆盘的圆心旋转。

进一步地，为了对匀气装置改进进行说明，下面通过具体实施例对该匀气装置进行说明。图2为本实用新型实施例提供的一种匀气装置的结构示意图，参照图2，所述匀气装置，包括：所述带通孔a的圆盘100、带通孔b的第一圆环101、带通孔c的第二圆环102、带通孔d的第三圆环103、带通孔e的第四圆环104和一个带通孔f的子圆盘105；

其中，所述带通孔c的第二圆环102嵌套在所述带通孔b的第一圆环101内，所述带通孔d的第三圆环103嵌套在所述带通孔c的第二圆环102内，所述带通孔e的第四圆环104嵌套在所述带通孔d的第三圆环103内，所述带通孔f的子圆盘105嵌套在所述带通孔e的第四圆环104内；

所述带通孔b的第一圆环101、所述带通孔c的第二圆环102、所述带通孔d的第三圆环103和所述带通孔e的第四圆环104围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

进一步地，为了对各个圆环转动的范围进行限定，下面给出一种可能的实现方式：

所述带通孔a的圆盘100设置有第一固定孔位1001；所述带通孔b的第一圆环101设置有与所述第一固定孔位1001匹配的第一转动槽1011；

所述带通孔b的第一圆环101具有固定螺栓穿过所述第一转动槽1011与所述第一固定孔位1001固接；所述带通孔b的第一圆环101能够沿着所述第一转动槽1011围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

所述带通孔a的圆盘100设置有第二固定孔位1002；所述带通孔c的第二圆环102设置有与所述第二固定孔位1002匹配的第二转动槽1021；

所述带通孔c的第二圆环102具有固定螺栓穿过所述第二转动槽1021与所述第二固定孔位1002固接；所述带通孔c的第二圆环102能够沿着所述第二转动槽1021围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

所述带通孔a的圆盘100设置有第三固定孔位1003；所述带通孔d的第三圆环103设置有与所述第三固定孔位1003匹配的第三转动槽1031；

所述带通孔d的第三圆环103具有固定螺栓穿过所述第三转动槽1031与所述第三固定孔位1003固接；所述带通孔d的第三圆环103能够沿着所述第三转动槽1031围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

所述带通孔a的圆盘100设置有第四固定孔位1004；所述带通孔e的第四圆环104设置有与所述第四固定孔位1004匹配的第四转动槽1041；

所述带通孔e的第四圆环104具有固定螺栓穿过所述第四转动槽1041与所述第四固定孔位1004固接；所述带通孔e的第四圆环104能够沿着所述第四转动槽1041围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

所述带通孔a的圆盘100的圆心设置有第五固定孔位1005；所述带通孔f的子圆盘105设置有与所述第五固定孔位1005匹配的第五转动孔1051；

所述带通孔f的子圆盘105具有固定螺栓穿过所述第五转动孔1051与所述第五固定孔位1005固接；所述带通孔f的子圆盘105能够以所述第五转动孔1005方向为轴心围绕所述带通孔a的圆盘100的圆心旋转。

匀气盘的下面是带有通孔的圆盘，在上面与其紧密贴合为带有通孔的多个圆环，每个圆环可以单独围绕着共同的圆心旋转，进而改变不同圆环处的进气量和出气量，从而改善膜层厚度的均匀性。通过对匀气装置的调整，整体膜层厚度均匀性有了很大程度的改善。

在图1的基础上，图3为本实用新型实施例提供的另一种银饰批量处理设备的结构示意图，参照图3，该腐蚀测试仪142包含：第一测试腔体142-1、腐蚀溶液存储罐142-2和腐蚀溶液注入器142-3；

其中，所述第一测试腔体142-1与所述移动轨道141连接，用于容置所述样本承载架140；所述腐蚀溶液注入器142-3与所述腐蚀溶液存储罐142-2；所述腐蚀溶液注入器142-3对准所述样本承载架140上的样本；

所述光谱测试仪143包含：第二测试腔体143-1、紫外可见近红外分光光度计143-2和处理器143-3；

所述第二测试腔体143-1所述移动轨道141连接，用于容置所述样本承载架140；所述紫外可见近红外分光光度计143-2对准所述样本承载架140上的样本；所述处理器143-3与所述紫外可见近红外分光光度计143-2电连接。

可选的，该承载架140配有ISR-2600PLUS积分球附件；该处理器143-3运行色彩分析软件，实验过程中以硫酸钡为标准件，分别对未镀保护膜的银饰及膜层厚度为30nm和45nm的银饰表面进行漫反射测试，测试的波段范围为380nm-760nm,为了减小测试误差，将银饰样本固定在积分球对应的夹具上进行镀膜前后的测试。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。