镀膜加工用的修正挡板的制作方法

本技术涉及镀膜加工装置，具体涉及镀膜加工用的修正挡板。

背景技术：

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

2、现有的真空镀膜机在镀膜的过程中，需要用到修正挡板调整待镀膜产品的镀膜厚度以及镀膜区域，但目前的修正挡板大多是固定的形状大小，通用性不强，仅能针对同一种镀膜产品和镀膜条件，无法适应不同要求的生产加工过程，例如，在蒸镀设计值100纳米过程中，修正挡板的宽度为450mm，由于遮挡过多，按原设计值进行加工后，实际加工值只有75纳米，想要达到设计值100纳米，需镀133.33纳米左右，需要更多的蒸镀时间，导致加工效率变低。

3、针对此现象，通常需要更换与其适配的修正挡板，来达到预期效果，但此方法操作过于繁琐，需要提前准备多种不同宽度的修正挡板进行备用，导致生产成本增加，且在不同条件下使用时，需要频繁的更换适配的修正挡板，增加了人工成本和劳动强度，无法满足产业需求。

技术实现思路

1、针对上述现有技术的缺陷，本实用新型提供镀膜加工用的修正挡板，结构简单、使用方便，通用性强，无需准备多种不同宽度的修正挡板，也无需频繁更换修正挡板，有效降低生产成本，降低人工成本和劳动强度，满足产业需求。

2、为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：

3、镀膜加工用的修正挡板，包括尺寸相同的上挡板和下挡板，上挡板和下挡板上下重叠在一起，上挡板包括左右并排设置的第一挡板和第二挡板，下挡板的中部设有六个横向均匀分布的定位槽，下挡板的两端设有横向设置的限位滑槽，定位槽的一侧设有与其分布方向相同的刻度线，第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔，第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆，通过定位杆穿过通孔插入定位槽内，使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动，而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时，第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸。

4、上述说明中，作为优选，所述定位杆的上端设有盖帽，盖帽的直径大于通孔的直径，盖满可盖合在通孔上，对通孔进行遮挡。

5、上述说明中，作为优选，所述上挡板和下挡板均呈中间宽两端窄的形状。

6、本实用新型所产生的有益效果是：限位杆插入限位滑槽内，第一挡板和第二挡板可通过限位滑槽，向外伸出，且限位滑槽可防止第一挡板和第二挡板移动时，出现转动，通过定位杆穿过通孔插入定位槽内，固定第一挡板和第二挡板向外伸出的位置，而刻度线设有用于标注定位杆插入每个定位槽时，第一挡板和第二挡板由下挡板向外伸出的尺寸，根据所需的挡板宽度，通孔沿刻度线找到对应的定位槽位置，定位杆穿过通孔插入定位槽内，调整第一挡板和第二挡板向外伸出的尺寸，可有效增加遮挡范围，使其适配不同条件下所需的宽度，结构简单，使用方便，通用性强，无需准备多种不同宽度的修正挡板，也无需频繁更换修正挡板，有效降低生产成本，降低人工成本和劳动强度，满足产业需求。

技术特征：

1.镀膜加工用的修正挡板，包括尺寸相同的上挡板和下挡板，其特征在于：所述上挡板和下挡板上下重叠在一起，上挡板包括左右并排设置的第一挡板和第二挡板，下挡板的中部设有若干横向均匀分布的定位槽，下挡板的两端设有横向设置的限位滑槽，定位槽的一侧设有与其分布方向相同的刻度线，第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔，第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆，通过定位杆穿过通孔插入定位槽内，使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动。

2.根据权利要求1所述的镀膜加工用的修正挡板，其特征在于：所述定位杆的上端设有盖帽，盖帽的直径大于通孔的直径。

3.根据权利要求1所述的镀膜加工用的修正挡板，其特征在于：所述上挡板和下挡板均呈中间宽两端窄的形状。

技术总结
本技术涉及镀膜加工装置技术领域，具体公开了镀膜加工用的修正挡板，包括尺寸相同的上挡板和下挡板，上挡板和下挡板上下重叠在一起，上挡板包括第一挡板和第二挡板，下挡板的中部设有若干定位槽，下挡板的两端设有限位滑槽，定位槽的一侧设有刻度线，第一挡板和第二挡板的中部均设有与定位槽对应的通孔，第一挡板和第二挡板的两端均设有与限位滑槽适配的限位杆，通过定位杆穿过通孔插入定位槽内，使第一挡板和第二挡板可沿限位滑槽在下挡板上方横向向外移动。本技术结构简单、使用方便，通用性强，无需准备多种不同宽度的修正挡板，也无需频繁更换修正挡板，有效降低生产成本，降低人工成本和劳动强度，满足产业需求。

技术研发人员：谢志
受保护的技术使用者：广东启辰光电科技有限公司
技术研发日：20221223
技术公布日：2024/1/11