本发明属于抛光设备，具体涉及对金刚石晶体抛光的设备或装置，尤其涉及一种用于金刚石晶体的抛光设备及其抛光方法。
背景技术：
1、金刚石晶体作为重要的半导体材料，在制造过程中，经常会受到机械手等工具的撞击，导致金刚石晶体边缘产生应力集中，容易发生破裂。通过倒角处理，可以消除这些尖锐的边缘，减少应力集中，从而提高金刚石晶体的机械强度和使用寿命。
2、由于金刚石晶体的硬度较大，在倒角过程中，打磨粒由于磨损而发生破碎，导致打磨粒韧角钝化，强度降低，从而使打磨粒更容易形成碎屑，在后续倒角时，会划伤金刚石晶体，在倒角处形成损伤层。在后续工艺中，倒角处的损伤层容易残留杂物，在热处理时，会将杂物附着在金刚石晶体表面。
3、相关技术中通过对金刚石晶体的倒角进行抛光，以解决损伤层带来的问题。在对金刚石晶体的倒角进行抛光时，抛光液内的水分会逐渐蒸发，因此，需要频繁将抛光设备停机，对抛光布重新进行浸润，从而导致抛光液用量增加，而且每次浸润时，多余的抛光液会沿旋转台流下，造成抛光液的浪费。
4、因此，如何减少抛光布内抛光液的水分流失，提高抛光液的利用率是目前亟待解决的技术问题。
5、需要说明的是，本背景技术部分中公开的以上信息仅用于理解本申请构思的背景技术，因此，并不认为上述描述构成现有技术的信息。
技术实现思路
1、本公开实施例至少提供一种用于金刚石晶体的抛光设备及其抛光方法。
2、第一方面，本公开实施例提供了一种用于金刚石晶体的抛光设备，包括：
3、支撑架；
4、旋转台，其转动设置在所述支撑架上，且所述旋转台的顶面开设有多个同心设置的圆环状蓄液槽；
5、驱动机构，其设置在所述支撑架上，且用于驱动所述旋转台转动；
6、抛光布，其设置在所述旋转台上，且用于金刚石晶体的倒角抛光；
7、在抛光时，所述驱动机构驱动所述旋转台转动时，所述圆环状蓄液槽中的抛光液在离心力的作用下，向外飞溅，从而对圆环状蓄液槽正对的抛光布持续浸润。
8、在一种可选的实施方式中，所述圆环状蓄液槽的宽度为l；
9、待抛光的金刚石晶体的厚度为h；
10、其中，l≥1.5h；
11、在抛光时，将金刚石晶体倾斜靠近抛光布，抵持并挤压位于任一圆环状蓄液槽上方的抛光布，以使金刚石晶体的倒角以及对应处的抛光布陷入到圆环状蓄液槽中，以增加金刚石晶体的倒角与所述抛光布接触的稳定性。
12、在一种可选的实施方式中，所述旋转台的底面设置有转动轴；
13、所述旋转台通过转动轴转动连接在所述支撑架上；
14、所述转动轴的轴心与所述圆环状蓄液槽的圆心重合。
15、在一种可选的实施方式中，所述用于金刚石晶体的抛光设备还包括供液管；所述供液管设置在所述旋转台的上方；
16、在抛光之前，通过所述供液管将抛光液输送至所述抛光布的表面，以对抛光布进行浸润。
17、在一种可选的实施方式中，在抛光液对所述抛光布浸润完毕之后，剩余的抛光液从所述抛光布渗透并流入所述圆环状蓄液槽中，从而减少抛光液的流失。
18、在一种可选的实施方式中，所述圆环状蓄液槽内设置有升降环；
19、所述升降环的尺寸与所述圆环状蓄液槽的尺寸适配；
20、所述用于金刚石晶体的抛光设备还包括抬升件；
21、所述旋转台的侧壁沿直径方向开设有与每个所述圆环状蓄液槽连通的插孔；
22、所述抬升件设置在所述插孔内，且在将所述抬升件从所述插孔内抽出时，将每个所述圆环状蓄液槽内的升降环快速抬升，完成对所述抛光布上残留物的冲洗。
23、在一种可选的实施方式中，所述抬升件包括：
24、插入杆；
25、抬升部，其设置在所述插入杆插入所述插孔的一端；
26、所述抬升部包括抬升斜面以及插入斜面；
27、在所述插入杆插入所述插孔时，所述抬升部通过所述插入斜面的导向依次从每个升降环的下方插入，直至抬升部插入到旋转台的圆心处；
28、在所述插入杆从所述插孔拔出时，所述抬升部的抬升斜面依次从内向外将对应圆环状蓄液槽内的升降环抬起，从而以波浪的形式对抛光布进行清洗，完成对所述抛光布上残留物的冲洗。
29、在一种可选的实施方式中，所述抛光布粘接在所述旋转台的顶面上；
30、在粘接时，通过外力摁压抛光布以将抛光布鼓起部分的空气排入到圆环状蓄液槽中。
31、在一种可选的实施方式中，所述支撑架上设置有多个辅助支撑轮；
32、多个辅助支撑轮沿所述旋转台的周向设置，且用于支撑所述旋转台。
33、第二方面，本公开实施例提供了一种应用于如上述的用于金刚石晶体的抛光设备的抛光方法，所述抛光方法包括：
34、将抛光液输送至抛光布上；
35、等待抛光液将抛光布浸润并流入圆环状蓄液槽中；
36、通过驱动机构带动旋转台转动；
37、将金刚石晶体倾斜靠近抛光布，抵持并挤压位于任一圆环状蓄液槽上方的抛光布，直至金刚石晶体的倒角以及对应处的抛光布陷入到圆环状蓄液槽中；
38、转动金刚石晶体，完成抛光。
39、本发明的有益效果是，本用于金刚石晶体的抛光设备及其抛光方法通过在旋转台顶面设置多个同心设置的圆环状蓄液槽，旋转台转动时，所述圆环状蓄液槽中的抛光液在离心力的作用下，向外飞溅，从而对圆环状蓄液槽正对的抛光布持续浸润，保持抛光布中水分的充足，从而延缓抛光布中抛光液内水分的流逝，降低出现结晶析出的概率，同时，提高了对抛光液的利用效率，减少了抛光液的浪费，从而降低了抛光的成本。
40、本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
41、为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，本文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
1.一种用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
3.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
4.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
5.如权利要求4所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
6.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
7.如权利要求6所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
8.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
9.如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备，其特征在于，
10.一种应用于如权利要求1所述的用于金刚石晶体的抛光设备的抛光方法，其特征在于，所述抛光方法包括：